Mikromechanisch gefertigter 3D-Beschleunigungssensor für die ...
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Liste der Symbole und Abkürzungen<br />
III<br />
Liste der Symbole und Abkürzungen<br />
Symbol Erläuterung Einheiten<br />
A Fläche m 2<br />
ax(t), ay(t), az(t) Beschleunigungskomponenten m/s 2<br />
α Winkel Grad<br />
b Breite des Biegebalkens m<br />
β<br />
L<br />
W<br />
D Federkonstante kg/s 2<br />
DBalken Beitrag des Biegebalkens zur Federkonstante kg/s 2<br />
Dluft Beitrag der kompressiblen Luft kg/s 2<br />
D *<br />
zur Federkonstante<br />
Richtmoment N/rad<br />
d Höhe des Biegebalkens m<br />
δ Abklingkonstante s -1<br />
δ h Änderung der Spalthöhe m<br />
δ h 0 Amplitude der (kosinusförmigen) m<br />
Spalthöhenänderung<br />
δ p Druckänderung im Luftspalt N/m 2<br />
�<br />
E elektrische Feldstärke V/m<br />
E Elastizitätsmodul N/m 2<br />
ε relative Längenausdehnung 1<br />
ε<br />
δ h<br />
h<br />
0<br />
0<br />
F Kraft N<br />
F0 Erregerkraft einer Schwingung N<br />
f0, f1 Druckkraftamplituden N<br />
ϕ Drehwinkel rad<br />
g Erdbeschleunigung 9,81 m/s 2<br />
1<br />
1
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