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CAS 120 CCD Array Spektrometer - Instrument Systems

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Wir bringen Qualität ans Licht.<br />

<strong>CAS</strong> <strong>120</strong><br />

<strong>CCD</strong> <strong>Array</strong> <strong>Spektrometer</strong><br />

light measurement


Die Merkmale auf einen Blick<br />

Präzisionsspektrograph mit integriertem<br />

Dichtefilterrad (OD 1 – 4)<br />

Shutter für automatische Dunkelstromkorrektur<br />

2048 x 14 Pixel Back-Illuminated<br />

<strong>CCD</strong>-Detektor, 16 bit ADC<br />

Kurze Integrationszeiten bis zu 4 ms<br />

USB-Interface mit Hardware-Trigger<br />

Das leistungsstarke <strong>Spektrometer</strong>:<br />

genau, schnell und vielseitig<br />

Mit dem neuen <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> ist es jetzt noch attraktiver, die<br />

bewährte Messtechnik von <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> in preissensitiven<br />

Anwendungen, wie in der LED-Produktion<br />

oder Qualitätssicherung, einzusetzen.<br />

So führen die technischen Innovationen im <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> trotz<br />

reduzierter Kosten zu noch höherer Zuverlässigkeit und<br />

Robustheit auch in einem harten 24h/7d Produktionseinsatz.<br />

Darüber hinaus werden die hohen Ansprüche an die<br />

Messgenauigkeit und Vielseitigkeit kompromisslos erfüllt.<br />

Das <strong>Spektrometer</strong> ist mit einem USB-Interface sowie<br />

Hardware-Trigger ausgestattet und in den Modellen VIS<br />

(360 – 830 nm) und UV-VIS (200 – 800 nm) verfügbar.<br />

Vielseitige Softwareunterstützung<br />

Für den Einsatz in der Produktion und für automatisierte<br />

Messplätze stellt <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> eine DLL<br />

sowie einen LabVIEW ® -Treiber zur Verfügung. In den<br />

Softwarepaketen ist bereits die komplette Berechnung<br />

von photometrischen, radiometrischen und farbmetrischen<br />

Größen enthalten. Die Integration in bestehende<br />

Produktionsanlagen kann damit schnell und unkompliziert<br />

umgesetzt werden. Noch einfacher wird es bei der<br />

Verwendung der LED-Tester Software, die alle wichtigen<br />

Funktionen zur Definition von Testabläufen und Sortierung<br />

von LEDs bereitstellt.<br />

Lösungen für Labor und Produktion<br />

Wie alle <strong>Spektrometer</strong> von <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> fügt sich<br />

auch das <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> in das modulare Konzept der Messsysteme<br />

ein. Über Lichtwellenleiter lassen sich eine Vielzahl<br />

von Adaptern sowie weiteres Zubehör für unterschiedlichste<br />

Messaufgaben anschließen. Dadurch kann das <strong>CAS</strong> <strong>120</strong><br />

sowohl in der Produktion als auch in der Qualitätssicherung<br />

sowie Forschung und Entwicklung effizient eingesetzt<br />

werden. Das integrierte Dichtefilterrad und der Dunkelstrom-<br />

Shutter ermöglichen ferner vollautomatisierte Messungen<br />

über einen weiten Intensitätsbereich.<br />

Spektrale Analysesoftware SpecWin Pro<br />

2


Für die vielfältigen Aufgaben im Labor wurden die Spektral-Software<br />

Pakete SpecWin Pro und SpecWin Light<br />

entwickelt. In beiden stehen umfangreiche Funktionen<br />

zur Analyse und Dokumentation der Messergebnisse zur<br />

Verfügung.<br />

Spektralbereich (Blue Response) auf als dies bei herkömmlichen<br />

Front-Illuminated <strong>CCD</strong>s, die in einfachen<br />

<strong>Spektrometer</strong>n Verwendung finden, der Fall ist. Ein<br />

Vorteil, der insbesondere der Messung von blauen und<br />

weißen LEDs zugute kommt.<br />

Der bewährte optische Aufbau<br />

Das Herz des <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> bildet ein Crossed-Czerny-<br />

Turner Spektrograph mit integriertem Dichtefilterrad und<br />

Dunkelstrom-Shutter. Seine besonders gute Streulichtunterdrückung<br />

und spektrale Auflösung garantiert dabei<br />

höchste optische Genauigkeit.<br />

Stabil auch ohne Kühlung<br />

Ein wesentlicher Kostenfaktor bei High-End <strong>Array</strong>-<strong>Spektrometer</strong>n<br />

ist die Kühlung des <strong>CCD</strong>-Detektors, auf die<br />

beim <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> aber bewusst verzichtet wurde. Stattdessen<br />

wird bei jeder Spektrumsaufnahme die Temperatur des<br />

<strong>CCD</strong>-Detektors erfasst und das Signal korrigiert. Ein innovativer<br />

Algorithmus erkennt durch Temperaturänderungen<br />

hervorgerufene Dunkelstromänderungen und kompensiert<br />

diese automatisch. Somit sind stabile und zuverlässige<br />

Messergebnisse auch ohne kostspielige Kühlung des<br />

Detektors garantiert.<br />

Optischer Aufbau des <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> mit optimiertem Crossed-Czerny-Turner Spektrograph<br />

Back-Illuminated <strong>CCD</strong>-Detektor<br />

Für alle Modelle wird ein Back-Thinned <strong>CCD</strong>-Flächensensor<br />

mit 2048 x 14 Pixel verwendet. Dieser Sensor bietet<br />

eine hohe Messempfindlichkeit sowie einen großen Dynamikbereich.<br />

Eine Zylinderlinse aus Quarzglas vor dem<br />

Detektor steigert die Empfindlichkeit des <strong>Spektrometer</strong>s<br />

auf Werte, die sich mit größeren und teureren Detektoren<br />

vergleichen lassen. Durch das hardwaremäßige Binning<br />

der vertikalen Pixel wird das Signal-Rausch-Verhältnis<br />

nochmals deutlich verbessert.<br />

Spectral Response (<strong>CCD</strong> Area Image Sensors)<br />

Quantum efficiency (%)<br />

100<br />

90<br />

80<br />

70<br />

60<br />

50<br />

BACKthinned<br />

<strong>CCD</strong><br />

40<br />

30<br />

Frontilluminated<br />

20<br />

<strong>CCD</strong><br />

10<br />

0<br />

200 400 600 800 1000 <strong>120</strong>0 (nm)<br />

Spektrale Empfindlichkeitsfunktionen Back-Thinned <strong>CCD</strong> und Front-Illuminated <strong>CCD</strong><br />

Back-Thinned <strong>CCD</strong>-Detektoren weisen ferner eine<br />

deutlich bessere Signalempfindlichkeit im kurzwelligen<br />

Stabilität des photometrischen Messwertes<br />

Zuverlässig und robust<br />

Ein Novum ist das neu entwickelte Filterrad: Es kommt<br />

ohne mechanische Positionsschalter aus und stellt<br />

über den elektronischen Winkelsensor die exakte Positionierung<br />

der Filter sicher. Das Filterrad erweitert den<br />

Dynamikbereich des <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> auf enorme 8 Dekaden<br />

und gewährleistet so die Messung von niedrigen und<br />

hohen Lichtintensitäten ohne manuellen Eingriff in das<br />

Messsystem. Darüber hinaus übernimmt das Filterrad<br />

auch die Funktion des mechanischen Dunkelstrom-<br />

Shutters, der für einen vollautomatischen Dunkelstromabgleich<br />

des <strong>CCD</strong>-Detektors sorgt.<br />

USB-Schnittstelle und Hardware-Trigger<br />

Das <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> verfügt über eine zuverlässige, anschraubbare<br />

USB-Schnittstelle, die bei <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong><br />

auch auf härteste Produktionsbedingungen hin getestet<br />

wurde. Eine TTL-Triggerschnittstelle sorgt für ein<br />

präzises Timing und die Synchronisation mit anderen<br />

Geräten, was für genaue Messergebnisse bei schnellen<br />

Produktionstests unerlässlich ist.<br />

3


Vielfältige Anwendungen:<br />

Vom Labor zur LED-Produktion<br />

Das <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> kann in allen Bereichen der Messung von<br />

LEDs, OLEDs und Solid-State-Lighting Produkten hervorragend<br />

verwendet werden. Zum einen ermöglicht die<br />

umfangreiche Zubehörpalette den Ausbau des <strong>Spektrometer</strong>s<br />

zu einem universellen Labormessplatz.<br />

wichtig, wo nur eine präzise Messung der optischen und<br />

elektrischen Parameter der blauen LED-Chips geringe<br />

Fertigungstoleranzen und damit eine hohe Ausbeute der<br />

späteren weißen LEDs gewährleistet.<br />

Messung der Lichtstärke<br />

CIE-konforme Lichtstärkemessungen im Labor und im<br />

Backend ermöglichen die Messadapter der LED-4xx Serie.<br />

Für den Einsatz im Frontend hat <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong><br />

den faseroptischen Messadapter EKT-10x entwickelt,<br />

der unter einem Mikroskop betrieben werden kann und<br />

dadurch eine schnelle Einrichtung des Wafers und eine<br />

kontinuierliche Kontrolle der Position während des Tests<br />

erlaubt. Sein hoher Lichtdurchsatz ermöglicht auch bei<br />

Low-Power LED-Chips kürzeste Messzeiten.<br />

Labormessplatz für LEDs<br />

Zum anderen prädestinieren die kurze Messzeit, der<br />

robuste Aufbau und der attraktive Preis einen Einsatz in<br />

der Produktion. Hier ist der Wafer mit den separierten<br />

LED-Chips die erste Möglichkeit, die Eigenschaften<br />

der zukünftigen LED zuverlässig zu bestimmen. Dies ist<br />

insbesondere in der Fertigung von weißen LEDs eminent<br />

LED 25-430 für Lichtstärkemessungen nach CIE 127<br />

4


Messung des Lichtstroms<br />

Für genaue Messungen des Lichtstroms kommen die<br />

bewährten Ulbricht-Kugeln von <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> zum<br />

Einsatz. Mit Durchmessern von 75 bis 2000 mm lassen<br />

sich alle Messungen im Labor und in der Produktion von<br />

LEDs und Modulen bis hin zu kompletten Lampen und<br />

Leuchten realisieren. Bei Produktionsanwendungen arbeitet<br />

<strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> auch direkt mit den Herstellern<br />

von Waferprobern und LED-Handlern zusammen, um eine<br />

optimale Integration des optischen Messadapters in die<br />

bestehende Maschine sicherzustellen.<br />

LED-Tester<br />

ISP 150L Ulbricht-Kugel für den Produktionseinsatz<br />

Alle Ergebnisse in einer Messung<br />

Aufgrund des spektralen Messprinzips werden mit dem<br />

<strong>CAS</strong> <strong>120</strong> nicht nur die photometrischen sondern auch alle<br />

farbmetrischen und spektralen Kenngrößen in einer einzigen<br />

Messung ermittelt:<br />

Lichtstrom [lm] bzw. Lichtstärke [cd]<br />

Farbkoordinaten [x, y, z] und Farbtemperatur [K]<br />

Farbwiedergabeindex (CRI)<br />

Dominante, Schwerpunkt- und Peak-Wellenlänge [nm]<br />

Halbwertsbreite FWHM [nm]<br />

Durch die werksseitige Kalibrierung der <strong>Spektrometer</strong><br />

zusammen mit dem Messadapter in den ISO 17025 zertifizierten<br />

Kalibrierlaboren von <strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> ist stets<br />

eine hohe Genauigkeit der Messergebnisse des <strong>CAS</strong> <strong>120</strong><br />

gewährleistet.<br />

Für die Bestromung und elektrischen Messungen hat<br />

<strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> die 4-Quadranten-Stromquelle LSM<br />

350 entwickelt. Dieses Gerät erlaubt besonders schnelle<br />

Messabläufe beim Test von Multichip-LEDs (z. B. RGB).<br />

Darüber hinaus können im LED-Tester die bekannten<br />

Sourcemeter der Serie 2400 und 2600 von Keithley eingesetzt<br />

werden.<br />

Die Tester-Software ermöglicht eine frei konfigurierbare<br />

Abfolge von optischen und elektrischen Messungen an<br />

LEDs mit bis zu 8 Chips. Alle Ergebnisse dieser Messungen<br />

können zur Klassifizierung der LEDs verwendet<br />

werden. Für das Waferprobing steht ein eigenes Wafermapping<br />

Modul zur Verfügung.<br />

Ein Hardware-Interface sorgt für den schnellen Austausch<br />

der Sortierergebnisse mit der Maschine. Diese<br />

Schnittstelle ist meist ohne zusätzlichen Programmieraufwand<br />

mit allen gängigen LED-Handlern oder Waferprobern<br />

verwendbar. Darüber hinaus bietet der LED-Tester<br />

mit dem COM Client eine Softwareschnittstelle, die<br />

eine freie Programmierung aller Abläufe gestattet.<br />

Der LED-Tester<br />

Der LED-Tester wurde als Komplettsystem konzipiert,<br />

das eine schnelle und problemlose Einbindung in unterschiedlichste<br />

Produktionsabläufe in der LED-Herstellung<br />

gewährleistet. Durch den modularen Aufbau kann der<br />

LED-Tester an spezifische Erfordernisse angepasst werden.<br />

Das <strong>CAS</strong> <strong>120</strong> fügt sich nahtlos in dieses System ein<br />

und ermöglicht insbesondere Anwendungen, bei denen<br />

Kosten und Testgeschwindigkeit im Vordergrund stehen.<br />

LED Tester-Software<br />

5


Technische Spezifikationen<br />

Modell UV/VIS VIS<br />

Spektralbereich 200 – 800 nm 360 – 830 nm<br />

Detektor Back-Thinned <strong>CCD</strong> Back-Thinned <strong>CCD</strong><br />

Pixelzahl 2048 x 14 2048 x 14<br />

Spektralauflösung *1 2,7 nm 2,2 nm<br />

Datenpunktintervall 0,35 nm 0,3 nm<br />

Wellenlängengenauigkeit *2 +/- 0,3 nm +/- 0,3 nm<br />

Integrationszeit 4 msec – 20 sec 4 msec – 20 sec<br />

Linearität +/- 0,6% +/- 0,6%<br />

Streulicht<br />

breitbandig für Normlichtart A Strahlung * 3 7 x 10 -4 5 x 10 -4<br />

bei LED *4 5 x 10 -4 5 x 10 -4<br />

mit Laser *4 1 x 10 -4 1 x 10 -4<br />

LED-Messungen<br />

Messbereich Lichtstärke *5 1 mcd – 5 kcd 1 mcd – 5 kcd<br />

Messbereich Lichtstrom *6 1 mlm – 3,3 klm 1 mlm – 3,3 klm<br />

Messunsicherheit Lichtstärke *7 +/- 4% +/- 4%<br />

Messunsicherheit Lichtstrom *7 +/- 4% +/- 4%<br />

Messunsicherheit Dominante Wellenlänge *7 +/- 0,5 nm +/- 0,5 nm<br />

Messunsicherheit Farbort *7 +/- 0,002 +/- 0,002<br />

Spektralradiometrie<br />

Empfindlichkeitsbereich für Bestrahlungsstärke *8 5 x 10 -8 – 5 x 10 2 W/m 2 nm 3 x 10 -8 – 3 x 10 2 W/m 2 nm<br />

Signalempfindlichkeit bei 1s Integrationszeit *8 8 x 10 -7 W/m 2 nm 5 x 10 -7 W/m 2 nm<br />

Spektralradiometrische Genauigkeit *7 +/- 4% +/- 4%<br />

Farbortmessgenauigkeit bei Normlichtart A *7 +/- 0,002 +/- 0,002<br />

Reproduzierbarkeit der Farbortmessung bei Normlicht A *7 +/- 0,0002 +/- 0,0002<br />

Spektralphotometrie<br />

Basislinienrauschen *9 +/- 400 counts, oder +/- 2,5%<br />

Photometrische Transmissionsmessgenauigkeit +/- 1%T<br />

Basisliniendrift *10<br />

0,3%/h<br />

Spektrograph<br />

Brennweite, Gitter<br />

ca. <strong>120</strong> mm f/3.5 / Plangitter<br />

Spalt<br />

Modelle UV/VIS und VIS : Standard: 100 μm; Optional: 50 μm<br />

Filterrad / Shutter<br />

Standard bei allen Modellen; Dichtefilter OD 1 – 4; Modell UV/VIS mit UV Dichtefiltern;<br />

Positionsüberwachung per Encoder<br />

Elektrische Daten<br />

AD-Wandler<br />

16 Bit Auflösung<br />

PC-Interface USB 2.0<br />

Triggerung<br />

Eingang: TLL steigende Flanke; Ausgang: 2 TTL Ausgänge (Software gesteuert),<br />

ein TTL Flash Impuls<br />

Sonstiges<br />

Maße (H, B, T) 147 x 343 x 317 mm 3<br />

Stromversorgung<br />

Weitbereichseingang 100 VAC – 240 VAC 50/60 Hz<br />

Leistungsaufnahme<br />

max. 35 VA<br />

Umgebungstemperatur<br />

15 – 35°C; max. 70% rF nicht-kondensierend<br />

Gewicht<br />

ca. 7 kg<br />

Gültige Normen<br />

erfüllt EN 61010-1:2002-08 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-,<br />

Regel- und Laborgeräte)<br />

6


Bestellinformationen<br />

Bestell-Nummer<br />

<strong>CAS</strong><strong>120</strong>-151<br />

<strong>CAS</strong><strong>120</strong>-152<br />

<strong>CAS</strong><strong>120</strong>-330<br />

Beschreibung<br />

Modell VIS; 360 – 830 nm; 2048 Pixel back-illuminated <strong>CCD</strong> Detektor; 2,2 nm spektrale Auflösung (100 μm Spalt)<br />

Modell UV-VIS; 200 – 800 nm; 2048 Pixel back-illuminated <strong>CCD</strong> Detektor; 2,7 nm spektrale Auflösung (100 μm Spalt)<br />

50 µm Spalt (statt Standard 100 µm Spalt)<br />

Messadapter für Produktionsanwendungen<br />

LED-433-15 Lichtstärke-Messadapter für LEDs<br />

I LED-B (0,01 sr); incl. OFG-414 und PLG-410; 380 – 1600 nm; gekürzte Version<br />

LED-434-15 Lichtstärke-Messadapter für LEDs<br />

I LED-B (0,01 sr); incl. OFG-424 und PLG-420; 190 – 1350 nm; gekürzte Version<br />

EKT-101<br />

Einkoppeladapter<br />

Faserbündel mit 90° Strahlumlenkung; 280 – 2500 nm<br />

EKT-102<br />

Einkoppeladapter<br />

Faserbündel mit 90° Strahlumlenkung; 190 – 1350 nm<br />

ISP100-130<br />

ISP100 Ulbricht-Kugel<br />

Ulbricht-Kugel mit 100 mm Durchmesser, Faserbündelanschluss; 240 – 2600 nm; Version für die Montage an Handlermaschine<br />

oder Prober<br />

ISP100-140<br />

ISP100 Ulbricht-Kugel<br />

Schutzglas für die Messöffnung der ISP100-130<br />

Messadapter für den Laboreinsatz<br />

LED25-430<br />

Averaged LED Intensity Einkoppeloptik, komplett für I LED-B (100 mm) und LED-Testfassungen mit Ø 25 mm; inkl. LED25-100,<br />

LED25-230, OFG-424 und PLG-420; 220 – 1350 nm<br />

LED-436-15 Lichtstärke-Messadapter für LEDs; I LED-B (0,01 sr); incl. OFG-414 und PLG-410; 380 – 1600 nm; mit Klemmung für<br />

LED-Testfassung<br />

LED-437-15 Lichtstärke-Messadapter für LEDs; I LED-B (0,01 sr); incl. OFG-424 und PLG-420; 190 – 1350 nm; mit Klemmung für<br />

LED-Testfassung<br />

ISP150L-250 150 mm Ulbricht-Kugel, komplett für Lichstrommessungen an LEDs; Adapterplatte für 25 mm LED Testfassungen;<br />

Hilfslichtquelle; incl. OFG-414 und PLG-410; 380 – 1600 nm<br />

ISP150L-251 150 mm Ulbricht-Kugel, komplett für Lichstrommessungen an LEDs; Adapterplatte für 25 mm LED Testfassungen;<br />

Hilfslichtquelle; incl. OFG-424 und PLG-420; 240 – 1350 nm<br />

Kalibrierungen<br />

CAL-<strong>120</strong><br />

Kalibrierung der Strahl- und Lichtstärke; Wellenlängenbereich VIS<br />

CAL-121<br />

Kalibrierung der Strahl- und Lichtstärke; Wellenlängenbereich UV und VIS<br />

CAL-140<br />

Kalibrierung des Lichtstroms; Absolutwert mit Referenz-LED an der Messöffnung der Kugel; Wellenlängenbereich VIS<br />

CAL-141<br />

Kalibrierung des Lichtstroms; Absolutwert mit Referenz-LED an der Messöffnung der Kugel; Wellenlängenbereich UV und VIS<br />

Software<br />

SW-<strong>120</strong><br />

SpecWin Light Spektralsoftware für Windows XP/7; nur für MAS40/LED Station, <strong>CAS</strong>140B/CT und <strong>CAS</strong><strong>120</strong><br />

SW-130 SpecWin Pro Spektralsoftware für Windows XP/7; unterstützt MAS40, <strong>CAS</strong>140B/CT, <strong>CAS</strong><strong>120</strong>, SPECTRO 320, DTS 500,<br />

LEDGON<br />

SW-231<br />

DLL Treiberprogramm für <strong>CAS</strong>140B/CT und <strong>CAS</strong><strong>120</strong>; lauffähig unter Windows XP/7<br />

SW-233<br />

LabVIEW ® Treibersoftware; erfordert zusätzlich SW-231<br />

*1 Circawerte für 100 μm Standard Spalt. Bei optionalem 50 μm Spalt andere Werte.<br />

*2 Gilt für Penray-Lampe oder Laser.<br />

*3 Gemessen bei 400 nm in Kombination mit einem Langpass-Filter GG455 relativ zur Peakintensität der ungewichteten Spektraldaten.<br />

*4 Gemessen in 150 nm Abstand links von der Peakwellenlänge, relativ zur Peakintensität der ungewichteten Spektraldaten.<br />

*5 Gilt für ein Signal/Rausch-Verhältnis von 10:1, bei gelber LED mit 585 nm und mit LED-436 Adapter. Bei weißen LEDs liegen die Werte um den Faktor 20 bis 100 höher.<br />

*6 Gilt für ein Signal/Rausch-Verhältnis von 10:1, bei gelber LED mit 585 nm und mit Ulbricht-Kugel ISP250. Bei weißen LEDs liegen die Werte um den Faktor 20 bis 100 höher.<br />

*7 Unmittelbar nach Kalibrierung relativ zum Kalibrierstandard und ohne Dichtefilter. Die Fehlerangaben beziehen sich auf die zweifache Standardabweichung.<br />

*8 Gemessen mit Einkoppeloptik EOP-<strong>120</strong> und Faserbündel OFG-414, bei 600 nm Wellenlänge und Signal/Rauschverhältnis von 10:1, unter Einbeziehung der Dichtefilter und<br />

ohne Mittelwertbildung.<br />

*9 Bei kürzester Integrationszeit und bei 30.000 counts Aussteuerung.<br />

*10 Gilt für 30 Minuten mit LS100-130 nach 1 Stunde Aufwärmzeit.<br />

<strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> arbeitet kontinuierlich an der Weiterentwicklung der Produkte. Technische Änderungen sowie Irrtümer und Druckfehler begründen keinen Anspruch auf<br />

Schadenersatz. Im Übrigen gelten unsere Geschäftsbedingungen.<br />

7


Wir bringen Qualität ans Licht.<br />

light measurement<br />

<strong>Instrument</strong> <strong>Systems</strong> GmbH<br />

Neumarkter Straße 83<br />

81673 München<br />

Tel.: +49 89/45 49 43-0<br />

Fax: +49 89/45 49 43-11<br />

E-Mail: info@instrumentsystems.de<br />

www.instrumentsystems.de

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