Laborgasversorgungen. - Verein Deutscher Ingenieure

Die Anlage muss dicht seinBedeutung der Dichtheit für Laborgas-AnlagenSicherheitsaspektQualitätsaspekt– Austretendes Gas stellt eine Gefahr fürMensch, Umwelt und Technik da– Eingedrungene Luftbestandteile könnenbei reaktiven Gasen (z.B. HCl oder Silan)die Gasversorgung von Innen zerstören.Hierdurch können Gefahrenmomenteauftreten— Das Gasentnahmesystem muss dieGasqualität der Spezialgase von derFlasche bis zum „Point of use“ sicherstellen4/11/2013 19Die Anlage muss dicht seinLeckrateLeckrate gemessen als Helium-Leckrate in [mbar*l/sec]Definition: Die Leckrate beträgt 1 mbar*l/s wenn in einem evakuierten Behältermit einem Volumen von 1 Liter der Druck in 1 Sekunde um 1mbar ansteigt oderbei Überdruck in einem Behälter um 1 mbar abfälltLeckrateGasverlustinZeiteinheit10 -31 cm 3 in15 min10 -4 1 cm 3 in3 Stunde10 -5 1 cm 3 in30 Stunden10 -6 1 cm 3 in12 Tagen – Labor Standard10 -7 1 cm 3 in4 Monaten10 -8 1 cm 3 in3 Jahren10 -9 1 cm 3 in30 jahrenSicherheitsaspektQualitätsaspekt4/11/2013 2010