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美 国 UFM 公 司 OFS 系 列 质 量 流 量 计 选 型 手 册

美国UFM气体质量流量计OFS选型样本

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<strong>美</strong> <strong>国</strong> <strong>UFM</strong> <strong>公</strong> <strong>司</strong><br />

<strong>OFS</strong> <strong>系</strong> <strong>列</strong> <strong>质</strong> <strong>量</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong><br />

<strong>选</strong> <strong>型</strong> <strong>手</strong> <strong>册</strong>


用 于 非 腐 蚀 气 体 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 测 <strong>量</strong><br />

FlowStream®<br />

<strong>OFS</strong> <strong>系</strong> <strong>列</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong><br />

典 <strong>型</strong> 应 用<br />

Blanketing 喷 射 / 吹 扫 气 体 Purging Gases<br />

Burner Managment Assist Gases<br />

泄 漏 测 试 注 射 气 体 Injectable Gases<br />

保 护 气 体 Gas Consumption<br />

混 合 气 Gas Chromatography<br />

功 能 :<br />

• 响 应 时 间 : 5 ms ~~ 500 ms<br />

• 本 安 等 级 用 于 危 险 区 域 ——( 可 <strong>选</strong> ) CSA<br />

• EMI and RFI Immunity<br />

• 防 水 <strong>型</strong> 的 MENA 4 壳 体<br />

• 认 证 : CSA, CE*, CENELEC<br />

• 程 序 可 调 设 置 报 警 点 :<br />

Open Collector Outputs – 可 <strong>选</strong><br />

• 高 精 度<br />

• Cost Effective<br />

• 安 装 和 操 作 简 单<br />

• 没 有 可 移 动 不 见<br />

• <strong>量</strong> 程 比 :100 :1<br />

• 结 构 紧 凑<br />

• 电 <strong>流</strong> 输 出 : 4-20mA ( 回 路 供 电 )<br />

电 压 输 出 : 0-5 或 0-10 VDC<br />

频 率 输 出 : 0 - 1000 Hz<br />

• LCD 显 示 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 压 力<br />

或 LCD 显 示 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 累 <strong>计</strong> <strong>量</strong><br />

• 简 单 的 程 序 设 置 报 警 点 ( 可 <strong>选</strong> 带 LCD)<br />

• NIST 可 追 踪 标 定 Calibration traceable to<br />

NIST standards – 可 <strong>选</strong><br />

• 安 装 要 求 : 在 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 前 或 后 没 有 直 管 段 要 求<br />

简 介 :<br />

<strong>OFS</strong> <strong>系</strong> <strong>列</strong> <strong>质</strong> <strong>量</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 是 坚 固 的 , 工 业 用 的 <strong>流</strong><br />

<strong>量</strong> <strong>计</strong> 。 它 是 把 简 单 的 机 械 设 <strong>计</strong> 、 敏 感 的 传 感 器<br />

和 高 等 级 的 电 子 部 件 组 合 在 一 起 。 这 样 的 组 合<br />

使 其 具 有 竞 争 力 的 价 格 、 高 精 度 和 极 快 的 响 应<br />

时 间 。<strong>OFS</strong> 用 于 清 洁 的 、 干 燥 的 工 业 气 体 和 空 气<br />

测 <strong>量</strong> 是 理 想 的 。 <strong>OFS</strong> 不 需 要 上 、 下 游 直 管 段 ,<br />

并 且 没 有 安 装 方 向 的 要 求 。EMI 和 快 速 的 响 应<br />

时 间 ( 不 象 热 式 的 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> ) 允 许 这 些 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 用<br />

于 自 动 机 械 领 域 的 应 用 .<br />

对 于 单 独 使 用 , 可 以 <strong>选</strong> 择 使 用 带 LCD 读 出<br />

器 ,;LCD 可 以 显 示 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 压 力 ( 累 <strong>计</strong> <strong>量</strong> 可 <strong>选</strong> )<br />

并 且 带 有 高 、 低 位 告 警 设 定 点 。 输 出 <strong>选</strong> 择 包 括<br />

电 <strong>流</strong> 、 电 压 和 频 率 。<br />

为 了 满 足 在 世 界 各 地 的 使 用 ,<strong>OFS</strong> 已 经 取 得<br />

各 种 认 证 。CE 等 级 是 4-20mA 输 出 产 品 。EMI<br />

抗 电 磁 干 扰 是 用 于 重 工 业 , 并 且 对 于 存 在 高 电<br />

气 冲 突 的 场 合 , 比 如 在 焊 接 器 、 电 机 和 变 压 器<br />

附 近 , 采 用 电 气 屏 蔽 。( 面 板 安 装 不 需 要 )。<br />

CSA 和 CENELEC 等 级 有 壳 体 防 护 等 级 NEMA4( 在 潮<br />

湿 的 环 境 使 用 ) 和 IS( 本 安 ) 可 以 在 所 有 的 危<br />

险 的 区 域 使 用 , 如 在 存 在 易 爆 气 体 、 光 纤<br />

fiber、 烟 的 fumes 或 粉 尘 的 场 合 。<br />

<strong>OFS</strong> 气 体 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 安 装 简 单 、 使 用 方 便 、 响 应<br />

时 间 快 、 精 度 高 以 及 性 价 比 高 , 这 使 得 <strong>OFS</strong> 成 为<br />

工 业 气 体 应 用 领 域 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 测 <strong>量</strong> 的 主 要 <strong>选</strong> 择 。


<strong>OFS</strong> <strong>系</strong> <strong>列</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 的 尺 寸<br />

[ 近 似 到 英 寸 (mm)]<br />

工 作 原 理<br />

气 体 <strong>流</strong> 过 层 <strong>流</strong> 部 件 , 压 力 下 降 , 并 且 输 出 是 和 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 成 线 性 比 例<br />

技 术 指 标<br />

最 大 <strong>流</strong> <strong>量</strong> ........ ............................................. 1 ~~~ 2100 SCFH<br />

.................................................... 0.5 ~~~ 1000 SLPM<br />

<strong>量</strong> 程 比 ........................................................................ 100 :1<br />

在 标 定 条 件 下 精 度 ( 对 于 空 气 ) ....................................................<br />

................... +/- 2% F.S <strong>流</strong> <strong>量</strong> < 15 SLPM (31.8 SCFH)<br />

......... +/- 1% F.S <strong>流</strong> <strong>量</strong> 2 ~~~ 566 SLPM (1200 SCFH)<br />

... +/- 2% F.S <strong>流</strong> <strong>量</strong> 567 ~~~ 1000 SLPM (2100 SCFH)<br />

......................................................... ± 1 PSI ( 压 力 显 示 )<br />

重 复 性 ........................................................... ±0.25% of F.S. <strong>流</strong> <strong>量</strong><br />

在 零 点 的 温 度 影 响 ............................................. < 0.05% F.S. / °F<br />

在 满 <strong>量</strong> 程 的 温 度 影 响 .......................................... < 0.05% F.S. / °F<br />

Open Collectors ....... ........ 最 大 负 载 电 压 : 30 VDC @ 50mA<br />

在 零 点 / 满 <strong>量</strong> 程 下 的 压 力 影 响 ......................... 向 工 厂 询 问<br />

输 入 电 压 ....................................4-20mA 或 0-5 VDC: 12-30 VDC<br />

................................... (12-24 VDC 用 于 本 安 等 级 )<br />

............................................................ 0-10 VDC only: 15-30 VDC<br />

输 出 响 应 时 间<br />

4-20mA .................................................................500 ms ( 标 准 .),<br />

............................................... ( 回 路 最 大 电 阻 1000 欧 姆 )<br />

............................................................... 可 <strong>选</strong> l: 100 ms<br />

0-5 VDC, 0-10 VDC .................................................. 5ms 或 50ms<br />

.................................................... ( 最 小 负 载 1000 欧 姆 )<br />

线 性 ................................................ 所 有 输 出 和 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 成 线 性<br />

频 率 输 出 ..................................................... 响 应 时 间<br />

范 围 : 0-1000 Hz (1000 Hz. 范 围 ) ............................... 5 或 50 ms<br />

输 出 信 号 电 平 :......................................................... 0-5 V, ± 0.25V<br />

Duty Cycle: ..............................................................................50%<br />

输 出 阻 抗 ...........................................................................1K ohm<br />

信 号 上 升 /fa 下 降 时 间 ( 在 100K 欧 姆 /50 P 法 拉 负 载 内 ): ...............<br />

.............................................................................. < 1 微 秒<br />

LCD 显 示 ( 可 <strong>选</strong> ) ............................. LCD 尺 寸 , 4 位 , .35 英 寸 高<br />

......LCD 累 <strong>计</strong> <strong>量</strong> l 9 位 数 t 3 位 一 组 显 示 ), .35 英 寸 高<br />

............ LCD 压 力 显 示 (PSIA), 4 位 数 , .35 英 寸 高<br />

工 作 温 度 ...................................... -13°F to 176°F (-25°C to 80°C)<br />

工 作 压 力 ..................................-7.35 PSIA to 100 PSIG (6.9 BAR)<br />

......................................................... ( 瞬 时 可 到 300 PSI)<br />

压 力 降 * ..................................... ( 典 <strong>型</strong> 值 , 空 气 在 70°F, 满 <strong>量</strong> 程 时 )<br />

不 带 阀 : ................. 1.5 PSI ( 所 有 的 <strong>型</strong> 号 , 最 大 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 到 520 SCFH)<br />

2 PSI( <strong>流</strong> <strong>量</strong> 大 于 520 SCFH 的 <strong>型</strong> 号 )<br />

带 阀 : .....................................................<br />

在 50 SCFH, 增 加 0.5PSI<br />

在 100 SCFH, 增 加 2PSI<br />

在 200 SCFH, 增 加 8PSI<br />

安 装 方 向 敏 感 性 .............................................................. None 没 有<br />

工 艺 连 接 ............................... 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”* NPTF<br />

壳 体 等 级 ........................................................................... NEMA 4<br />

认 证 .................................................................. CE, CSA & Cenelec<br />

适 用 的 介 <strong>质</strong> 的<br />

<strong>OFS</strong> <strong>系</strong> <strong>列</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 是 用 于 测 <strong>量</strong> 非 腐 蚀 的 、 非 离 子 的 、 清 洁 的 气 体 。<br />

对 于 某 些 应 用 , 可 能 需 要 一 个 50 微 米 的 过 滤 器 和 / 或 者 一 个 干 燥 器<br />

* 对 于 4-20 mA 输 出 ,CE 等 级 仅 可 用 非 危 险 区 域 。<br />

最 大 满 <strong>量</strong> 程 <strong>流</strong> <strong>量</strong><br />

<strong>流</strong> <strong>量</strong> 范 围 : 管 道 尺 寸 尺 寸 英 寸 (mm)<br />

.5-56 SLPM 1/4" NPT H1 2.36 (59.8)<br />

1-120 SCFH H2 0.69 (17.5)<br />

L1 N/A<br />

57-132 SLPM 1/4" NPT H1 2.60 (65.9)<br />

121-280 SCFH H2 0.93 (23.6)<br />

L1 N/A.<br />

133-245 SLPM 3/8" NPT H1 2.98 (75.7)<br />

281-520 SCFH H2 0.55 (14.0)<br />

L1 N/A<br />

246-566 SLPM 1/2" NPT H1 3.81 (96.8)<br />

521-1200 SCFH H2 1.10 (27.9)<br />

L1 5.60 (142.2)<br />

567-1000 SLPM 3/4” NPT H1 4.64 (118)<br />

1201-2100 SCFH H2 1.50 (38)<br />

L1 5.60 (142)<br />

<strong>流</strong> <strong>量</strong> 接 口 尺 寸 尺 寸 英 寸 (mm)<br />

.5-37 SLPM 1/4" NPT H1 2.61 (66.2)<br />

1-80 SCFH H2 0.91 (23.0)<br />

38-100 SLPM 1/4" NPT H1 2.79 (70.7)<br />

81-200 SCFH H2 1.09 (27.6)<br />

<strong>流</strong> <strong>量</strong> 范 围 是 以 空 气 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 为 基 准 , 对 于 其 他 气 体 , 请 与<br />

制 造 厂 联 <strong>系</strong><br />

N/A = 不 可 用<br />

标 态 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 的 定 义 如 上 所 述 。.


根 据 你 所 要 测 <strong>量</strong> 的 气 体 及 其 他 要 求 , <strong>选</strong> 择 合 适 的 符 号 来 构 成 <strong>选</strong> <strong>型</strong> 代 码 :<br />

<strong>系</strong> <strong>列</strong><br />

<strong>OFS</strong><br />

FlowStream® =<br />

<strong>型</strong> 号 / 类 <strong>型</strong><br />

<strong>质</strong> <strong>量</strong> <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong><br />

= M<br />

( 在 大 气 压 下 , 用 空 气 进 行 出 厂 标 定 , 对 于 不 同 的<br />

下 游 压 力 , 请 向 工 厂 询 问 )<br />

<strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 材 <strong>质</strong><br />

本 体 材 <strong>质</strong><br />

阳 极 电 镀 铝 = E<br />

黄 铜 = F<br />

不 锈 钢 = I<br />

密 封 圈 / 垫 片<br />

丁 纳 橡 胶 N O <strong>型</strong> 密 封 圈 和 垫 片 = B<br />

Viton O-Rings and Gaskets<br />

= F<br />

传 感 器<br />

对 于 所 有 的 气 体<br />

= S<br />

满 <strong>量</strong> 程 <strong>流</strong> <strong>量</strong><br />

500 ~~~ 1000 SCCM<br />

1 ~~~ 1000 SLPM = 150<br />

1 ~~~ 2100 SCFH<br />

注 意 : 对 于 满 <strong>量</strong> 程 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 为 1 SCFH 和 500 SCCM<br />

时 , 其 最 大 工 作 压 力 是 50 PSIG<br />

工 程 单 位<br />

SCCM<br />

= SCCM<br />

SLPM<br />

= SLM<br />

SCFH<br />

= SH<br />

其 他 的 测 <strong>量</strong> 单 位 , 请 向 工 厂 询 问<br />

阀<br />

有 阀 , 最 大 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 为 100 SLPM =V<br />

没 有 阀<br />

= N<br />

工 艺 连 接<br />

<strong>流</strong> <strong>量</strong> 范 围<br />

从 ~~~~ 到 NPTF 连 接<br />

500 1000 SCCM<br />

1 132 SLPM 1/4" = 2<br />

1 280 SCFH<br />

133 245 SLPM = 3<br />

281 520 SCFH 3/8"<br />

246 566 SLPM = 4<br />

521 1200 SCFH 1/2"<br />

567 1000 SLPM 3/4” = 6<br />

标 定 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 的 标 准 状 态 为 14.7 PSIA 、70℉. 为 了 在 特 定 的 实 际 的 工 作 状<br />

态 下 取 得 最 佳 的 测 <strong>量</strong> , 可 以 采 用 指 定 标 定 状 态 , 有 关 的 详 细 信 息 , 请 向 制<br />

造 厂 咨 询 。 <strong>流</strong> <strong>量</strong> <strong>计</strong> 工 作 在 真 空 状 态 下 ( 不 能 超 过 -1/2 大 气 压 ,7.35PSI),<br />

要 求 Z <strong>选</strong> 项 代 码 ZVAC 加 在 <strong>选</strong> <strong>型</strong> 代 码 的 末 端 , 以 确 保 进 行 适 当 的 标 定 。<br />

设 定 点<br />

工 厂 设 定 ( 报 警 <strong>选</strong> 择 B)<br />

这 是 最 初 的 低 / 高 位 设 定 点 。 例 如 , 如 果 <strong>流</strong><br />

<strong>量</strong> <strong>计</strong> 标 定 的 满 <strong>量</strong> 程 为 150 SCFH , 你 需 要<br />

的 设 定 点 为 25 SCFH 和 140 SCFH, 那 么<br />

你 要 填 上 25/140.<br />

当 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 低 于 低 位 设 定 点 或 高 于 高 位 设 定 点<br />

时 , 报 警 开 关 就 动 作 。<br />

可 <strong>选</strong><br />

D3 = 3 英 尺 电 缆 ( 标 准 )<br />

D* = 指 定 电 缆 长 度 , 单 位 英 尺<br />

IS = * 本 安 (IS) 等 级 ( 必 须 有 屏 蔽 , 电<br />

源 限 制 在 24VDC 之 内 )<br />

RT = <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 累 <strong>计</strong> <strong>量</strong> LCD 显 示<br />

( 这 个 <strong>选</strong> 项 , 压 力 显 示 不 可 用 )<br />

C1 = Clean for Oxygen Service<br />

*IS 等 级 仪 表 适 用 于 Class I; Groups A,B,<br />

C, D; Class II groups E, F & G; Class III 危<br />

险 区 域 . 为 了 保 持 本 安 等 级 , 要 安 全 屏 蔽 ,<br />

并 仅 可 使 用 4-20mA 输 出 . CSA 和<br />

CENELEC.<br />

报 警<br />

A = None ( 没 有 报 警 )<br />

B = 2 个 独 立 的 设 定 点 , t 常 开<br />

* 需 要 LCD 显 示 , <strong>选</strong> 择 IS 或 变 送 器 输 出 <strong>选</strong> 择<br />

19 不 可 用 .<br />

变 送 器 输 出 / 响 应 时 间<br />

1 = 4-20mA ( 响 应 时 间 500 ms )<br />

4 = 0-5 VDC ( 响 应 时 间 50 ms)<br />

5 = 0-10 VDC( 响 应 时 间 50 ms)<br />

可 <strong>选</strong><br />

6 = 0-5 VDC ( 响 应 时 间 5 ms)*<br />

7 = 0-10 VDC( 响 应 时 间 5 ms)*<br />

10 = 4-20mA ( 响 应 时 间 100 ms)<br />

19 = 0-1000 Hz ( 响 应 时 间 50 ms)<br />

* 带 RT <strong>选</strong> 项 的 不 可 用<br />

可 <strong>选</strong> 显 示<br />

Z = 没 有 显 示 ( 没 有 w/ 报 警 )<br />

X = LCD 显 示 ( 标 准 的 为 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 压 力<br />

显 示 )<br />

为 了 直 接 读 取 <strong>流</strong> <strong>量</strong> 和 累 <strong>计</strong> <strong>量</strong> , 要 求 在 <strong>选</strong><br />

择 X <strong>选</strong> 项 同 时 <strong>选</strong> 择 RT <strong>选</strong> 项 “X”<br />

气 体 标 定<br />

A =<br />

空 气<br />

R =<br />

氩 气<br />

HE = 氦 气<br />

N2 = 氮 气<br />

CO2 = 二 氧 化 碳<br />

NG = 天 然 气 ( 看 下 面 的 注 解 )<br />

M = 甲 烷<br />

H2 = 氢 气<br />

O2 = 氧 气<br />

*= 混 合 气 体<br />

* 例 如 : 75% 氩 气 和 25% 二 氧 化 碳 表 示 为<br />

75R25C02. 对 于 其 他 气 体 , 请 向 工 厂 询 问 。<br />

注 解 : 所 有 天 然 气 的 标 定 是 基 于 甲 烷 的 特<br />

性 , 其 精 度 , 请 向 工 厂 询 问

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