Modulhandbuch des Fachbereichs Physik Studiengänge

Studiengang:
Modulbezeichnung:
Kürzel:
Lehrveranstaltungen:
Semester:
Modulverantwortliche(r):
Physik-Ingenieurwesen und Physikalische
Elektronik
Mikrosystemtechnik
K 4-5
Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik-Labor
4.
Prof. Dr. Axel Donges
Dozent(in): a) Prof. Dr.-Ing. Thomas Becker, Dipl.-Phys.
Luca Tomasi,
b) Dipl.-Ing.(FH) Lutz Engelhardt
Zuordnung zum Curriculum: Pflichtmodul im Studiengang Physik-
Ingenieurwesen
Wahlpflichtmodul im Studiengang Physikalische
Elektronik
Lehrform / SWS:
a) Vorlesung mit Übungen / 4 SWS
b) Labor / 2 SWS
Arbeitsaufwand:
Präsenzstudium:
a) 60 Stunden
b) 28 Stunden
Eigenstudium:
a) 85 Stunden
b) 16 Stunden
Kreditpunkte: 6
Voraussetzungen: Modul Vakuum- und Reinraumtechnik
Lernziele / Kompetenzen:
Das Ziel der Lehrsveranstaltung ist die Vermittlung
der Grundlagen der Halbleitertechnologie
und die Möglichkeiten der Halbleiterbearbeitung
mittels Mikrostrukturierungstechniken. Der Studierende
lernt im Rahmen der Vorlesung die fundamentalen
Eigenschaften von Halbleiter, sowie
deren Herstellung kennen. Die Teilnehmer sind in
der Lage, die grundlegenden Bearbeitungsmethoden
zu überblicken und sinnvolle Prozesse zur
Herstellung von Mikromechanisch gefertigten
Bauteilen (Sensoren, Aktuatoren) aufzustellen.
Hierzu zählen die Beherrschung der Photolithographie,
das Verständnis für gängige Schichtabscheidemethoden
bzw. Epitaxie. Ferner kann der
Studierende die wesentlichen Ätztechniken unterscheiden
und sinnvoll in ein Prozessprotokoll einbauen.
Zusätzlich werden die aktuellen Aufbau-
und Verbindungstechniken sowie Packaging-
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