Резюме на трудовете - Технически Университет - София

развитие в началото на 90-те години на миналия век, понастоящем тези устройства саедва в зората на своето развитие.В статията се посочва, че същите базови технологии, използвани законвенционалните интегрални схеми като фотолитография, структуриране с шаблони,легиране и бондиране се използват и за изработване на микромеханични елементи отсилициеви пластини или чрез добавяне на нови структурни слоеве. Въпреки товафундаменталната разлика между МЕМС и интегралните схеми е че при МЕМС имаподвижни части. В МЕМС се използва електроника за задвижване на механичнитеелементи. Важна тенденция е все по-ниската консумация на енергия, което създававъзможности за автономно захранване на МЕМС във всякаква среда.Цитирани са анализи на Frost & Sullivan, които показват, че при МЕМСбазираните сензори и актуатори се наблюдава бавен, но стабилен растеж виндустриалния сектор. Индустрията се развива на базата на интелигентно и безжичноуправление и мониторинг, където МЕМС играе все по съществена роля.По данни на Yole Développement годишният темп на растеж (compound annualgrowth rate - CAGR) се очаква през следващите 5 години да бъде 5,2% което вабсолютни стойности е от $378М през 2012 до $510М през 2018 г.Забелязва се че в днешно време при МЕМС технологиите липсват стандарти, Втози смисъл е в сила правилото на Yole Développement „един продукт – еднатехнология”. Може да се видят много различни производители на едно и същоустройство с различни технологии. Понякога това се случва в рамките на еднакомпания. Например CMOS и МЕМС хибридни подходи може да се прилагат заинерционни устройства, сензори за налягане и микрофони.В статията се разглежда пазарното поведение за някои от най-употребяванитесензори като тези за налягане, където според Yole Développement се предвижда голямприраст от $1.9B през 2012 до $3B през 2018 или повече от 8% CAGR. Заакселерометрите същият показател е 13%. В зависимост от типа на устройствотоCAGR варира от 1% до 90% като най-голям ръст все още има при микро дисплеите.Разгледани са модерните насоки на развитие на МЕМС свързани сразработването на интелигентни материали и нови МЕМС технологии.Най-важните тенденции на развитие на тези устройства в днешно време са:търсене на нови материали и технологии, подобряване на принципите напреобразуване и създаване на нови такива все още непознати в света на макро и микроустройствата.Публикации в специализирани научни издания,извън публикациите, равностойни на монографичен труд18. Тодоров Т., Р. Николов, А. Лилов., Динамичен модел на клинов механизъм сотчитане на силите на триене, Механика транспорт комуникации, www.mtc-aj.com,2003 No 2, 2003 г. www.mtc-aj.com статия № 0018, стр. 1.9-1.15 [Р].В статията е разгледан метод за динамично изследване на клинов механизъм. Зацелта е създаден реален динамичен модел чрез уравненията на Lagrange от втори род.Силите на триене са определени с помощта на метода на D’Alembert. Комбиниранетона двата принципа позволява да се намерят аналитични изрази за реалните реакции,които модифицират уравненията на Lagrange. Тази модификация се изразява впромяна на приведените масови характеристики на модела, защото силите на триенезависят не само от активното външно натоварване, но и от инерционните сили.Показана е практическата полезност на модела и са анализирани качественополучените резултати.12