Nano Vibration Analyzer Serie NA - SIOS Meßtechnik GmbH

Nano Vibration Analyzer
Serie NA

Aufbau und Funktionsweise Eigenschaften und Merkmale
Der Nano Vibration Analyzer ist ein fasergekoppeltes laserinterferometrisches
Vibrometer, integriert in ein technisches
Mikroskop. Er eignet sich hervorragend zur Messung des
dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von
Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern.
Das Messobjekt ist in einem großen Bereich mit Hilfe eines
X-Y-Tisches positionier- und scanbar und kann durch eine
USB-Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist
auswechselbar. Die erreichbare Auflösung des laserinterferometrischen
Vibrometers liegt mit 0,1 nm im Sub-Nanometerbereich,
wobei Schwingungsfrequenzen bis 2 MHz
analysiert werden können.
Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine
spezielle Software verwendet. Diese ermöglicht neben der
Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten
Messwertaufnahme eine scriptgesteuerte Abtastung von
Oberflächenstrukturen.
Technische Daten
• Hochpräzise, berührungslose Schwingungsmessung
an Mikroobjekten
• Flexible Probenpositionierung
• Verschiedene, auswechselbare Objektive (10 x, 50 x)
• USB-Kamera zur Beobachtung der Messobjekte
• Lichtwellenleiter-Einkopplung des Laserlichts
(keine thermische Beeinflussung der
Messumgebung)
• Anwendungsspezifische Konfiguration
• FFT-Software zur Spektralanalyse
Software für Windows - INFAS Vibro
• 3D-Darstellung von Flächenschwingungen
• Skriptsteuerbarer Messablauf
• Integrierbarkeit in kundeneigene Systeme über TCP/IP
• Berechnung von Geschwindigkeit und
Beschleunigung der Schwingungsbewegung
• Spektralanalyse
• Mittelung der Spektren
Anwendungen
Amplitudenauflösung: < 0,1 nm
Wellenlänge: 632,8 nm
Scanfeldgröße: 50 mm x 50 mm
• Berührungslose Schwingungsmessung an
Mikroobjekten, MEMS und Cantilevern
• Ermittlung des Schwingungsspektrums
• Bestimmung von Schwingungsformen
(Flächenschwingungen)
• Bestimmung von Eigenfrequenzen
Mikroskopvergrößerung: 10 x 50 x
Visuelle Feldgröße [µm] 650 x 500 130 x 100
Laserstrahldurchmesser [µm]: < 10 < 2
Arbeitsabstand [mm]: ~ 35 ~ 10
Datenausgabe:
Abtastfrequenz Messbarer
Frequenzbereich
Datenausgabe Datensatzlänge Besonderheit
RE 06 200Hz – 1MHz 0 – 500 kHz USB, RS232 256-32.768
Werte
DP 02 < 4 MHz < 2 MHz 44-pol. HD-SUB-
D-Connector
Abmessungen H x B x T [cm]:
Mikroskopaufbau inkl. Vibrometer: 70 x 40 x 50
Elektronische Auswerte- u. Versorgungseinheit: 15 x 45 x 40
bis 260.000 (2 18 )
Werte
triggerbar
SIOS Meßtechnik GmbH
Am Vogelherd 46
D-98693 Ilmenau
Tel: +49-(0)3677-64470 E-Mail: info@sios.de
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Änderungen vorbehalten. 04/2009
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