COMBIVAC CM 32

LecksucheVakuum-Messungund Komponenten In Situ Analyse LEYBOLD INFICONGA 09.505 / 2.01COMBIVAC CM 32Kat.-Nr.157 90, 896 90, 897 90Gebrauchsanleitung

LEYBOLD-ServiceFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung mußLEYBOLD an den Absender zurückschicken.Allgemeine HinweiseEine Änderung der Konstruktion und der angegebenenDaten behalten wir uns vor.Die Abbildungen sind unverbindlich.InhaltSeite1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.1 Allgemeine Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.2 MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) . . . . . . . . . 41.2.3 THERMOVAC-Meßkanal (TM) . . . . . . . . . . . . 41.2.4 PENNINGVAC-Meßkanal (PM) . . . . . . . . . . . 41.2.5 Relais-Ausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.6 Schreiberausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.7 Netzversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.8 HV-Steuereingang(nur für PENNINGVAC) . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.9 Mechanische Eigenschaften . . . . . . . . . . . . . 51.2.10 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.11 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.3 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.1 COMBIVAC CM 32 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.2 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.3 Meßverfahren MEMBRANOVAC(lineare Sensoren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.4 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani) . . . . . . . 61.3.5 Meßverfahren PENNINGVAC(Kaltkatode) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72 Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . 82.1 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2.1 Ändern der Netzspannungseinstellung /Sicherungswechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8Seite2.3 Bedienelemente und deren Funktion . . . . . . . 92.3.1 Bargraph-Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.2 Numerische Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.3 Maßeinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.4 Statusfeld . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.5 Taste DM, TM und PM . . . . . . . . . . . . . . . . 112.3.6 Taste HV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112.3.7 Taste Dekrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.8 Taste Inkrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9 Taste PARA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9.1 Kontrolle und Einstellen derGeräteparameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9.2 Verriegeln der Parametereinstellung . . . . . . 162.4 Versorgungs- und Steckeranschlüsseauf der Geräterückseite . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.1 Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.2 Anschluß der Sensoren . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen desMEMBRANOVAC- undTHERMOVAC-Meßkanals . . . . . . . . . . . . . . 182.4.4 Ausgangs-Schraubklemmen desPENNINGVAC-Meßkanals . . . . . . . . . . . . . 192.4.5 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . 192.5 Aufstellen des Gerätes . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.1 Einbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.2 Rackeinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.3 Schalttafeleinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.4 Verwendung des CM 32 als Tischgerät . . . . 202.6 Überprüfung der Gerätefunktion . . . . . . . . . 202.6.1 Der THERMOVAC-Meßkanal . . . . . . . . . . . . 202.6.2 Der PENNINGVAC-Meßkanal . . . . . . . . . . . 212.6.3 Der MEMBRANOVAC-Meßkanal . . . . . . . . . 212.7 Abgleich . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212.7 1 Abgleich der linearen Sensoren . . . . . . . . . 212.7.2 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren . . . . 212.8 Außerbetriebsetzung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222.9 Zustandsmeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222.10 Zustands- und Schreibertabellen . . . . . . . . . 232.10.1 Zustands- und Schreibertabellen für denMEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) . . . . . . . . 232.10.2 Zustands- und Schreibertabellen für denTHERMOVAC-Meßkanal (TM) . . . . . . . . . . . 242.10.3 Zustands- und Schreibertabellen für denPENNINGVAC-Meßkanal (PM) . . . . . . . . . . 253 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273.1 Service bei LEYBOLD . . . . . . . . . . . . . . . . . 274 Kurzanweisung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 282 GA 09.505/2.01 - 09/97

1 Beschreibung1.1 Allgemeine AngabenDas COMBIVAC CM 32 wird betriebsbereit ausgeliefert.Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsanleitungsorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang an einoptimales Arbeiten zu gewährleisten.Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Informationenzum Verständnis, zur Aufstellung, Inbetriebnahme,Betrieb und zur Fehlersuche des CM 32.Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheitund den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kennzeichnungenhervorgehoben.VorsichtAchtungSteht bei Arbeits- und Betriebsverfahren,die genau einzuhalten sind, um eineGefährdung von Personen auszuschließen.Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverfahren,die genau einzuhalten sind,um Beschädigungen oder Zerstörungendes CM 32 zu vermeiden.HinweisGilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer besondersbeachten muß.Abbildungshinweise z.B. (2/5) geben mit der ersten Zifferdie Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer diePosition in dieser Abbildung.Das CM 32 unmittelbar nach Empfang auspacken, auchwenn die Inbetriebnahme erst zu einem späteren Zeitpunkterfolgt.Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen.Verpackungsmaterial vollständig entfernen.HinweisFür eventuelle Schadensersatzforderungen ist derTransportbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufzubewahren.CM 32 auf Vollständigkeit prüfen (siehe Kapitel 1.4).CM 32 einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen.Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eineSchadensmeldung an den Spediteur und den Versichererzu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teilzu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbindungsetzen.1.1.1 VerwendungszweckDas COMBIVAC CM 32 ist ein universell verwendbaresVakuummeter, das durch die Kombination von dreiMeßprinzipien - lineare Absolutdrucksensoren (MEM-BRANOVAC), Pirani (THERMOVAC) und Penning - einelückenlose Messung und Kontrolle des Vakuumdruckeszwischen 1·10 -9 mbar und Atmosphärendruck bzw. bis20 bar ermöglicht.Am CM 32 können, von den nachfolgend aufgeführtenSensoren, je ein Sensor angeschlossen werden:- PENNINGVAC-Sensor (PR 32, PR 35 oder PR 36)- THERMOVAC-Sensoren (TR 201, TR 205, TR 206 oderauch TR 211 und TR 216)- Lineare Sensoren für Absolut-, Relativ- oder Differenzdruckmessungenje nach den angeschlossenen Sensorenin einem Meßbereich von -1999 bis 20 000 mbarund einem Ausgangssignal von 4 bis 20 mA.Die eingebaute RS 232 C-Schnittstelle erlaubt denrechnergesteuerten Betrieb sowie den Meßdatenaustauschzwischen dem COMBIVAC CM 32 und einemRechner. Der Anschluß und der Umgang mit der RS 232C-Schnittstelle ist in der Gebrauchsanleitung GA 09.027beschrieben, die dem Gerät beiliegt.1.2 Technische Daten1.2.1 Allgemeine DatenMeß- / Anzeigebereich (max.)1·10 -9 mbar bis 20 000 mbarMEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)(linearer Absolutdrucksensor) 1THERMOVAC-Meßkanal (TM) 1PENNINGVAC-Meßkanal (PM) 1MaßeinheitGasartmbar, Torr, Pa, Micron (umschaltbar)Luft / N 2, Ar (umschaltbar)Meßwertanzeigedigital7 Segment-LCDanalogLCD-LaufbalkenMeßwertauflösung siehe Tabelle 4 und 5 bzw.Tabelle 8 und 9 im Kapitel 2.10.2 bzw. 2.10.3.GA 09.505/2.01 - 09/973

1.2.2 MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Meßbereich-1999 mbar bis + 20 000 mbarSensoren DI 200, DI 2000,PV 1001, PV 1502 Ex,MI 200, MI 2000Sensorspeisungbzw. 4 bis 20 mA-Sensoren mit Meßbereichen:1 mbar, 2 mbar, 10 mbar20 mbar, 100 mbar, 200 mbar1 bar, 2 bar und 10 (20) barGasart für Lineare Sensoren25 bis 30 V (begrenzt auf 70 mA)gasartunabhängigMeßunsicherheitbei 4 bis 20 mA-Sensoren(z.B. DI 200 / DI 2000) 0,5 % vom Meßwertund 0,1 % vom Endwert des SensorsTemperaturfehler bei 4 bis 20 mA-Sensoren(im Geräte-Nenntemperaturbereich 10 bis 40 °C)0,05 % / K vom Meßwert + 0,01 % / K vom Endwertdes Sensors + Temperaturfehler des SensorsLeitungslänge, max. (mit Standardleitung)4 bis 20 mA Sensoren 500 mLeitungslängenabgleichReaktionszeit der SchaltpunkteSchaltpunkteTriggermodusnicht erforderlich< 50 ms2; WechselkontaktEinzel / Intervall / Dreipunkt-ReglerBereitmelderpotentialfreier Schließer,Kontakt geschlossen bei BetriebsbereitschaftFehleranzeige FAIL1.2.3 THERMOVAC-Meßkanal (TM)Meßbereichoptisch1·10 -3 mbar bis 1000 mbarMeßunsicherheit im Bereich10 -3 bis 10 -2 mbar: 20 % vom Meßwert10 -2 bis 10 +2 mbar: 15 % vom MeßwertSensorenLeitungslängeTR 201; DN 10 KF,TR 205; DN 16 CF und TR 206; DN 10 KFTR 211; DN 16 KF und TR 216; DN 16 KFbis 100 mLeitungslängenabgleichbei TR 211 und TR 216 automatischFür TR 201, TR 205 und TR 206 Einstellung derLeitungslänge im Parameter-Modus(siehe Parameterseite 9)Reaktionszeit der Schaltpunkteca. 30 msbei Druckänderung größer als 1 MeßdekadeSchaltpunkteModiBereitmelderFehleranzeige FAIL2; WechselkontaktEinzel / Intervallpotentialfreier Schließer,1 Kontakt geschlossenbei Betriebsbereitschaft1.2.4 PENNINGVAC-Meßkanal (PM)Meßbereich1·10 -9 mbar bis 1·10 -2 mbaroptischMeßunsicherheit im Bereich von1·10 -8 mbar bis 1·10 -4 mbar- 50 bis + 100 % vom MeßwertSensorenPR 35; DN 40 KFPR 36; DN 40 CFPR 31 und PR 32 (eingeschränkter Meßbereich)SensorversorgungZündspannungBetriebsspannungLeitungslänge3,3 kV DC1,6 kV DCbis 20 m für den Druckbereich1·10 -9 mbar bis 1·10 -2 mbarbis 100 m für den Druckbereich1·10 -8 mbar bis 1·10 -2 mbarReaktionszeit der Schaltpunkteca. 40 msbei Druckänderung größer als 1 MeßdekadeSchaltpunkteModiBereitmelderFehleranzeige FAIL1.2.5 Relais-Ausgänge2; WechselkontaktEinzel / Intervallpotentialfreier Schließer,1 Kontakt geschlossenbei BetriebsbereitschaftoptischJe Meßkanal zwei variable Schaltpunkte mit je einempotentialfreien Relais-Wechselkontakt und ein Bereit-Meldekreis mit Schließkontakt.Max. SchaltspannungMax. SchaltvermögenKontaktlebensdauerEinstellbereich SchaltpunktePM-MeßkanalTM-MeßkanalDM-Meßkanal250 V AC / 60 V DC5 A (AC, ohmsche-Last)0,7 A (DC)60 000 Zyklen1·10 -8 bis 1·10 -2 mbar5·10 -3 bis 500 mbar3,7·10 -3 bis 370 TorrMeßbereich des Sensors4 GA 09.505/2.01 - 09/97

Hysterese (Nur für MEMBRANOVAC (DM)-Meßkanal)Lineare SensorenGrundeinstellung1 % des Sensorbereiches (Endwert)bzw. einstellbar von 0,1 bis 9,9 % vom EndwertHysterese- THERMOVAC (TM) Meßkanal siehe Tabelle 5 im Kapitel2.10.2.- PENNINGVAC (PM) Meßkanal siehe Tabelle 9 im Kapitel2.10.3.HinweisDie Relais-Ausgänge sind auch für SPS-Signale geeignet.1.2.6 SchreiberausgängeJeder Meßkanal hat einen Schreiberausgang.SpannungsbereichLastwiderstandAusgangsspannung bei StörungKennlinienverlaufMEMBRANOVACPENNINGTHERMOVACReaktionszeitAuflösung0 bis 10 V (nominal)(Grenzwerte -0,6 V bis +10,6 V)R a> 2,5 kOhm10,2 V bis 10,6 Vlinear / logarithmischlinear über drei Dekadenlog. 1,43 V / Dekade(0 V ‰ 1·10 -9 mbar)log. 1,67 V / Dekade(0 V ‰ 1·10 -3 mbar)ca. 100 ms2,5 mV (12 Bit)Abweichung vom Anzeigewert ± 2 %1.2.8 HV-Steuereingang(nur für PENNINGVAC)EingangsspannungMax. Eingangsspannungs-BereichSPS kompatibler Logikpegel (Low)0 bis 24 V DC- 33 V bis + 33 V< 7 V; 0 ASPS kompatibler Logikpegel (High)> 13 V; 7 mA (bei 24 V)Kontaktgabe über Relais ca. 24 V, werden vomGerät über Schutzwiderstand bereitgestellt1.2.9 Mechanische EigenschaftenAbmessung (BxHxT) in mm 106,5 x 128,5 x 285,5Einbautiefe375 mmGewicht2,3 kg1.2.10 UmgebungsbedingungenBetriebstemperatur 0 °C bis 40 °CLagertemperatur -40 °C bis 60 °Cmax. rel. Luftfeuchte1.2.11 RS 232 C-Schnittstelle80 % n.c.Die technischen Daten der RS 232 C-Schnittstelle sindder Gebrauchsanleitung GA 09.027 zu entnehmen.1.2.7 NetzversorgungKaltgerätesteckdoseNetzspannung (umschaltbar)NetzfrequenzLeistungsaufnahme100 V, 120 V200 V, 230 V+10 % / -15 %50 bis 60 Hz35 VAGA 09.505/2.01 - 09/975

1.3 TechnischeBeschreibung1.3.1 COMBIVAC CM 32Dieses Kombinationsgerät hat drei Meßkanäle, MEM-BRANOVAC (DM), THERMOVAC (TM) und PENNING-VAC (PM). Damit ist eine lückenlose Messung und Kontrolledes Vakuums über 12 Dekaden von 1·10 -9 mbar bisAtmosphärendruck bzw. 20 bar möglich. Sechs Schaltpunkte,drei Schreiberausgänge und die Eigenüberwachungerlauben die Integration des COMBIVAC CM 32 inkomplexe Vakuumsteuerungen. Der MEMBRANOVAC-Meßkanal und der THERMOVAC-Meßkanal sind unmittelbarnach Anlegen der Netzspannung aktiv. Der PEN-NINGVAC-Meßkanal kann vom THERMOVAC-Meßkanal(TM), extern oder manuell ein- und ausgeschaltet werden;siehe auch Kapitel 2.3.6.Alle Betriebszustände der Trigger und Meßsysteme werdenangezeigt und entsprechend über die Ausgängegemeldet.1.3.2 RS 232 C-SchnittstelleDie technische Beschreibung der RS 232 C-Schnittstelleist der Gebrauchsanleitung GA 09.027 zu entnehmen.1.3.3 Meßverfahren MEMBRANOVAC(lineare Sensoren)Die linearen Sensoren haben als Meßelement eineMembrane oder einen Federungskörper, deren Verformungeine Funktion des zu messenden Druckes ist.Diese mechanische Verformung wird mit Hilfe eineskapazitiven Systems oder über Folien- oder über piezoresistivenDMS (Dehnungs-Meß-Streifen) in ein elektrischesSignal umgewandelt.Der Meß- / Anzeigebereich läßt sich von -1999 bis20 000 mbar individuell auf den jeweils angeschlossenenSensor einstellen. Bei Anschluß der linearen SensorenDI 200 / DI 2000 (mit eingebauter Sensorkodierung)erfolgt beim COMBIVAC CM 32 eine automatische Einstellungdes Meßbereiches.Die Druckanzeige erfolgt linear, digital und gasartunabhängigauf einem LCD-Display.Alle Meßköpfe sind mit einer eigenen Elektronik ausgestattet.Werkseitig sind „Null“ und „FS“ (Vollausschlag)abgeglichen.1.3.4 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani)Bei diesem Meßverfahren im Bereich 10 -3 bis 1000 mbarwird die Wärmeleitfähigkeit des Gases zur Druckmessunggenutzt. Um bei den Sensoren eine möglichstkurze Ansprechzeit zu erreichen, kommt bei allen THER-MOVAC-Geräten ausschließlich das Prinzip des geregeltenPiranis zum Einsatz.Hierbei ist der Meßfaden Teil einer Wheatstone-Brücke.Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckänderungen,so entsteht ein Ungleichgewicht in derBrücke. Eine schnell ansprechende Regelung paßt dieHeizleistung des Fadens so an, daß die Fadentemperaturwieder den Nominalwert erreicht und die Meßbrückewieder ins Gleichgewicht kommt. Die Anzeige ist gasartabhängig.Im Normalfall ist die Anzeige der Geräte aufStickstoff bzw. Luft ausgelegt, wahlweise kann die Anzeigeauf Argon umgestellt werden.Der mechanische Aufbau der Meßröhren ist robust undgegen Staub geschützt. Fünf Typen können verwendetwerden:- TR 201 DN 10 KF / TR 211 DN 16 KF für Standardanwendungenmit Wolfram-Meßfaden,- TR 205 DN 16 CF, eine ausheizbare Ausführung und- TR 206 DN 10 KF / TR 216 DN 16 KF in korrosionsgeschützterBauart mit Nickel / Platin-Meßfaden.1.3.5 Meßverfahren PENNINGVAC(Kaltkatode)Zur Druckmessung wird im Sensor durch Anlegen einerHochspannung eine Gasentladung gezündet. Der dabeientstehende Ionenstrom wird als druckproportionalesSignal ausgegeben. Ein neuer Sensoraufbau erlaubt densicheren und zuverlässigen Meßbetrieb dieses „invertiertenPennings“ von 1·10 -9 mbar bis 1·10 -2 mbar. Essteht je eine Version mit KF und CF-Flansch zur Verfügung.Die spezielle Legierung für den Magneten erlaubtein Ausheizen des Sensors (mit CF-Flansch) bis 250 °Cohne Abnehmen des Magneten. Die robusten Elektrodenlassen sich zum Reinigen bzw. Austausch einfachherausnehmen und wieder einsetzen.6 GA 09.505/2.01 - 09/97

1.4 Ausstattung1.4.1 LieferumfangKat.-Nr.COMBIVAC CM 32Europa 230 V ; mbar 157 90USA 120 V; Torr 896 90Japan 100 V; Torr 897 90Gebrauchsanleitung CM 32 GA 09.505GebrauchsanleitungRS 232 C-Schnittstelle GA 09.027Best.-Nr.2 Schmelzeinsätze T 0,315 A 520 25 3102 Schmelzeinsätze T 0,630 A 520 25 313Netzleitung 2 m (abhängig von der CM 32 Version)Europa 200 59 051USA / Japan 200 27 550Zwei Schraubklemmen 4pol. 200 60 806Eine Schraubklemme 5pol. 200 60 807Drei Schraubklemmen 8pol. 200 60 808Vier Schrauben M 3 x 8 mm 200 80 029Ein Gerätefuß 200 60 900Vier Klebefüße 229 48 120Kat.-Nr.Meßleitung 5 m zu TR-Röhren 162 26Meßleitung 10 m zu TR-Röhren 162 27Meßleitung 20 m zu TR-Röhren 162 28Verlängerungsleitung 20 m zu TR-Röhren 160 77THERMOVAC Meßröhrensimulator T 210 157 10PENNINGVAC-Meßröhre PR 35, DN 40 KF 157 51PENNINGVAC-Meßröhre PR 36, DN 40 CF 157 53Meßleitung 5 m zu PR-Meßröhren 162 88Meßleitung 10 m zu PR-Meßröhren 162 89Meßleitung 20 m zu PR-Meßröhren 157 56Meßleitungen bis 100 mauf AnfrageTestkopf T 35 (PENNINGVAC) 157 62Einbaurahmen 19“, 3 HE 161 00Abdeckplatte [ 19“, 3 HE 161 021.4.2 ZubehörKat.-Nr.Druckaufnehmer DI 200, 158 12Druckaufnehmer DI 2000 158 13Linearer Druckaufnehmer PV 1001, DN 16 KF 160 94Linearer Druckaufnehmer PV 1502 Ex, G1“ 160 98Meßkopf MI 200, DN 25 KF 158 10Meßkopf MI 2000, DN 25 KF 158 09Meßleitung 3 m zum MI-Meßkopf 158 04THERMOVAC-Meßröhre TR 201, DN 10 KF 162 02THERMOVAC-Meßröhre TR 201, 1/8“ NPT 896 72THERMOVAC-Meßröhre TR 205, DN 16 CF 158 50THERMOVAC-Meßröhre TR 206, DN 10 KF 162 31THERMOVAC-Meßröhre TR 206, 1/8“ NPT 896 73THERMOVAC-Meßröhre TR 211, DN 16 KF 157 85THERMOVAC-Meßröhre TR 211, 1/8“ NPT 896 33THERMOVAC-Meßröhre TR 216, DN 16 KF 157 87Ersatz-Meßzelle TR 201, DN 10 KF 162 09Ersatz-Meßzelle TR 201, 1/8“ NPT 896 76Ersatz-Meßzelle TR 205, DN 16 CF 158 51Ersatz-Meßzelle TR 206, DN 10 KF 162 32Ersatz-Meßzelle TR 206, 1/8“ NPT 896 77Ersatz-Meßzelle TR 211, DN 16 KF 157 75Ersatz-Meßzelle TR 211, 1/8“ NPT 896 34Ersatz-Meßzelle TR 216, DN 16 KF 157 77GA 09.505/2.01 - 09/977

2 Bedienung und Betrieb2.1 InbetriebnahmeVor Anschluß an das Netz bitte sicherheitshalber folgendePrüfung vornehmen:- Einstellung auf richtige Netzspannung (Geräterückseite);siehe Abb. 1.Falls Änderungen nötig, siehe Kapitel 2.2.1.- Einsatz der richtigen Netzsicherung.Siehe hierzu Kapitel 2.2.1.Das COMBIVAC CM 32 ist im Auslieferungszustandbetriebsbereit.Meßröhre über die entsprechende Meßleitung anschließen(siehe hierzu auch Kapitel 2.4).Versorgungsspannung über die mitgelieferte Netzleitungans CM 32 anschließen.Nach Anlegen der Netzspannung erfolgt ein Selbsttestdes Gerätes. Hierbei leuchten kurzzeitig alle Anzeigeelementeauf.Abhängig vom Betriebszustand Ihrer Vakuumanlageerhalten Sie eine entsprechende Druckanzeige. Über dieTasten DM (2/4), TM (2/3) bzw. PM (2/2) kann diegewünschte Meßstelle angewählt werden.Gewünschte Geräteparameter gemäß Kapitel 2.3.9 kontrollierenbzw. einstellen.HinweisNach Anlegen der Netzspannung und erfolgtem Selbsttestoder nach Sensorwechsel (TM-Meßkanal) erscheintabwechselnd für 1 bis 5 s in der Anzeige „TEST“ und„noSEn“. Hierbei wird festgestellt, welcher THERMO-VAC-Sensor am TM-Meßkanal angeschlossen ist.2.2 Elektrischer AnschlußAchtungVor der Erstinbetriebnahme des Gerätessind folgende Schritte durchzuführen:- Prüfen und gegebenenfalls Anpassender eingestellten Netzspannung an dievorhandene Netzspannung.- Einbau bzw. Prüfen und gegebenenfallsAustauschen der eingebautenNetzsicherung (siehe Kapitel 2.2.1).Am CM 32 ist die Netzspannung eingestellt, die an derKaltgerätesteckdose (lesbar) nach rechts auf die Markierung(1/3) zeigt.In die Kaltgerätesteckdose integriert ist die Feinsicherungund der Spannungswähler für vier verschiedeneNetzspannungsbereiche.Der Anschluß der Versorgungsspannung erfolgt über diemitgelieferte steckbare Netzleitung. Dazu befindet sichauf der Geräterückseite eine Kaltgerätesteckdose Abb. 1bzw. Abb. 7.VorsichtEs dürfen nur 3adrige Netzleitungen mitSchutzleiter verwendet werden. Ein Einsatzdes Gerätes ohne angeschlossenenSchutzleiter ist nicht zulässig.2.2.1 Ändern der Netzspannungseinstellung/ SicherungswechselZum Ändern der Netzspannungseinstellung oder Wechselder Netzsicherung ist die Netzleitung zu entfernen.Erläuterungen zur Abb. 11 Gerätesteckdose2 Sicherungseinschub3 Markierung für die eingestellte Netzspannung4 Ansatz für SchraubendreherAbb. 1 Kaltgerätesteckdose (Netzeinstellung 230 V)8 GA 09.505/2.01 - 09/97

Zum Einstellen der Gerätespannung ist der Sicherungseinschub(1/2) neben der Gerätesteckdose (1/1) miteinem Schraubendreher herauszunehmen und so zudrehen, daß die gewünschte Spannung (lesbar) nachrechts auf die Markierung (1/3) zeigt. Den Sicherungseinschub(1/2) in dieser Stellung wieder in die Gerätesteckdoseeinschieben.Je nach Netzspannungseinstellungen ist eine der folgendenNetzsicherungen erforderlich:- 100 V Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 120 V Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 200 V Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm),- 230 V Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm).2.3 Bedienelemente undderen FunktionEine Übersicht über die Anordnung der Bedien- undAnzeigeelemente ist in Abb. 2 dargestellt.Die Bedienung des Gerätes erfolgt über sieben Taster.HinweisWird eine Taste gedrückt, die im gewählten Betriebszustandkeine Funktion hat, so leuchtet das Zeichen (2/9)auf.2.3.1 Bargraph-AnzeigeLineare SensorenIn der Bargraph-Anzeige (2/7) erfolgt die lineareMeßwertdarstellung über den gesamten Meßbereichohne Skalierungs-Zahlen.Die Pfeile (2/6) an den beiden Enden erscheinen beiÜber- bzw. Unterschreiten des Meßbereiches.Erläuterungen zur Abb. 21 Taste HV2 Taste PM3 Taste TM4 Taste DM5 Statusfeld6 Bereichsunter- bzw.Bereichsüberschreitung7 Bargraph-Anzeige8 Numerische Anzeige9 Hinweis auf Gebrauchsanleitung10 Maßeinheiten11 Gerätefehler12 Taste PARA13 Parameter vergrößern (Inkrement)14 Parameter verkleinern (Dekrement)Abb. 2 Anordnung der Bedien- und AnzeigeelementeGA 09.505/2.01 - 09/979

THERMOVAC-Sensoren / PENNINGVAC-SensorenIn der Bargraph-Anzeige (3/2) erfolgt die quasi analogeMeßwertdarstellung in logarithmischer Skalierung. DiePfeile an den beiden Enden der Bargraph-Anzeige signalisierenBereichsunter- bzw. Bereichsüberschreitung.Je nach Meßprinzip leuchtet die obere Skala (Exponenten:-3 bis +3) oder die untere (Exponenten: -8 bis -2).Bei der Druckeinheit Pa oder Micron erscheint keineSkalenbeschriftung.2.3.2 Numerische AnzeigeIn der numerischen Anzeige (3/3) erfolgt die Darstellungdes Druckmeßwertes bezogen auf die jeweils eingestellteMaßeinheit.Für die Maßeinheiten Torr, Pa und mbar erfolgt dieMeßwertdarstellung in exponentieller Darstellung.Ist die Maßeinheit Micron gewählt, erfolgt eine 5stelligeDigitalanzeige. Oberhalb von 99000 Micron erfolgt eineautomatische Umschaltung auf Torr. Es wird auf 1·10 2Torr umgeschaltet. Alle weiteren Druckmeßwerte werdenjetzt in Torr angezeigt.Bei Unterschreitung eines Druckes von 9,0·10 1 Torrerfolgt eine automatische Umschaltung zurück in dieMaßeinheit Micron. Das CM 32 zeigt jetzt 90000 Micronan. Alle weiteren Druckmeßwerte werden jetzt in Micronangegeben. Kleinster Anzeigewert ist 1 Micron.2.3.3 MaßeinheitRechts neben der numerischen Anzeige befindet sichdie Darstellung der Maßeinheiten (3/4). Es leuchtetimmer nur die Maßeinheit auf, die in der Parameterseite6 angewählt worden ist.In der Einstellung Micron wechselt die Einstellung druckabhängigzwischen Micron und Torr; (siehe Kapitel2.3.2).2.3.4 StatusfeldDas Statusfeld (3/1) für die Meßkanäle befindet sich zwischendem Tastenfeld und der Meßwertanzeige.Im Statusfeld erfolgt die Anzeige der Trigger- und Gerätezustände.Diese sind den jeweils darunter befindlichenüber die Taste anwählbaren Meßkanälen zugeordnet.Eine Übersicht über die Anordnung der Trigger- bzw.Gerätezustände ist der Abb. 3 zu entnehmen. Im folgendenwerden sie kurz beschrieben.Trigger 1 ( < 1 > )Die im Statusfeld angegebenen Trigger und Statusanzeigenbeziehen sich jeweils auf den Meßkanal, dessenMeßwertanzeige mit der darunter befindlichen Tasteangewählt wird.Leuchtet der linke Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck kleiner als der eingestellte Triggerwert.Leuchtet der rechte Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck größer als der eingestellte Triggerwert.Trigger 2 ( < 2 > )Für den Trigger 2 gilt analog die gleiche Aussage wie fürTrigger 1.FAILDie Bezeichnung FAIL leuchtet bei einem Sensorfehler;Erläuterungen zur Abb. 31 Statusfeld2 Bargraph-Anzeige3 Numerische Anzeige4 MaßeinheitenAbb. 3 Teilansicht der Gerätefrontseite10 GA 09.505/2.01 - 09/97

siehe Kapitel 2.9.DISPDie Bezeichnung DISP zeigt jeweils den Meßkanal an,dessen Meßwert in der Anzeige dargestellt wird. HierDM, TM oder PM.HVBei eingeschalteter Hochspannung des PM-Meßkanalsleuchtet die Bezeichnung HV (Hochvakuummeßstelle).CORRIst in der Parameterseite 4 eine andere Gasart als dasStandardgas „Luft / Stickstoff“ eingestellt, so leuchtet dieAnzeige CORR.LOCKDie Anzeige LOCK leuchtet, wenn die Parametereinstellungüber die Tastatur gesperrt ist. Siehe hierzu auch Abschnitt2.3.9.2.PARADie Anzeige PARA leuchtet bei der Einstellung der Geräteparameter.Es werden die Geräteparameter des zurZeit in der Anzeige dargestellten Meßkanals angezeigt.2.3.5 Taste DM, TM und PMDurch Drücken der Taste DM (4/4), TM (4/3) oder PM(4/2) wird der entsprechende Meßkanal angewählt. Inder Anzeige (3/2) und (3/3) erfolgt die Darstellung desDruckmeßwertes für den angewählten Meßkanal.Die Meßwertausgabe der Trigger- und Schreiberausgängealler hier möglichen Meßkanäle werden von der Wahldes angezeigten Meßkanals nicht beeinflußt.2.3.6 Taste HVDie Taste HV (4/1) dient zum Ein- und Ausschalten derHochspannung für den PM-Meßkanal.Nach Einschalten der PM-Hochspannung wird unmittelbarein Wert angezeigt, falls der PM-Meßkanal zur Anzeigegewählt wurde. Ab 10 s nach Hochspannung „EIN“wird geprüft, ob die Meßröhre gezündet hat, und einDruck über 5·10 -9 mbar gemessen wird. Solange dieseBedingung nicht erfüllt ist, erscheint FAIL und die Triggersind nicht aktiv.Ist diese Bedingung nach dem Einschalten der Hochspannungeinmal erfüllt worden, wird Meßbereitschaftgemeldet. Die Trigger sind danach aktiv, unabhängigvom weiteren Druck oder Leitungs- bzw. Sensorzustandbis zum Ausschalten der Hochspannung.VorsichtAuch bei vorliegender Fehlermeldungbleibt die PM-Hochspannung eingeschaltet.Hinweis- PENNINGVAC-Meßsysteme sollten erst bei einemDruck von mindestens 1·10 -2 mbar oder niedriger eingeschaltetwerden. Jedes PENNING-Meßgerät, bedingtdurch das physikalische Prinzip, läßt sich beihöheren Drücken einschalten (HV-Ein).- Nach Einschalten der Hochspannung wird in derMeßröhre zunächst mit 3,3 kV die Gasentladung gezündet.Bei erfolgter Zündung wird die Zündspannungauf 1,6 kV Betriebsspannung abgesenkt, was zu einerlängeren Standzeit der Röhren insbesondere unterArgonatmosphäre führt.Erläuterungen zur Abb. 41 Taste HV2 Taste PM3 Taste TM4 Taste DM5 StatusfeldAbb. 4 Teilansicht der GerätefrontseiteGA 09.505/2.01 - 09/9711

Bei Einschalten des Pennings oberhalb von 1·10 -2 mbarerscheint auf der Anzeige ein beliebiger Druckwert. Beilängerem Betrieb in diesem unzulässigen Druckbereichkann es auch zu erhöhter Verschmutzung des Meßsystemskommen.Weiteres zur Wirkungsweise dieser Taste finden Sieunter Parameterseite 7 „Automatisches Ein-/Ausschaltendes PENNINGVAC“.2.3.7 Taste DekrementDie Taste Dekrement (5/3) dient zum Einstellen der Triggerund anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 zurückgesetzt, beiZahlenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelleum 1 verkleinert.Wird die Taste Dekrement beim Einstellen der Triggerlänger als 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.2.3.8 Taste InkrementDie Taste Inkrement (5/2) dient zum Einstellen der Triggerund anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 vorgesetzt, bei Zahlenwertenwird die niederwertigste Anzeigenstelle um 1vergrößert.Wird die Taste Inkrement beim Einstellen der Trigger längerals 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.2.3.9 Taste PARADie Taste „PARA“ (5/1) dient zum Umschalten auf denParametermodus, bei dem einzelne Geräteparameterkontrolliert bzw. eingestellt werden können sowie zumBlockieren der Parametereinstellung.2.3.9.1 Kontrolle und Einstellen der GeräteparameterZur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräteparameterwird die Taste PARA (5/1) gedrückt. DieAnzeige PARA im Statusfeld leuchtet, und die ersteParameterseite des augenblicklich angewählten Meßkanalswird angezeigt.Durch erneutes Betätigen der Taste PARA wird auf diejeweils nächste Geräteparameterseite gewechselt.Auf der Bargraph-Anzeige (2/7) erfolgt durch Aufleuchtenvon Balken die Darstellung der Seitennummer desGeräteparameters. Die Anzahl der aufleuchtenden Balken(von rechts beginnend) entspricht der Seitennummerdes Geräteparameters. Die Geräteparameterseiten-Nummern werden aus technischen Gründen erst abSeite drei dargestellt, d.h.:3 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 3,4 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 4 usw.Innerhalb der einzelnen Seiten können die Parameterüber die Tasten Dekrement (5/3) und Inkrement (5/2)verändert werden. Jede Veränderung über die TastenDekrement (5/3) oder Inkrement (5/2) wird sofort wirksam.Sollten sich in der Anzeige keine Änderungen nachDruck auf Tasten Dekrement (5/3) oder Inkrement (5/2)ergeben, ist die Einstellung verriegelt. Es leuchtet dannauch LOCK.Ein Verlassen des Parametermodus ist möglich durch- Betätigen einer beliebigen Meßkanalwahltaste oder- automatisch nach der letzten Parameterseite oder- Abwarten.HinweisWird ca. 1 Minute keine Taste gedrückt, so schaltet dasCM 32 automatisch wieder in die Meßwertanzeigezurück. Es wird jeweils diejenige Einstellung gespeichert,die beim Verlassen der Parameterseite angezeigtwurde.Man unterscheidet zwei Parameterebenen.Erläuterungen zur Abb. 51 Taste PARA2 Parameter vergrößern (Inkrement)3 Parameter verkleinern (Dekrement)Abb. 5 Teilansicht der Gerätefrontseite12 GA 09.505/2.01 - 09/97

Parameterebene 1In der Parameterebene 1 befindet sich folgender Inhalt:Seite 1Eingestellter Triggerwert von Trigger 1.Bei betriebsbereitem DM-, TM- oder PM-Meßkanal blinktder linke Pfeil, wenn der eingestellte Triggerwert kleinerals der gemessene Druck ist.Bei betriebsbereitem DM-, TM- oder PM-Meßkanal blinktder rechte Pfeil, wenn der eingestellte Triggerwert größerals der gemessene Druck ist.Die beiden Pfeile von Trigger 1 blinken bei nicht angeschlossenemoder defektem Sensor am MEMBRANO-VAC-, THERMOVAC-Meßkanal sowie beim PENNING-VAC-Meßkanal bei nicht eingeschalteter Hochspannungoder nicht erfolgter Zündung.Triggerschwellen im Auslieferstatus:TM 5·10 -3 mbar / 3,7·10 -3 TorrPM 1·10 -8 mbar / 7,5·10 -9 TorrDM 0 mbar / TorrBeim MEMBRANOVAC (DM)-Meßkanal erfolgt die Einstellungin der Schrittweite 1/1000 des Meßbereiches(1/2000 bei 200 bzw. 2000 mbar Sensoren).Beim THERMOVAC (TM)- und PENNINGVAC (PM)-Meßkanal erfolgt die Einstellung in einer Schrittweite von1 % des Dekadenendwertes.Wird ein nicht erlaubter Triggerwert eingestellt, so setztdas Gerät automatisch auf den nächsten zulässigenTriggerwert zurück.Seite 2Eingestellter Triggerwert von Trigger 2.Die Darstellung erfolgt analog zur Seite 1.Seite 3Beim DM-Meßkanal erfolgt die Einstellung der BetriebsartenLevel-Trigger, Intervall-Trigger und Dreipunkt-Regler(Control Extern / Control Intern).Beim TM- und PM-Meßkanal erfolgt die Einstellung derBetriebsart Level-Trigger und Intervall-Trigger.HinweisBei Wechsel des Triggermodus vom DM-Meßkanal werdendie Trigger 1 und 2 immer auf die Defaultwerte (Auslieferzustand)zurückgesetzt.Die gezeichneten Diagramme (Abb. 6) geben eine Übersichtüber die Triggermodi.LILevel-TriggerBeide Triggerausgänge arbeiten unabhängig voneinander.Die Einstellung der Schwellwerte ist bei TM-Sensorenzwischen 5·10 -3 mbar und 500 mbar möglich, beiPM-Sensoren zwischen 1·10 -8 mbar und 1·10 -2 mbarund bei linearen Sensoren im Meßbereich des Sensors.Intervall-TriggerDie beiden Trigger (Trigger 1 und Trigger 2) sind miteinanderverknüpft. Bei der Schwellwert-Einstellungmuß folgende Bedingung erfüllt sein:Schwellwert 1 < Schwellwert 2Abb. 6 Darstellung der Level-Trigger und Intervall-TriggerGA 09.505/2.01 - 09/9713

HinweisDer Schwellwert 2 ist zuerst einzustellen.Das eingestellte Intervall (Differenz zwischenSchwellwert 1 und 2) darf 5 % des eingestellten Wertesvon Schwellwert 1 nicht unterschreiten.Ausgang 2 arbeitet auch bei dieser Einstellung alsLevel-Trigger. Ausgang 1 arbeitet als Intervall-Trigger.Soll vom Level-Trigger in den Intervall-Trigger umgeschaltetwerden und ist dabei die Bedingung Schwellwert1 < Schwellwert 2 nicht erfüllt, so erscheint dieAnzeigeL (für Level) und das Zeichenals Hinweis auf die Gebrauchsanleitung. Gleichzeitigblinkt im Statusfeld (2/5) nur die Zahl 1 oder 2 der Anzeige< 1 > oder < 2 >.Um die Umschaltung zu ermöglichen, muß zuerst dieBedingung Schwellwert 1 < Schwellwert 2 erfüllt werden.Auslieferstatus:L (Level-Trigger)Speziell bei DM-Meßkanal:CI Control InternEinstellung zum Aufbau einer Dreipunkt-Regelungdurch Bildung eines Druckfensters zwischen Trigger1 und Trigger 2. Hierbei wird Trigger 1 auf den gewünschtenWert eingestellt. Trigger 2 bildet die Hysteresedes eingestellten Wertes von Trigger 1.CE Control ExternWie Control Intern. Hier kann jedoch der Druckwertvon Trigger 1 durch einen externen Steuereingangvon 0 bis 10 V verändert werden. In der Parameterseiteist der extern vorgegebene Druckwert ablesbar.Beispiel für eine Dreipunkt-Druckregelung (nur beiDM-Meßkanal möglich):Der Trigger 1 wird auf den gewünschten Sollwert vonz.B. 800 mbar eingestellt.Mit Trigger 2 wird die Hysterese der Regelung auf z.B. 50Hysterese!HystereseSeite 4HinweisDiese Seite erscheint nur beim TM- und PM-Meßkanal.Gasart-KorrekturGAS.n2 ‰ Luft / Stickstoff (N 2)GAS.Ar ‰ ArgonAuslieferstatus:Luft / StickstoffBei der Einstellung Ar leuchtet im Display „CORR“, dieMeßwerte werden entsprechend korrigiert.Hinweis für TM-SensorenZur genauen Bestimmung des wahren Drucks einesanderen Gases als Luft oder N 2in der Apparatur mußder angezeigte Wert des Thermovacs mit einem für dasjeweilige Gas bei dem betreffenden Druck charakteristischenFaktor multipliziert werden. Hierzu stellen wir aufAnfrage entsprechende Korrekturkurven für die wichtigstenGase bereit.Hinweis für PM-SensorenZur genaueren Bestimmung des wahren Drucks einesanderen Gases als Luft oder N 2in der Apparatur mußder angezeigte Wert des Penningvacs mit dem für diesesGas charakteristischen Faktor multipliziert werden.Gas Korrekturfaktor––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––O 20,88 Die KorrekturfaktorenHe 4,7 sind jeweils auf dieH 22,28 Einstellung GAS.n2 bezogen.Ne 2,16Seite 5Softwareversion und Verriegelung (LOCK); siehe auchKapitel 2.3.9.2.Der Ausstieg aus dem Parametermodus und Übergangin den Meßbetrieb geschieht durch Drücken der Tastedes gewünschten Meßkanals (DM, TM oder PM) oderdurch Drücken der Taste PARA.mbar eingestellt.Sollwert Trigger 1Bei Überschreitung von 850 mbar wird das Relais vonTrigger 1 aktiviert (z.B. Steuerung des Pumpventils).Bei Unterschreitung von 750 mbar wird das Relais vonTrigger 2 aktiviert (z.B. Steuerung des Belüftungsventils).Parameterebene 2Durch Drücken der Taste Inkrement (2/13) in Geräteparameterseite5, gelangt man in die Parameterebene 2.In der Parameterebene 2 befindet sich folgender Inhalt:Seite 6Maßeinheiten TORR, PA, MICRON, MBARDie eingestellte Maßeinheit blinkt.HinweisDie hier eingestellte Maßeinheit gilt für alle drei angeschlossenenMeßkanäle.14 GA 09.505/2.01 - 09/97

Die Maßeinheit MICRON läßt sich nur einstellen, wennvor der Parametereinstellung der Meßwert des DM- oderTM-Meßkanals angezeigt wurde.Der PM-Meßkanal zeigt immer in „TORR“ an.Speziell für DM- und TM-Meßkanal:Die Meßwertanzeige erfolgt nur dann in MICRON, wennder Meßwert < 90.000 MICRON beträgt.Bei einem Meßwert von > 99.900 MICRON erfolgt dieAnzeige in Torr.Im Bereich 90.000 bis 99.900 MICRON erfolgt die Anzeigein MICRON oder in Torr (Hysteresebereich).Auslieferstatus:Seite 7MBAR (230 V-Version)TORR (100 V oder 120 V-Version)HinweisIn der Geräteparameterebene 2 gibt es in der Parameterseite7 für den MEMBRANOVAC-Meßkanal, für denTHERMOVAC-Meßkanal und für den PENNINGVAC-Meßkanal unterschiedliche Anzeigen.Seite 7 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Anzeige des angeschlossenen Sensors bzw. Einstellungdes oberen Druckbereiches bei linearen Sensoren.Anzeige bei LIN-Sensoren:Anzeige des Druckbereichesdes angeschlossenenSensorsHinweisBei codierten Sensoren erfolgt die Anzeige in vorgegebenenEinheiten.z.B. Sensor DI 2000 entspricht P 2000 und Sensor DI200 entspricht P 200.Für lineare Differenz- und Absolutdruck-Sensoren ohneSensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in denfolgenden Grenzen beliebig verschieben:Max. Druck (20 mA) 0 bis 20 000 mbar (Torr)[2·10 6 Pa]HinweisWird der Druckbereich verändert, so werden beide Triggerauf den minimalen Druckwert eingestellt und derTriggermode LEVEL aktiviert.Seite 7 für THERMOVAC-Meßkanal (TM)Fadenmaterial des angeschlossenen Sensors (FILA-MENT).FIL 1 Wolfram TR 211, TR 201 und TR 205FIL 2 Nickel / Platin TR 216 und TR 206Auslieferstatus FIL 1GA 09.505/2.01 - 09/97Seite 7 für PENNINGVAC-Meßkanal (PM)Die Geräteparameterseite 7 dient zum automatischen,druckabhängigen Ein/Aus-Schalten des PENNING-Meßkanals.Nach Aufruf der Geräteparameterseite 7 erscheint imDisplay die Bezeichnung AUTO.0 oder AUTO.1.AUTO.0AUTO.1Die Hochspannung kann mit der Taste „HV“oder über den externen Eingang HV-ON einundausgeschaltet werden. Eine druckabhängigeSteuerung durch Meßkanal TM erfolgt nicht.Die Hochspannung wird druckabhängig durchMeßkanal TM automatisch ein- und ausgeschaltet.Mit der Taste „HV“ oder über den externenEingang HV-ON läßt sich die Hochspannungjederzeit ausschalten und wieder einschalten,wenn der Druck p < 1·10 -2 mbar ist.Die genannten Druckgrenzwerte liegen zum- Einschalten der Hochspannung bei< 1·10 -2 mbar = 7,5·10 -3 Torr = 1 Pa = 8 Micron- Ausschalten der Hochspannung bei> 5·10 -2 mbar = 3,75·10 -2 Torr = 5 Pa = 37 Micronjeweils bezogen auf Luft / N 2.Die Druckanzeige wird bei Automatikbetrieb druckabhängigauf den jeweils günstigeren Meßkanal (TM / PM)umgeschaltet. Bei Sensorfehler im TM muß die Hochspannungvom Bediener eingeschaltet werden.Das Umschalten der Anzeige erfolgt vom THERMOVACaufPENNINGVAC-Meßkanal bei einem Druck < 3·10 -3mbar und das Umschalten von PENNINGVAC- aufTHERMOVAC-Meßkanal bei > 5·10 -3 mbar.AuslieferstatusAUTO.1HinweisBei vorgewählter Einstellung (siehe Einstellung AUTO.1)zum druckabhängigen Ein- bzw. Ausschalten des PEN-NINGVAC-Meßkanals durch die THERMOVAC-Meßstellewird bei Drücken oberhalb (unterhalb) dieser Schaltschwelleder TM-Meßkanal (PM-Meßkanal) angezeigt.Drückt man jetzt die Taste PM (TM) wird die entsprechendeDruckanzeige des PM-Meßkanals (TM-Meßkanals)angezeigt. Nach 1 min springt die Anzeige wiederautomatisch in den TM-Meßkanal (PM-Meßkanal) zurück.Seite 8In der Parameterseite 8 gibt es für den MEMBRANO-VAC-Meßkanal, THERMOVAC-Meßkanal und den PEN-NINGVAC-Meßkanal unterschiedliche Anzeigen.Seite 8 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Einstellung des unteren Druckbereiches für lineare Sensoren.HinweisDiese Seite erscheint nur, wenn ein Sensor ohne Sensorkodierungangeschlossen ist.Für lineare Differenz- und Absolutdruck-Sensoren ohne15

Sensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in denfolgenden Grenzen verschieben:Min. Druck (entspricht 4 mA)-1999 bis 0 mbar (Torr)-1,9·10 -5 bis 0 PaMax. Druck (entspricht 20 mA)0 bis 20 000 mbar (Torr)0 bis 2·10 +6 PaDie Schrittweite beträgt 1 mbar / Torr oder 100 Pa. DieAnzeige erfolgt in der aktuellen Druckeinheit.HinweisWird der Druckbereich verändert, so werden beide Triggerauf den minimalen Druckwert eingestellt und derTriggermode LEVEL aktiviert.Seite 8 für THERMOVAC- und PENNINGVAC-Meßkanal(TM, PM)Die Geräteparameterseite 8 dient zum Umschalten dernumerischen Anzeige von der Standardauflösung (zweistelligenMantisse) auf die hohe Auflösung (dreistelligeMantisse).Std Standardauflösung z.B. 3.0 -2HIGH Hohe Auflösung z.B. 3.00 -2Siehe hierzu auch die Tabelle 4 und 5 im Kapitel 2.10.2bzw. die Tabellen 8 und 9 im Kapitel 2.10.3.Seite 9In der Parameterseite 9 gibt es für den MEMBRANO-VAC-Meßkanal und dem THERMOVAC-Meßkanal unterschiedlicheAnzeigen.Seite 9 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Einstellung der Meßwertdarstellung.Lineare-SensorenAuswahl der Meßwertdarstellung im Display.Mögliche Einstellungen:Fo Fi (Ganzzahlen-Darstellung)Fo Si (Exponential-Darstellung)Bei der Ganzzahlendarstellung wird der Meßwert solange als Ganzzahl dargestellt, wie die Stellenzahl desDisplays ausreicht. Dann wechselt die Anzeige automatischin die Exponentialdarstellung.BeispielFo Fi 1626 mbar, nach der Umschaltung in PA1.62 +5 PAFo Si 1.62 +3 mbar1.62 +5 PASeite 9 für THERMOVAC-Meßkanal (TM)Leitungslängeneinstellung für THERMOVAC-Meßröhren.In der Geräteparameterseite 9 erfolgt die Einstellung derLeitungslänge für die THERMOVAC-Meßröhren.HinweisBei der Kombination der Meßröhre TR 211 ab der BaureiheB1 oder der Meßröhre TR 216 und TM-Meßkanalab Softwareversion 2.0 erfolgt ein automatischer Leitungslängenabgleich.In der Parameterseite 9 wird „CLA“angezeigt.Bei Verwendung anderer THERMOVAC-Meßröhrenerscheint nach Aufruf der Parameterseite 9 auf dem Display„CL xxx“.CL Leitungslängexxx Längenangabe in mDurch Drücken der Taste Inkrement bzw. Dekrementkann die Leitungslänge im Bereich von 0 m - 100 m inSprüngen zu 5 m (5 m, 10 m, 15 m, 20 m, 25 m usw.)eingestellt werden. Die Grundeinstellung beträgt 5 m.HinweisZwischenwerte sind auf- bzw. abzurunden.Die Werte gelten nur für Standardmeßleitungen mit Leitungsmaterial6 x 18 x 0,1 (6 x 0,14 mm 2 ).Seite 10 (Nur MEMBRANOVAC-Meßkanal)Auswahl der Trigger-Hysterese.Mögliche EinstellungHS 0,1 % bis 9,9 % vomSensorendwertDie Einstellung bezieht sich auf den jeweiligen Sensorendwert(FS) in Prozent, und ist nur im TriggermodeLEVEL von Bedeutung.HinweisIm TM- und PM-Meßkanal ist die Hysterese fest eingestellt.Siehe hierzu auch Tabelle 5 im Kapitel 2.10.2 bzw.Tabelle 9 im Kapitel 2.10.3.2.3.9.2 Verriegeln der ParametereinstellungDurch Verriegeln der Parametereinstellung kann einungewolltes Verändern einmal eingestellter Parameterverhindert werden.Ein Festhalten der Taste PARA in der Geräteparameterseite5 (Softwareversion) für mehr als 5 s verriegelt alleParameter gegen Veränderungen. Es leuchtet die Anzeige„LOCK“ (2/5). Im Zustand „LOCK“ können über dieTaste PARA (2/12) nur die eingestellten Werte kontrolliertwerden. Die Tasten DM, TM und PM sind nicht verriegelt.Das Entriegeln ist nur unter der Anzeige Softwareversion(Parameterseite 5) durch Drücken der Taste PARA(5 s) möglich.16 GA 09.505/2.01 - 09/97

2.4 Versorgungs- undSteckeranschlüsse aufder GeräterückseiteAlle Versorgungs- und Steckeranschlüsse befinden sichauf der Geräterückseite. Diese sind in Abb. 7 dargestellt.2.4.1 SpannungsversorgungDer Netzanschluß, das Umschalten des CM 32 aufandere Netzspannungen und der Austausch der Netzsicherungenist im Kapitel 2.2 beschrieben.2.4.2 Anschluß der SensorenDie Sensoren sollten vorzugsweise auf dem Flansch stehend(d. h. Stecker nach oben) montiert werden. Einegeneigte Montage, maximal horizontal, ist möglich. Diesbeeinflußt jedoch die Messung des Nullpunktes, und dieMessung muß gegebenenfalls korrigiert werden.AchtungNicht gestattet ist eine hängende Montage,da sich dann Kondensate im Meßkopfsammeln können. Diese beeinflussendie Messung und können den Meßaufnehmerbeschädigen.Der MEMBRANOVAC-Sensor für den DM-Meßkanalwird an die Anschlußbuchse (7/4) bzw. (Abb. 8) angeschlossen.Trennung Signalmasse und SchutzleiterIn der Standardausführung sind Signalmasse undSchutzleiter im Sensor voneinander getrennt, um unerwünschteNebeneffekte auszuschließen. Sollte der Sensorisoliert von der Pumpstandsmasse montiert wordensein, ist es evtl. notwendig, den Leitungsschirm der Sensorleitungmit dem Sensorgehäuse zu verbinden (siehehierzu ggf. auch die zum Sensor gehörende Gebrauchsanleitung).Die THERMOVAC-Meßröhre für den TM-Meßkanal wirdan die Anschlußbuchse (7/10) angeschlossen.Die Versorgung der PENNINGVAC-Meßröhre erfolgtdurch eine Hochspannung (Zündspannung 3,3 kV;Betriebsspannung 1,6 kV; / R i= 7,7 MΩ) über dieAnschlußbuchse (7/9).Die Belegung der Buchse ist wie folgt:Innenleiter Positive HochspannungAußenleiter Rückleitung und AbschirmungErläuterungen zur Abb. 71 Funktions-Erde (Potentialausgleich für CM 32)2 Anschluß für RS 232 C-Schnittstelle3 Anschluß für DM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)4 Anschluß der Sensoren(DM-Meßkanal)5 Kaltgerätesteckdose6 Anschluß für DM-Meßkanal (Schreiberausgangund externer Sollwertausgang)7 Anschluß für TM-Meßkanal(Schreiberausgang)8 Anschluß für PM-Meßkanal(Schreiberausgang und externes HV Ein/Aus)9 Anschluß der PENNINGVAC-Meßröhre10 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre(TM-Meßkanal)11 Anschluß für PM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)12 Anschluß für TM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)S 1 = DM-MeßkanalS 2 = TM-MeßkanalGA 09.505/2.01 - 09/97CEAbb. 7 Geräterückseite COMBIVAC CM 32HinweisDie in dieser Abbildung dargestellten Klemmenbezeichnungensind nach DIN-Vorschrift durchgeführt.Aus Platzgründen sind die Ziffern-Bezeichnungennicht auf der Geräterückseite bzw. der Klemmenleistedargestellt.17

Erläuterungen zur Abb. 8PinbelegungPin 1 --Pin 2 Meßsignal 4 bis 20 mAPin 3 Kodierung MeßbereichPin 4 --Pin 5 Kodierung SensortypPin 6 Versorgung 12 bis 30 V DC (+)Pin 7 AbschirmungAbb. 8 Anschluß der MEMBRANOVAC-Sensoren2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen desMEMBRANOVAC- und THERMOVAC-MeßkanalsDie Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. Eine4polige Klemmleiste (9/2) bzw. (9/3) oberhalb und eine8polige (9/1) bzw. (9/6) unterhalb des Meßröhrenanschlusses.Die Klemmleisten übereinander sind immereinem Meßkanal zugeordnet. Die Kontaktbelegung ist fürbeide Meßkanäle fast gleich. Die Schraubklemmenhaben aber je Meßkanal unterschiedliche Kontaktbezeichnungen.Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (9/2) für denMEMBRANOVAC-Meßkanal ist wie folgt:DM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––11 Triggerschwellwert (TRG),Triggermode (CE)12 Triggerschwellwert (Masse), (CE)31 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)32 Schreiberausgang (Masse)HinweisMaximale Fremdspannung 24 V DCDie Belegung der 4poligen Klemmleiste (9/3) für denErläuterungen zur Abb. 91 Anschluß für DM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)2 Anschluß für DM-Meßkanal (Schreiberausgangund externer Sollwertausgang)3 Anschluß für TM-Meßkanal (Schreiberausgang)4 Anschluß für PM-Meßkanal (Schreiberausgangund externes HV Ein/Aus)5 Anschluß für PM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)6 Anschluß für TM-Meßkanal(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)Abb. 9 Teilansicht der Geräterückseite18 GA 09.505/2.01 - 09/97

THERMOVAC-Meßkanal ist wie folgt:TM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––111 --112 --131 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)132 Schreiberausgang (Masse)Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/1) und (9/6)ist wie folgt:DM TM Kontaktbelegung Kontaktsymbol––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––82 85 C Ready83 86 NO (offen)41 44 NC (geschlossen)42 45 C Trigger 143 46 NO (offen)51 54 NC (geschlossen)52 55 C Trigger 253 56 NO (offen)Bedeutung der Relaisbezeichnung:NC Normally Closed (Ruhekontakt)NO Normally Open (Arbeitskontakt)C Common (Mittenkontakt)HinweisFür die 8polige Klemmleiste ist eine max. zulässigeBetriebsspannung gegen Schutzerde von 250 V AC und50/60 Hz zugelassen.Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/5) ist wiefolgt:PM Kontaktbelegung (Ruhezustand) Kontaktsymbol––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––182 C Ready181 NO (offen)141 NC (geschlossen)142 C Trigger 1143 NO (offen)151 NC (geschlossen)152 C Trigger 2153 NO (offen)Bedeutung der Relaisbezeichnung:NC Normally Closed (Ruhekontakt)NO Normally Open (Arbeitskontakt)C Common (Mittenkontakt)HinweisFür die 8polige Klemmleiste ist eine max. zulässigeBetriebsspannung gegen Schutzerde von 250 V AC und50/60 Hz zugelassen.2.4.5 RS 232 C-SchnittstelleDie Steckerbelegung (7/2) für den Anschluß der RS 232C-Schnittstelle ist der Gebrauchsanleitung GA 09.027 zuentnehmen.2.4.4 Ausgangs-Schraubklemmen desPENNINGVAC-MeßkanalsDie Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. Eine5polige Klemmleiste (9/4) oberhalb und eine 8polige(9/5) unterhalb des Meßröhrenanschlusses.Die Belegung der 5poligen Klemmleiste (9/4) für denPENNINGVAC-Meßkanal ist wie folgt:PM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––233 ca. +24 V (R i= 680 Ω)für externen Kontakt auf 211211 HV-Steuereingang für PM (HV ON)212 Masse für HV-Steuereingang231 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)232 Masse für SchreiberausgangFür den PENNINGVAC-Meßkanal ist die Kontaktbelegungder 8poligen Klemmleiste (9/5) identisch mit der8poligen Klemmleiste (9/1) bzw. (9/6) des MEMBRANO-VAC- bzw. THERMOVAC-Meßkanals, jedoch mit unterschiedlichenKontaktbezeichnungen.GA 09.505/2.01 - 09/9719

2.5 Aufstellen des GerätesDas COMBIVAC CM 32 arbeitet zuverlässig bei den üblichenindustriellen Umgebungsbedingungen (siehe Kapitel1.2.10).Das Gerät wird in einem robusten Tischgehäuse ausgeliefert.Das Metallgehäuse hat auf seiner Ober- undUnterseite Lüftungsschlitze. Beim Einbau in einenSchrank ist für ausreichende Belüftung des Gerätes zusorgen. Siehe hierzu auch Kapitel 1.2.10 „Umgebungsbedingungen“.Aufgrund seiner Metallausführung ist ein guter Schutzvor elektromagnetischen Störeinflüssen (EMV) gegeben.Trotzdem sollte der Montageabstand zu starken Magnetfeldern,großen Transformatoren, Motoren etc. so großsein, daß das CM 32 hiervon nicht beeinflußt wird.2.5.1 EinbauHinweisBeim Einbau des CM 32 ist darauf zu achten, daß die imGehäuse befindlichen Lüftungsschlitze nicht verdecktwerden. Für ausreichenden Luftdurchsatz ist zu sorgen.2.5.2 RackeinbauIm Lieferzustand ist das CM 32 für den Einbau in ein 19“Rack mit 3 Höheneinheiten vorbereitet.Das CM 32 wird in das Rack eingesetzt und mit vierBefestigungsschrauben von der Frontseite aus angeschraubt.Befestigungsschrauben sind im Lieferumfangenthalten.2.5.3 SchalttafeleinbauIm Lieferzustand ist das CM 32 für den Einbau in eineSchalttafel vorbereitet. Der zum Einbau erforderlicheSchalttafelausschnitt ist in Abb. 10 angegeben.2.5.4 Verwendung des CM 32 als TischgerätZur Verwendung des CM 32 als Tischgerät kann an derGeräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900)angebracht werden. Der Standfuß wird von der Geräterückseitein die unterste Nut der Eckleiste eingesetzt undnach vorne geschoben, bis er einrastet.Die vier Klebefüße (Best.-Nr. 229 48 120) sind an derUnterseite des Standfußes und des Gerätes im hinterenBereich aufzukleben.2.6 Überprüfung der Gerätefunktion2.6.1 Der THERMOVAC-MeßkanalDer THERMOVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichenund wartungsfrei.Mit dem Testkopf T 210 lassen sich die Gerätefunktionenüberprüfen. Der Testkopf stellt einen Simulator derTHERMOVAC-Meßröhre dar, liefert aber keine Kalibrierwerte.HinweisDer Testkopf T 210 ist kein Prüfmittel im Sinne der DIN /ISO 9001 (EN 29001).Mit Hilfe des Einstellknopfes können beliebige Druckwerteim Meßbereich von 1·10 -3 mbar bis 1000 mbar eingestelltwerden.Diese Einstellmöglichkeit ist besonders bei der Überprüfungvon Schaltpunkteinstellung und Schaltpunktreaktionan Vakuumanlagen interessant, da diese Funktionsprüfungohne Inbetriebnahme der Vakuumpumpendurchgeführt werden kann.Bei Auftreten einer Fehlfunktion an der Meßeinrichtungkann mit Hilfe des Testkopfes T 210 festgestellt werden,ob der Fehler an der Meßröhre, der Meßleitung oderAbb. 10 Maßzeichnung und Schalttafelausschnitt (Maße in mm)20 GA 09.505/2.01 - 09/97

dem CM 32 selber liegt.2.6.2 Der PENNINGVAC-MeßkanalDer PENNINGVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichenund wartungsfrei.Mit dem Testkopf T 35 läßt sich die Gerätefunktion überprüfen.Der Testkopf stellt einen Simulator der PEN-NINGVAC-Meßröhre dar. Mit eingebauten Widerständenwerden verschiedene Druckwerte simuliert, die an dreiSteckbuchsen zur Verfügung stehen.HinweisDer Testkopf T 35 ist kein Prüfmittel im Sinne der DIN /ISO 9001 (EN 29001).Die Prüfwerte sind auf dem Testkopf angegeben.Bei Auftreten einer Fehlfunktion an der Meßeinrichtungkann mit Hilfe des Testkopfes T 35 festgestellt werden,ob der Fehler an der Meßröhre, der Meßleitung oderdem CM 32 selber liegt.2.7.2 Abgleich derTHERMOVAC-MeßröhrenDie Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens beeinträchtigendie Genauigkeit der Druckanzeige. Daherwird empfohlen, die THERMOVAC-Meßröhren bei Bedarfabzugleichen. Der Abgleich kann wie folgt durchgeführtwerden:Vakuum-Apparatur belüften und Potentiometer 100 % ander THERMOVAC-Meßröhre so einstellen, daß sich folgendeBargraph-Anzeige ergibt:Abgleichzu hochAbgleichexakt2.6.3 Der MEMBRANOVAC-MeßkanalDer MEMBRANOVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichenund wartungsfrei.2.7 Abgleich2.7.1 Abgleich der linearen SensorenBei linearen Sensoren sollte lediglich der Nullpunkt vonZeit zu Zeit überprüft und ggf. abgeglichen werden.NullpunktabgleichVakuum-Apparatur auf einen Druck < 10 -2 mbar(DI 200 / DI 2000) evakuieren und Potentiometer „0“ amSensor so einstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzeigeergibt:Abgleichzu niedrigHinweis- Bei Torr-Einstellung erscheint im THERMOVAC-Meßkanalder Teilstrich 1·10 +3 nicht, weil das THERMOVACaus physikalischen Gründen bis maximal Atmosphärendruck‰ ca. 760 Torr messen kann.- Um einen stabilen, aber dennoch exakten Abgleich des100 % Punktes zu gewährleisten, sollte das Abgleich-Potentiometer (100 %) nach Aufleuchten des letztenBargraph-Segments um 90 ° im Uhrzeigersinn weitergedrehtwerden. Hierbei darf der rechte Pfeil (Bereichsüberschreitung)gerade aufleuchten.Vakuum-Apparatur auf einen Druck < 10 -3 mbar evakuierenund Potentiometer „0“ an der THERMOVAC-Meßröhre soeinstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzeige ergibt:Abgleichzu hochAbgleichzu hochAbgleichexaktAbgleichexaktAbgleichzu niedrigAbgleichzu niedrigGA 09.505/2.01 - 09/9721

Vakuum-Apparatur belüften und nochmals die 100 %-Einstellung kontrollieren. Eine eventuelle Abweichungmit dem Potentiometer korrigieren.War eine Korrektur der 100 %-Einstellung notwendig,Nullpunkt-Einstellung wiederholen.2.8 AußerbetriebsetzungDurch Ziehen des Netzsteckers wird das Gerät ausgeschaltet.2.9 ZustandsmeldungenFAULTDies ist ein Hinweis, das CM 32 gemäß Gebrauchsanleitungzu bedienen, da hier eineFehlbedienung vorliegt.Z.B.: LDie Trigger sind im Intervall-Modus, aber derSchwellwert 1 ist größer/gleich Schwellwert 2.Das Zeichen leuchtet auch kurz auf, wenn eineTaste gedrückt wird, die im Moment keineFunktion hat. Nach kurzer Zeit erlischt diesesZeichen wieder.Dieses Zeichen kennzeichnet einen geräteinternenFehler bzw. einen Gerätedefekt.Gerät instandsetzen lassen.Das COMBIVAC CM 32 zeigt verschiedene Zustandsmeldungenan.FAILFAILFAIL bezeichnet einen Sensorfehler.Liegt bei Anwahl des MEMBRANOVAC- oderTHERMOVAC-Meßkanals ein Fehler vor, sowird einer der nachfolgenden Fehler im Displayangezeigt:No SensorFehlerursache:- Nicht gesteckte Leitung.- Unterbrochene Leitung.- Nicht identifizierbarer Sensor.- Fehlender Sensor.Filament brokenHinweisDiese Fehleranzeige gilt nur beiangeschlossenen TM-Sensoren.Fehlerursache:- Meßfaden defekt.Für den PENNINGVAC-Meßkanal gilt:HV (Hochspannung) wurde bei einem Druckkleiner 5·10 -9 mbar / Torr (5·10 -7 Pa) eingeschaltet.Leitungsunterbrechung.Sensor nicht angeschlossen.HinweisWird die Hochspannung eingeschaltet, erscheintdruckabhängig nach ca. 5 bis 20 s dieMeldung „FAIL“ solange, bis die Meßröhregezündet hat und ein Druck über 5·10 -9 mbargemessen wird.Nur beim MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM).P Sensorendwert (Parameterseite 7) undCodierter Sensor angeschlossen oder vorherangeschlossen gewesen.Nur beim THERMOVAC-Meßkanal (TM).Initialisierungstext bei Sensortausch imTM-Meßkanal.Für den PENNINGVAC-Meßkanal gilt (PM):FAULTAusUrsache:- Hochspannung nicht eingeschaltet.Fehler im Programmablauf des Mikroprozessors,z.B. durch außergewöhnlich starke elektromagnetischeStörungen bzw. kurzzeitigenNetzausfall (1 bis 3 Sekunden). In diesem Fallwird das Gerät bzw. der betroffene Meßkanaldurch eine Watchdog-Funktion in einen stabilenZustand versetzt:- Display: Statusanzeige FAULT, andere Segmentekönnen flackern.- Schreiberausgang wird auf 10,2 bis 10,6 Vhochgesetzt.- Kontakt des Bereitmelderelais ist geöffnet,Triggerrelais sind in Ruhelage.Abhilfe:Gerät ausschalten (vom Netz trennen). Nachfrühestens 5 Sekunden wieder in Betrieb nehmen.22 GA 09.505/2.01 - 09/97

2.10 Zustands- und Schreibertabellen2.10.1 Zustands- und Schreibertabellen für den MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Tabelle 1 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereitmelder im DM-MeßkanalI = Sensorsignalin mASystem-Zustand Anzeige Urec = Analogausgangin VBereitschaftsrelaisTriggerrelais0 bis 1 kein Sensor No Sen 10 < Urec < 10,6 V offen Ruhelageca. 1 Sensor FAIL 10 < Urec < 10,6 V offen Ruhelageca. 3 - 3,8Bereichsunterschreitung4 - 20 Meßbereich 7-Segment-Anzeige:Druckwert;linear skalierter Bargraph> 20 LIN:Bereich überschritten7-Segment-Anzeige:minimalerDuckwertBargraph : ❯entsprechendenegative Spannung0 < Urec < 10 V,dem Druckwert entsprechendepos.Spannunggeschlossengeschlossenaktiviertaktiviert abhängigvom eingestelltenWert10 < Urec < 10,6 V geschlossen RuhelageGleichung für Analogausganglinear skaliertAbsolutdrucksensorU analog= (P meß · 10) / P maxRelativ- und DifferenzdrucksensorU analog= ((P meß- P min) · 10) / (P max- P min)Gleichung für AnalogeingangU Eingang: 0 bis 10 VAbsolutdrucksensorP Trigger= 0,1 · U Eingang · P maxRelativ- und DifferenzdrucksensorP Trigger= 0,1 · U Eingang · (P max- P min) + P minP maxP meßP minU analog: Endwert des Sensors (FS): aktueller Meßwert: Anfangswert des Sensors: Schreiber-AusgangsspannungP maxP meßP minU analogP Trigger: Endwert des Sensors (FS): aktueller Meßwert: Anfangswert des Sensors: Schreiber-Ausgangsspannung: TriggerschwelleU Eingang: Spannung am Eingang7 Segment-Meßwertanzeige (Format fixed)PV 1001 1 mbar-Schritte; 1 bis 1040 mbar alsspezifizierter Bereich (als Endwert muß1500 mbar eingestellt werden)PV 1501 Ex 1 mbar-Schritte; 1 bis 1500 mbarMI 200 0,1 mbar-Schritte; 0,1 bis 200 mbarMI 2000 1 mbar-Schritte; 1 bis 2000 mbarGA 09.505/2.01 - 09/9723

Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgangmbar Pa Torr Micron Schreiber-Spannung1,0·10 -3 1,0·10 -1 1,0·10 -3 1 0,00 V2,0·10 -3 2,0·10 -1 2,0·10 -3 2 0,50 V5,0·10 -3 5,0·10 -1 5,0·10 -3 5 1,16 V9,0·10 -3 9,0·10 -1 9,0·10 -3 9 1,59 V1,0·10 -2 1,0·10 0 1,0·10 -2 10 1,67 V2,0·10 -2 2,0·10 0 2,0·10 -2 20 2,17 V5,0·10 -2 5,0·10 0 5,0·10 -2 50 2,83 V9,0·10 -2 9,0·10 0 9,0·10 -2 90 3,26 V1,0·10 -1 1,0·10 1 1,0·10 -1 100 3,33 V2,0·10 -1 2,0·10 1 2,0·10 -1 200 3,84 V5,0·10 -1 5,0·10 1 5,0·10 -1 500 4,50 V9,0·10 -1 9,0·10 1 9,0·10 -1 900 4,92 V1,0·10 0 1,0·10 2 1,0·10 0 1000 5,00 V2,0·10 0 2,0·10 2 2,0·10 0 2000 5,50 V5,0·10 0 5,0·10 2 5,0·10 0 5000 6,16 V9,0·10 0 9,0·10 2 9,0·10 0 9000 6,59 V1,0·10 1 1,0·10 3 1,0·10 1 10 000 6,67 V2,0·10 1 2,0·10 3 2,0·10 1 20 000 7,17 V5,0·10 1 5,0·10 3 5,0·10 1 50 000 7,83 V9,0·10 1 9,0·10 3 9,0·10 1 90 000 8,26 V1,0·10 2 1,0·10 4 1,0·10 2 1,0·10 2 Torr 8,33 V2,0·10 2 2,0·10 4 2,0·10 2 2,0·10 2 Torr 8,84 V5,0·10 2 5,0·10 4 5,0·10 2 5,0·10 2 Torr 9,50 V9,0·10 2 9,0·10 4 *) *) 9,92 V1,0·10 3 1,0·10 5 -- -- 10,00 V*) FS: 7,5·10 2 Torr = 9,8 V2.10.2 Zustands- und Schreibertabellen fürden THERMOVAC-Meßkanal (TM)Tabelle 3 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereitmelderim TM-MeßkanalTM-MeßkanalZustandNetz „AUS“Sofort nach Netz„EIN“Netz „EIN“ nachca. 1 s und gültigemMeßwertFadenbruchoffenoffengeschlossenoffenoffenTrigger-RelaisArbeitskontaktoffenoffenje nach Druckoffen odergeschlossenoffenoffen--Kein Sensor angeschlossenTM-BereitmeldekontaktSchreiber-Ausgang10,2 - 10,6 V0 bis 10 V10,2 - 10,6 V10,2 - 10,6 VGleichung für den Schreiberausgang (Ua) beim THER-MOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2:10Ua = — ( log. p + 3)6UapSchreiberausgangsspannung in VDruck in mbar oder TorrBeispielp = 7·10 -2 mbar10 10Ua = — ( log. 7·10 -2 + 3) = — (-1,15 + 3) = 3,08 V6 6Tabelle 4 Anzeigeauflösung und -schritteDruck Schrittweite Schrittweite[mbar / Torr] bei STD bei HIGH1,00·10 -3bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte1,00·10 -2bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -2bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -2bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -1bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -1bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -1bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 0usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte9,90·10 19,95·10 11,00·10 2bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte2,00·10 2bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte3,00·10 23,50·10 24,00·10 25,00·10 26,00·10 28,00·10 2 **)1,00·10 3 **)**) FS: 7,6·10 2 Torr24 GA 09.505/2.01 - 09/97

Tabelle 5 Zuordnung: Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Leveltrigger und Standard-Auflösungmbar Pa Torr Micron Meßun- Trigger-Hysteresesicherheit Level-Trigger1,0·10 -3 bis 4,9·10 -3 1,0·10 -1 bis 4,9·10 -1 1,0·10 -3 bis 4,9·10 -3 1, 2, 3, 4 ± 20 % nicht einstellbar5,0·10 -3 bis 9,9·10 -3 5,0·10 -1 bis 9,9·10 -1 5,0·10 -3 bis 9,9·10 -3 5, 6, 7, 8, 9 ± 20 % + 20 %1,0·10 -2 bis 9,9·10 -2 1,0·10 0 bis 9,9·10 0 1,0·10 -2 bis 9,9·10 -2 10, 11, 12... 99 ± 15 % + 10 %1,0·10 -1 bis 9,9·10 -1 1,0·10 1 bis 9,9·10 1 1,0·10 -1 bis 9,9·10 -1 100, 110... 990 ± 15 % + 10 %1,0·10 0 bis 9,9·10 0 1,0·10 2 bis 9,9·10 2 1,0·10 0 bis 9,9·10 0 1000, 1100... 9900 ± 15 % + 10 %1,0·10 1 bis 9,9·10 1 1,0·10 3 bis 9,9·10 3 1,0·10 1 bis 9,9·10 1 10000, 11000... 99000 ± 15 % + 10 %1,0·10 2 bis 2,9·10 2 1,0·10 4 bis 2,9·10 4 1,0·10 2 bis 2,9·10 2 1,0·10 2 bis 2,9·10 2 Torr ± 50 % + 20 %3,0·10 2 3,0·10 4 3,0·10 2 3,0·10 2 Torr -- + 20 %3,5·10 2 3,5·10 4 3,5·10 2 3,5·10 2 Torr -- + 20 %4,0·10 2 4,0·10 4 4,0·10 2 4,0·10 2 Torr -- + 20 %5,0·10 2 5,0·10 4 5,0·10 2 5,0·10 2 Torr -- nicht einstellbar6,0·10 2 6,0·10 4 6,0·10 2 6,0·10 2 Torr -- nicht einstellbar8,0·10 2 8,0·10 4 7,6·10 2 7,6·10 2 Torr -- nicht einstellbar1,0·10 3 1,0·10 5 -- -- -- nicht einstellbarHinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.2.10.3 Zustands- und Schreibertabellen fürden PENNINGVAC-Meßkanal (PM)Tabelle 6 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereitmelderim PM-MeßkanalGleichung für den Schreiberausgang (Ua) beim PEN-NINGVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 7:10Ua = — ( log. p + 9)7UapPM-MeßkanalZustandNetz „AUS“Sofort nach Netz„EIN“Sofort nach HV-EinKein Meßwert nach10 s vorhandenHV-AusSchreiberausgangsspannung in VDruck in mbar oder TorrBeispielp = 7·10 -3 mbaroffenoffenoffenoffenoffenTrigger-RelaisArbeitskontaktoffenoffenoffenje nach Druckoffen odergeschlossenoffenoffen10 10Ua = — ( log. 7·10 -3 + 9) = — (-2,155 + 9) = 9,78 V7 7--Meßwert (p > 5·10 -9mbar) nach 10 s vorhandenPM-BereitmeldekontaktgeschlossenSchreiber-Ausgang10,2 - 10,6 V10,2 - 10,6 V-0,2 - 10,2 V10,2 - 10,6 V--Tabelle 7 Beispieltabelle für PM-Schreiberausgangmbar Pa Torr Schreiber-Spannung1,0·10 -9 1,0·10 -7 1,0·10 -9 0,00 V2,0·10 -9 2,0·10 -7 2,0·10 -9 0,43 V5,0·10 -9 5,0·10 -7 5,0·10 -9 1,00 V9,0·10 -9 9,0·10 -7 9,0·10 -9 1,36 V1,0·10 -8 1,0·10 -6 1,0·10 -8 1,43 V2,0·10 -8 2,0·10 -6 2,0·10 -8 1,86 V5,0·10 -8 5,0·10 -6 5,0·10 -8 2,43 V9,0·10 -8 9,0·10 -6 9,0·10 -8 2,79 V1,0·10 -7 1,0·10 -5 1,0·10 -7 2,86 V2,0·10 -7 2,0·10 -5 2,0·10 -7 3,29 V5,0·10 -7 5,0·10 -5 5,0·10 -7 3,86 V9,0·10 -7 9,0·10 -5 9,0·10 -7 4,22 V1,0·10 -6 1,0·10 -4 1,0·10 -6 4,29 V2,0·10 -6 2,0·10 -4 2,0·10 -6 4,72 V5,0·10 -6 5,0·10 -4 5,0·10 -6 5,28 V9,0·10 -6 9,0·10 -4 9,0·10 -6 5,65 V1,0·10 -5 1,0·10 -3 1,0·10 -5 5,71 V2,0·10 -5 2,0·10 -3 2,0·10 -5 6,14 V5,0·10 -5 5,0·10 -3 5,0·10 -5 6,71 V9,0·10 -5 9,0·10 -3 9,0·10 -5 7,08 V1,0·10 -4 1,0·10 -2 1,0·10 -4 7,14 V2,0·10 -4 2,0·10 -2 2,0·10 -4 7,57 V5,0·10 -4 5,0·10 -2 5,0·10 -4 8,14 V9,0·10 -4 9,0·10 -2 9,0·10 -4 8,51 V1,0·10 -3 1,0·10 -1 1,0·10 -3 8,57 V2,0·10 -3 2,0·10 -1 2,0·10 -3 9,00 V5,0·10 -3 5,0·10 -1 5,0·10 -3 9,57 V9,0·10 -3 9,0·10 -1 9,0·10 -3 9,93 V1,0·10 -2 1,0 1,0·10 -2 10,00 VGA 09.505/2.01 - 09/9725

Tabelle 8 Anzeigeauflösung und -schritteDruck Schrittweite Schrittweite[mbar] bei STD bei HIGH9,90·10 -10bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -7usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -3bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte6,00·10 -3bis 0,2er-Schritte 0,2er-Schritte1,00·10 -2Tabelle 9 Zuordnung; Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysteresein Einstellung Level-Triggermbar Pa Torr Meßunsicherheit Trigger-HystereseLevel-Trigger9,9·10 -10 9,9·10 -8 9,9·10 -10 -- nicht einstellbar1,0·10 -9 1,0·10 -7 1,0·10 -9bis bis bis - 50; + 100 % nicht einstellbar9,9·10 -9 9,9·10 -7 9,9·10 -91,0·10 -8 1,0·10 -6 1,0·10 -8bis bis bis - 50; + 100 % + 20 %9,9·10 -8 9,9·10 -6 9,9·10 -81,0·10 -7 1,0·10 -5 1,0·10 -7bis bis bis - 50; + 100 % + 10 %9,9·10 -5 9,9·10 -3 9,9·10 -51,0·10 -4 1,0·10 -2 1,0·10 -4bis bis bis -- + 20 %1,0·10 -2 1,0·10 -0 1,0·10 -2HinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.26 GA 09.505/2.01 - 09/97

3 Wartung3.1 Service bei LEYBOLDFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formularbenutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende derGebrauchsanleitung abgedruckt: „Erklärung über Kontaminierungvon Vakuumgeräten und -komponenten“.Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie esdem Gerät bei.Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zurErfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unsererMitarbeiter.Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEY-BOLD an den Absender zurückschicken.GA 09.505/2.01 - 09/9727

4 Kurzanweisung28 GA 09.505/2.01 - 09/97

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1.80.7.676.13 RSP 09.97Printed in Germany on chlorine-free bleached paperLEYBOLD INFICONBonner Straße 498 (Bayenthal)D-50968 KölnTelefon: + 49 (221) 347-0Telefax: + 49 (221) 347-1250http://www.leyboldvac.dee-mail:documentation@leyboldvac.deGA 09.505/2.01 - 09/97