Mikromechanisch gefertigter 3D-Beschleunigungssensor für die ...
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IV<br />
Liste der Symbole und Abkürzungen<br />
h Höhe des Luftspalts m<br />
h0 mittlere Höhe des Luftspalts m<br />
η<br />
δ h<br />
h 0<br />
I Flächenträgheitsmoment m 4<br />
J Massenträgheitsmoment kg m 2<br />
� j elektrische Stromdichte A/m 2<br />
K Boltzmannkonstante (1.3804 E-23 J/K) J/K<br />
k Reibungskraftkoeffizient kg/s<br />
l1 Länge des Biegebalkens m<br />
l2 = W Länge der Masse (in x-Richtung) m<br />
l3 = L Breite der Masse (in y-Richtung) m<br />
M Biegemoment Nm<br />
N *<br />
Ionendosis cm -2<br />
ν Poissonzahl 1<br />
Pa Luftdruck außerhalb des Luftspalts N/m 2<br />
(Umgebungsluftdruck)<br />
p Gesamtdruck im Luftspalt N/m 2<br />
π Matrix der Piezowiderstandskoeffizienten m 2 /N<br />
π´ Matrix der Piezowiderstandskoeffizienten m 2 /N<br />
im kristalleigenen Koordinatensystem<br />
π Tensor (vierter Stufe) der m 2 /N<br />
Piezowiderstandskoeffizienten<br />
Q Gütefaktor 1<br />
r0 z-Komponente des Massenschwerpunktes der m<br />
seismischen Masse vom Balkenmittelpunkt aus<br />
ρ spezifischen Widerstand (Tensor zweiter Stufe) Ωm<br />
ρ 0 isotroper Anteil des Tensors des spezifischen Ωm<br />
Widerstandes<br />
Δρ anisotroper Anteil des Tensors des spezifischen Ωm<br />
Widerstandes<br />
Sx, Sy Empfindlichkeit des Sensors V/g<br />
1
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