Jahresbericht 2012 - LNQE - Leibniz Universität Hannover
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Wafer-Probe Station<br />
Wafer-Probe Station Cascade Summit 11000 zur elektrischen Charakterisierung<br />
von Proben bis 8-Zoll, Chucktemperaturen -65 °C bis 200 °C, digitales<br />
Kamerasystem mit 3CCD-Einheiten für drei unterschiedliche Vergrößerungen<br />
in Echtzeit.<br />
Transmissionselektronenmikroskop (TEM)<br />
Das neue TEM im <strong>LNQE</strong> hat eine Beschleunigungsspannung von 200 kV und<br />
als Elektronenemitter eine Feldeffektkathode. Wichtigste Paramater sind:<br />
• Gerätetyp: TEM Tecnai G2 F20 TMP von Fa. FEI<br />
• 200 kV Feldeffekt FEG<br />
• Ölfreies Vakuum<br />
• TEM point resolution: 0,27 nm<br />
• Information limit: 0,14 nm (gemessen!)<br />
• STEM resolution: 0,24 nm<br />
• 1 Hellfeld- und 2 Dunkelfeld-Detektoren +1 HAADF-Detektor<br />
• Tomografie +- 70°(evtl. bis zu +- 80°)<br />
Ionendünnung zur TEM-Probenpräparation<br />
Präzisions-Ionen-Polier-System PIPS von Fa. Gatan für kleine Beschusswinkel<br />
variabel zwischen 0° und ±10° zur einseitigen und doppelseitigen<br />
Ionenstrahldünnung mit:<br />
• LowEnergy Penning-Ionenquellen 0,1 – 6,0 kV<br />
• Dual Beam Modulation zur Sektoren-Querschnittspräparation Probenschleuse<br />
• Probenhaltern für ein- und doppelseitige Dünnung<br />
• Ölfreiem Vakuumsystem<br />
• Zoom-TV-Kamerasystem (400x bis 2600x)<br />
• Cold Stage<br />
Wellenlängemessgerät<br />
Wavelength meter HF-ANGSTROM WS/U-2 von TOPTICA Photonics, 350-<br />
1120 nm, mit Multichannel Option und Laser Control Option.
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