DI 200 / DI 201 / DI 2000 / DI 2001

Lecksuche
Vakuum-Messung
und Komponenten In Situ Analyse LEYBOLD INFICON
GA 09.116 / 4.01
The Instrumental Difference TM
DI 200 / DI 201 /
DI 2000 / DI 2001
Meßkopf
Kat.-Nr.
158 12; 158 14; 158 13; 158 15
Gebrauchsanleitung

LEYBOLD-Service
Falls Sie einen Meßkopf an LEYBOLD schicken, geben
Sie an, ob der Meßkopf frei von gesundheitsgefährdenden
Schadstoffen ist oder ob er kontaminiert ist. Wenn er
kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung
an. Meßköpfe ohne Erklärung über Kontaminierung muß
LEYBOLD an den Absender zurückschicken.
Allgemeine Hinweise
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
Daten behalten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.
Inhalt
Seite
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3 Wirkungsweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Montage und Anschluß der Meßköpfe . . . . . . 6
2.2 Zulässige Leitungslänge und
maximaler Bürdenwiderstand . . . . . . . . . . . . . 8
2.2.1 Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.3 Einstellung des Nullpunktes . . . . . . . . . . . . . 10
2.3.1 Abgleich mit Multimeter . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3.2 Abgleich unter Verwendung
eines Leybold-Betriebsgerätes . . . . . . . . . . . 10
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1 Service bei LEYBOLD . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 GA 09.116/4.01 - 11/98
2

1 Beschreibung
1.1 Allgemeine Angaben
Die Meßköpfe DI 200, DI 201, DI 2000 und
DI 2001 werden betriebsbereit ausgeliefert.
Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsanleitung
sorgfältig zu lesen, um
Ihnen so von Anfang an ein optimales Arbeiten
zu gewährleisten.
Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Informationen
zum Verständnis, zur Aufstellung, Inbetriebnahme
und Betrieb der Meßköpfe DI 200, DI 201, DI 2000 und
DI 2001.
Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheit
und den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kennzeichnungen
hervorgehoben.
Vorsicht
Achtung
Steht bei Arbeits- und Betriebsverfahren,
die genau einzuhalten sind, um eine
Gefährdung von Personen auszuschließen.
Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverfahren,
die genau einzuhalten sind,
um Beschädigungen oder Zerstörungen
der Meßköpfe zu vermeiden.
Hinweis
Gilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer
besonders beachten muß.
Abbildungshinweise z.B. (4/1) geben mit der ersten Ziffer
die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die
Position in dieser Abbildung.
Den Meßkopf bitte sofort auspacken, auch wenn er zu
einem späteren Zeitpunkt in Betrieb genommen wird.
Den Meßkopf einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen,
um sicherzustellen, daß auf dem Transportweg
keine Schäden entstanden sind.
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine
Schadensmeldung an den Spediteur und den Versicherer
zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil
zu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbindung
setzen.
1.1.1 Verwendungszweck
Die Meßköpfe sind für die Messungen von Absolutdrücken
entsprechend den technischen Daten ausgelegt.
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3
3

Die Meßköpfe lassen sich wahlweise mit Speise- und
Anzeigegeräten unseres Programms (MEMBRANOVAC
DM11 / DM12, MV 110 S2, PIEZOVAC PV 111, PIEZO-
VAC PV 20, THERMOVAC TM 321, THERMOVAC TM
20, COMBIVAC CM 351, COMBIVAC CM 32) oder mit
Gleichspannungsquellen bis max. 30 V und seperatem
Meßwertabgriff betreiben.
1.2 Technische Daten
DI 200 DI 201 DI 2000 DI 2001
Kat.-Nr. 158 12 158 14 158 13 158 15
Meßbereich 0,1 - 200 mbar 1 - 2000 mbar
Überlastbereich,
max. (abs) 5 bar 10 bar
Betriebstemperaturbereich
0 - 60 °C
Meßunsicherheit 1)
(±Temperaturfehler)
Auflösung
Reproduzierbarkeit
Linearität
0,20 % FS*)
0,05 % FS*)
0,10 % FS*)
0,20 % FS*)
Temperaturfehler in
% FS*) / 10 K
Nullpunktdrift 0,10
Empfindlichkeitsdrift 0,15
Meßprinzip
Meßkopfversorgung
Versorgungsspannung
DI 200 DI 201 DI 2000 DI 2001
Kapazitiv
Zwei-Leiter-Technik
4 bis 20 mA
+ 24 V/DC typ.
Betriebsbereich 12-30 V
Totvolumen 3 cm 3
Vakuumanschluß
DN16 KF
Leckrate < 1·10 -6 mbar·l·s -1
Gewicht
ca. 0,55 kg
Schutzart IP 44
Medienberührende
Werkstoffe Edelstahl 1.4305
Al 2 O 3 (96 %) Keramik;
FPM EPDM FPM EPDM
1) Summe aus Linearität, Hysterese und Reproduzierbarkeit
*) FS = Vollausschlag
1.3 Wirkungsweise
Die Meßköpfe haben als Meßelement eine Keramik-
Membrane, deren Verformung eine Funktion des zu
messenden Druckes ist.
Die Membran ist Teil einer Kapazitätsmeßzelle. Die Aus-
4 GA 09.116/4.01 - 11/98
4

lenkung der Membran durch Prozeßdruckänderungen
wird über eine temperaturkompensierte Elektronik in ein
genormtes Meßsignal 4 bis 20 mA umgewandelt.
An dem Meßkopf ist bereits eine 5 m lange Meßleitung
angeschlossen.
Im Anschlußstecker integrierte Codierwiderstände erlauben
die automatische Anpassung der Betriebsgeräte
MEMBRANOVAC DM 11 / DM 12 an den Meßbereich
des jeweils verwendeten Druckaufnehmers.
Die medienberührenden Teile der Druckaufnehmer sind
Edelstahl bzw. Keramik.
Die Meßköpfe DI 200 / DI 2000 besitzen eine Viton-Dichtung
(FPM) zwischen Keramik-Meßzelle und Edelstahlgehäuse.
Die Meßköpfe DI 201 / DI 2001 haben an dieser
Stelle eine EPDM-Membran und sind besonders
zum Einsatz mit Bremsflüssigkeit (DOT4) geeignet.
Werkseitig sind „Null“ und „FS“ (Vollausschlag) abgeglichen,
so daß das Ausgangssignal
4 mA für p = 0 und
20 mA für das Meßbereichsende der Meßköpfe ausgegeben
wird.
1.4 Ausstattung
1.4.1 Lieferumfang
Meßkopf (incl. Meßleitung 5 m)
Gebrauchsanleitung GA 09.116
1.4.2 Zubehör
Kat.-Nr.
MEMBRANOVAC DM 11 157 91
MEMBRANOVAC DM 12 157 92
MEMBRANOVAC MV 110 S 2 158 01
THERMOVAC TM 321 157 50
THERMOVAC TM 20 157 81
COMBITRON CM 351 157 55
COMBITRON CM 32 157 90
PIEZOVAC PV 111 160 93
PIEZOVAC PV 20 157 96
Best.-Nr.
Anschlußstecker zum Anschluß an
PV 111, TM 321 und CM 351 200 29 767
GA 09.116/4.01 - 11/98
5
5

2 Inbetriebnahme
2.1 Montage und Anschluß der
Meßköpfe
Erläuterung zur Abb. 1
1 Befestigungsschraube
2 Plastikgehäuse
1
Die Meßköpfe sollten vorzugsweise mit dem Flansch
nach unten montiert werden. Eine geneigte Montage,
maximal horizontal, ist möglich. Dies beeinflußt jedoch
den Nullpunkt, und die Einstellung des Nullpunktes muß
gegebenenfalls korrigiert werden.
Nicht gestattet ist eine hängende Montage, da sich dann
Kondensate im Meßkopf sammeln können. Dadurch wird
die Messung beeinflußt und eventuell der Meßaufnehmer
beschädigt.
Maßzeichnung der Meßköpfe siehe Abb. 1.
DI 200, DI 201
DI 2000 und DI 2001
Abb. 1 Maßzeichnung
80
DN 16 KF
48,5
2
58
Die Meßköpfe werden mit den Betriebsgeräten THER-
MOVAC TM 20, PIEZOVAC PV 20, COMBIVAC CM 32,
MEMBRANOVAC DM 11 /DM 12 sowie dem MEMBRA-
NOVAC MV 110 S 2 über die festangeschlossene Leitung
(5 m) verbunden.
Zur Verbesserung der Störeinstrahlfestigkeit ist die
Abschirmung der Anschlußleitung am geräteseitigen
Stecker zusätzlich über eine schwarze Leitung mit Ringzunge
herausgeführt. Diese zusätzliche Leitung wird an
die Erdungsschraube des Betriebsgerätes angeschlossen.
Erläuterung zur Abb. 2
Pinbelegung
Pin 1 --
Pin 2 Meßsignal 4 bis 20 mA (-)
Pin 3 Kodierung Meßbereich
Pin 4 --
Pin 5 Kodierung Sensortyp
Pin 6 Versorgung
12 bis 30 V DC (+)
Pin 7 Abschirmung
Abb. 2 Meßkopf-Anschlußstecker (Ansicht Lötseite)
2
5
4
3
1
7
6
6 GA 09.116/4.01 - 11/98
6

DI 200, DI 201
DI 2000 / DI und 2000 DI 2001
R
C
R-C-Glied
R = 100 kΩ
C = 1 nF
GA 09.116/4.01 - 11/98
+ 24 V
(-) 4 ... 20 mA
A
B
C
Abb. 3 Anschlußstecker für Betriebsgeräte TM 321, CM 351
und PV 111 (Ansicht Steckerseite)
Erläuterung zur Abb. 4
1 Potentiometer für
Nullpunkt-Einstellung
2 Klemmenblock
3 Gehäuse-Masse
Ansicht auf den Meßkopf
bei abgenommenem Plastikgehäuse
Abb. 4 Anschluß der Meßleitung
1
Schirm
+
-
F
E
2
D
3
Die Steckerbelegung des Meßkopf-Anschlußsteckers ist
der Abb. 2 zu entnehmen.
Zum Anschluß an die Betriebsgeräte THERMOVAC TM
321, COMBITRON CM 351 oder PIEZOVAC PV 111
muß der 7polige Anschlußstecker durch den Stecker mit
der Best. Nr. 200 29 767 ersetzt werden. Der entsprechende
Anschluß ist in Abb. 3 dargestellt.
Zur Verlängerung der Meßleitung (siehe auch Abschnitt
2.2) und zum Anschluß der Druckaufnehmer an andere
Betriebsgeräte als die bisher aufgeführten, läßt sich die
angeschlossene Meßleitung ersetzen. Hierfür sind die
beiden Befestigungsschrauben (1/1) zu lösen und das
Plastikgehäuse (1/2) vom Meßkopf abzunehmen.
Die Signalleitungen der Meßleitung sind über einen
Klemmenblock (4/2) an die Elektronikeinheit angeschlossen.
Die Abschirmung der Meßleitung ist über ein
RC-Glied an eine Lötöse am Gehäuse (4/3) befestigt.
Durch Lösen der Schrauben am Klemmenblock und
trennen des Abschirmanschlusses vom RC- Glied läßt
sich die angeschlossene Meßleitung entfernen und die
selbstangefertigte neue Meßleitung wieder anbringen.
Achtung
Beim Anschluß der neuen Meßleitung ist
auf richtige Polarität zu achten. Siehe
hierzu auch Abb. 4.
Am Klemmenblock (4/2) ist + (12 bis 30
V Versorgung) und - (4 bis 20 mA Signal)
ebenfalls gekennzeichnet.
7
7

2.2 Zulässige Leitungslänge und
maximaler Bürdenwiderstand
Die zulässige Speisespannung der Meßköpfe liegt im
Bereich zwischen 12 V und 30 V. Eine Spannung von
24 V wird empfohlen.
Standard ist eine Meßleitung von 5 m Länge. Bei größeren
Längen muß unbedingt auf den Gesamtwiderstand
geachtet werden. Der Gesamtwiderstand ändert sich in
Abhängigkeit der Speisespannung. Siehe hierzu auch
Abb. 5.
Der Gesamtwiderstand errechnet sich aus:
U s
-12 V
R ges
[Ω] = R B
[Ω] + R L
[Ω] = —————
0,02 A
Unter dem Gesamtwiderstand (R ges
) versteht man den
max. zulässigen Widerstand in Form von Anzeigen, Leitungswiderständen,
Schreibern usw. der in die Signalleitung
(4 bis 20 mA) eingeschaltet werden darf.
Der Bürdenwiderstand ist der Widerstand, über den die
dem Meßsignal proportion. Spannung zur Weiterverarbeitung
abgegriffen wird.
Der Innenwiderstand (R I
) der Spannungsquelle ist gegenüber
dem Gesamtwiderstand (R ges
) sehr klein und
kann damit vernachlässigt werden.
R ges = +
B
900
Ω
Erläuterung zur Abb. 5
R ges Gesamtwiderstand
R B Bürdenwiderstand
R L Leitungswiderstand
U s Speisespannung
R R L
12 16 24 30 U S V
600
Erlaubter
Bereich
200
0
Abb. 5 Gesamtwiderstand in Abhängigkeit der Speisespannung
8 GA 09.116/4.01 - 11/98
8

2.2.1 Anwendungsbeispiele
Anwendungsbeispiel siehe Abb. 6 und nachfolgendes
Berechnungsbeispiel.
Beispiel zur Berechnung des höchstzulässigen Gesamtwiderstandes
für den DI 200, DI 201, DI 2000 und
DI 2001 Meßkopf:
Höchster Meßstrom (Nennbereich) 0,020 A
Kleinste zulässige Spannung
am Meßkopf
12,0 V
Es sind hier keine Reserven für z.B.:
- Netzspannungstoleranz
- Brummspannung-Amplitude
- Quellwiderstand usw.
berücksichtigt.
R B
(Bürde) R L
(Ltg.) U S
(Vers.)
[Ω] [Ω] [V] mindest.
——————————————————————
50 1 13,02
50 2 13,04
50 5 13,10
50 10 13,20
50 20 13,40
50 50 14,00
50 100 15,00
50 200 17,00
500 1 22,02
500 2 22,04
500 5 22,10
500 10 22,20
500 20 22,40
500 50 23,00
500 100 24,00
500 200 26,00
Us
R B
DI 200, / DI 201 2000
DI 2000 und DI 2001
2 ... 10 V
Abb. 6 Anwendungsbeispiel
GA 09.116/4.01 - 11/98
9
9

2.3 Einstellung des Nullpunktes
Bei Auslieferung der Meßköpfe ist der Nullpunkt abgeglichen
und für lange Zeit stabil.
In Abhängigkeit von den Betriebsbedingungen und der
benötigten Präzision (besonders wenn der Meßkopf im
unteren Meßbereich benutzt wird) ist es empfehlenswert,
die Einstellung des Nullpunktes von Zeit zu Zeit zu
prüfen und ggf. zu korrigieren.
Hilfsmittel
- Schraubendreher, 2 mm
- Spannungsquelle, 24 V, DC ± 10 % oder zugehöriges
Betriebsgerät
- Multimeter mit entsprechendem Strombereich oder
Betriebsgerät
- Vakuumpumpe mit Anschlußzubehör oder Vakuumanlage
- Vakuummeter, z.B. THERMOVAC
Abgleichvorbedingung
- Meßkopf unter Berücksichtigung der späteren Einbaulage
an die Vakuumpumpe oder Vakuumanlage anschließen
und evakuieren auf:
< 10 -1 mbar bei Meßkopf DI 2000 / DI 2001
< 10 -2 mbar bei Meßkopf DI 200 / DI 201
(z.B. Kontrolle mittels THERMOVAC)
Befestigungsschrauben (1/1) lösen und das Plastikgehäuse
(1/2) vom Meßkopf abnehmen.
2.3.1 Abgleich mit Multimeter
Meßkopf mit der Spannungsquelle und Multimeter gemäß
Abb. 7 anschließen (zugehörige Anschlußbuchse
siehe Zubehör).
Warten, bis das System stabilisiert ist (ca. 5 min). Der
Meßstrom soll 4 mA ± 8 µA betragen.
Das Potentiometer (8/1) so verdrehen, bis sich der gewünschte
Meßstrom einstellt.
Plastikgehäuse wieder anbringen.
Meßkopf ggf. vom Prüfaufbau abnehmen.
2.3.2 Abgleich unter Verwendung eines
Leybold-Betriebsgerätes
Bei Verwendung eines Leybold-Betriebsgerätes MEM-
BRANOVAC DM 11/ DM 12, PV 111, TM 321, CM 351
oder PV 20, TM 20 und CM 32 kann der Nullpunkt wie
folgt nachjustiert werden:
- Meßkopf an das Betriebsgerät anschließen.
- Betriebsgerät auf den Bereich des Sensors einstellen.
- Zeigt sich eine positive oder negative (z.B. -0) Abweichung
vom Nullpunkt, das Potentiometer (8/1) so lange
verdrehen, bis Null (ohne Vorzeichen) angezeigt wird.
- Plastikgehäuse wieder anbringen.
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10

Ansicht auf Lötseite
Bei Verwendung des MEMBRANOVAC MV 110 S2 verfahren
Sie bitte entsprechend der Gebrauchsanleitung
GA 09.109.
-
24 V DC
+ - 10%
+
A
4 ... 20 mA
5
2
4
3
1
7
6
Bei Verwendung des MEMBRANOVAC DM 11 / DM 12
verfahren Sie bitte entsprechend der Gebrauchsanleitung
GA 09.115.
Abb. 7 Prüfaufbau
Erläuterung zur Abb. 8
1 Potentiometer für
Nullpunkt-Einstellung
1
+
-
Abb. 8
Ansicht auf den Meßkopf bei abgenommenem
Plastikgehäuse
GA 09.116/4.01 - 11/98
11
11

3 Wartung
3.1 Service bei LEYBOLD
Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie
an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden
Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es
kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung
an. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular
benutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.
Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende der Gebrauchsanleitung
abgedruckt: „Erklärung über Kontaminierung
von Vakuumgeräten und - komponenten“.
Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie es
dem Gerät bei.
Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zur
Erfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer
Mitarbeiter.
Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEY-
BOLD an den Absender zurückschicken.
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12

8
Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten
Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und
vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Reparatur/Wartung
im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewiesen.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt und unterschrieben werden.
1. Art der Vakuumgeräte und -komponenten:
2. Grund für die Einsendung:
- Typenbezeichnung: ______________________
- Artikelnummer: ______________________
- Seriennummer: ______________________
- Rechnungsnummer: ______________________
- Lieferdatum: ______________________
______________________________________________
______________________________________________
______________________________________________
______________________________________________
______________________________________________
4. Einsatzbedingte Kontaminierung der Vakuumgeräte
und -komponenten:
- toxisch ja ❒ nein ❒
- ätzend ja ❒ nein ❒
- mikrobiologisch*) ja ❒ nein ❒
- explosiv*) ja ❒ nein ❒
- radioaktiv*) ja ❒ nein ❒
- sonstige Schadstoffe ja ❒ nein ❒
M U S T E R
3. Zustand der Vakuumgeräte und -komponenten:
- Waren die Vakuumgeräte und -komponenten in
Betrieb?
ja ❒ nein ❒
- Welches Pumpenöl wurde verwendet ? _________
- Sind die Vakuumgeräte und -komponenten frei von
gesundheitsgefährdenden Schadstoffen?
ja ❒ (weiter siehe Absatz 5)
nein ❒ (weiter siehe Absatz 4)
*) Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Vakuumgeräte und -komponenten werden nur bei Nachweis einer
vorschriftsmäßigen Reinigung entgegengenommen!
Art der Schadstoffe oder prozessbedingter, gefährlicher Reaktionsprodukte, mit denen die Vakuumgeräte und -komponenten in
Kontakt kamen:
Handelsname
Produktname Chemische Bezeichnung Gefahrklasse Maßnahmen bei Freiwerden Erste Hilfe
Hersteller (evtl. auch Formel) der Schadstoffe bei Unfällen
1.
2.
3.
4.
5.
5. Rechtsverbindliche Erklärung
Hiermit versichere(n) ich/wir, daß die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollständig sind. Der Versand der kontaminierten
Vakuumgeräte und -komponenten erfolgt gemäß den gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut: ______________________________________________________________________________
Straße: _____________________________ PLZ, Ort: ________________________________
Telefon: ______________________________________________________________________________
Fax: _____________________________ Telex: _________________________________________
Name: (in Druckbuchstaben) ______________________________________________________________________________
Position: ______________________________________________________________________________
Datum: _____________________________ Firmenstempel
Rechtsverbindliche Unterschrift:
_________________________________________________________________________________________________
Copyright © 1991 by MaschinenbauVerlag GmbH, Lyoner Straße 18, 6000 Frankfurt/M. 71 Bestell-Nr.: 2121
Verteiler: Blatt 1 (weiß) an den Hersteller oder seinen Beauftragten senden - Blatt 2 (gelb) den Begleitpapieren der Sendung beifügen - Blatt 3 (blau) Kopie für den Versender
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icom 01261 RSP 11.98
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LEYBOLD INFICON
Bonner Straße 498 (Bayenthal)
D-50968 Köln
Telefon: (0221) 347-0
Telefax: (0221) 347-1250
http://www.leyboldvac.de
e-mail:documentation@leyboldvac.de
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