VASEª Messungen an dünnen, beschichteten Mylarfolien

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L.O.T.-Oriel GmbHIm Tiefen See 58D 64293 Darmstadt.N für Al 2 O 3 an der Filmoberseite: Tiefenprofil der Brechzahl N:1.710al2o3_6 Optical Constants1.78Depth Profile of Optical Constants at 500nm1.700n1.76nIndex of refraction 'n'1.6901.6801.6701.660Index of refraction 'n'1.741.721.701.681.661.650200 400 600 800 1000 1200Wavelength in nm1.64-50 0 50 100 150 200 250Distance from Substrate in nmTiO 2 auf Mylar:Diese Mylarfolie war nominell mit 100 nm TiO 2 beschichtet. TiO 2 weißt einAbsorptionsverhalten im UV auf, das von einem einfach exponetiellen Velauf abweicht. Umneben der Brechzahl auch exakte Extinktionskoeffizienten zu bestimmen, wurde zunächstein parametrisiertes Modell für die optischen Konstanten des TiO 2 verwendet und dieDispersionsparametern und die Schichtdicke bestimmt. Anschließend wurde imAbsorptionsbereich gezielt nach n und k als Funktion der Wellenlänge gefittet. Bei dieseProbe mußte im Modell eine Oberflächenrauhigkeit berücksichtigt werden. Neben denellipsometrischen Daten wurden auch Transmissionsdaten in der Auswertung verwendet.2 srough 2.2276 nm1 tio2_zt 99.93 nm0 mylar 0.025 mm25Generated and Experimental Data300Generated and Experimental DataPsi in degrees2015105Model FitExp E 60°Exp E 65°Exp E 70°Delta in degrees2001000Model FitExp E 60°Exp E 65°Exp E 70°0300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm-100300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm6
L.O.T.-Oriel GmbHIm Tiefen See 58D 64293 Darmstadt.1.0Generated and Experimental Data3.4tio2_zt Optical Constants1.0Transmission0.80.60.40.2Model FitExp pT 0°Index of refraction 'n'3.23.02.82.62.4nk0.80.60.40.2Extinction Coefficient 'k'0.0300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm2.20.0300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nmTiN auf Mylar:Auch bei dieser Probe mit nominell 30 nm TiN wurden Transmissionsdaten in der Analysemit angefittet. Zur Beschreibung der optischen Konstanten dieser metallischen Schichthaben wir ein Lorentz-Oszillatormodell mit drei Oszillatoren verwendet.1 tin_z 28.193 nm MSE=2.950 mylar 0.025 mm Thick.1 28.193±0.67835Generated and Experimental Data180Generated and Experimental Data30160Psi in degrees252015Model FitExp E 60°Exp E 65°Exp E 70°Delta in degrees14012010080Model FitExp E 60°Exp E 65°Exp E 70°10300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm60300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm1.00Generated and Experimental Data3.3tin_z Optical Constants6.0Transmission0.800.600.400.20Model FitExp pT 0°Index of refraction 'n'3.02.72.42.11.81.5nk5.04.03.02.01.0Extinction Coefficient 'k'0.00300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm1.20.0300 600 900 1200 1500 1800Wavelength in nm7
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