Les détecteurs silicium à barrière de surface - IPN
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Le détecteur à barrière <strong>de</strong><br />
<strong>surface</strong><br />
Standard<br />
N<br />
Au<br />
Plaque <strong>de</strong> Si monocristallin<br />
<strong>de</strong> type N<br />
50 à 800 µm d’épaisseur<br />
Dépôts d’or et d’aluminium par<br />
évaporation sous vi<strong>de</strong><br />
-<br />
+<br />
-<br />
+<br />
Al<br />
Détecteur mince<br />
N<br />
N +<br />
Couche d’or : ~40 nm<br />
(formation <strong>de</strong> la jonction PN)<br />
Couche d’aluminium : ~100 nm<br />
(contact ohmique)<br />
Mise en boîtier<br />
Collage <strong>de</strong>s fils d’or <strong>de</strong> 50 µm<br />
Mise sous tension inverse<br />
Si épitaxié (haute résistivité, type N)<br />
sur un substrat Si fortement dopé,<br />
type N +)<br />
Couche épitaxiée : 3 à 50 µm<br />
Substrat : ~400 µm<br />
Dissolution électrochimique du<br />
substrat<br />
Détecteur à barrière <strong>de</strong> <strong>surface</strong><br />
pour montage en transmission
Quelques exemples <strong>de</strong><br />
détecteurs à barrière <strong>de</strong> <strong>surface</strong>
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