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Mikroskop- und Messsysteme für Qualitätssicherung und -kontrolle

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Von Mikro bis Nano –<br />

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Licht-<br />

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FIB-SEM<br />

Rasterelektronen-<br />

<strong>Mikroskop</strong>e<br />

Helium-Ionen-<br />

<strong>Mikroskop</strong>e<br />

5 µm<br />

2,5 µm µm 1 µm<br />

50 nm<br />

5 nm<br />

1 nm<br />

0,5 nm<br />

Auflösung<br />

80 81

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