Jahresbericht 2012 - LNQE - Leibniz Universität Hannover
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Reflektometer Leica<br />
Reflektometer von Leica zur Schichtdickenmessung insbesondere von<br />
Oxiden<br />
Schnellheiztools<br />
RTP (Rapid Thermal Processing) SHS 1000 von AST zur Herstellung von<br />
Oxiden und zum Tempern. Nur für sehr reine Wafer.<br />
Es handelt sich hier um zwei vom MBE selbst gebaute RTPs. Das rechte<br />
System ist für Temperaturen bis etwa 950°C und zum Tempern von Metallen<br />
geeignet, das Linke bis 1100°C, saubere Wafer (keine Metalle). An beiden<br />
Geräten sind die Gase N 2<br />
, Ar, O 2<br />
und N 2<br />
H 2<br />
verfügbar.<br />
Polyimidofen<br />
Polymidofen Centrotherm zur Langzeittemperung bis 900 °C, Proben bis<br />
4-Zoll, angeschlossene Gase: N 2<br />
, Ar<br />
Reaktive Ionenätzanlage<br />
Reaktive Ionenätzanlage von Alcatel, ein Einzelwafersystem für Proben bis<br />
4-Zoll, angeschlossene Gase: O 2<br />
, Ar, SF 6<br />
, CHF 3<br />
, zum Ätzen von Metallen,<br />
Halbleitern und Isolatoren, 300W Generator, Quarz- und Alu-Teller, heizbarer<br />
Rezipient, Drehschieber+Turbopumpe, Basisdruck 1.0 x 10 -6 mBar
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