und Poliermaschinen - Peter Wolters AG
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Justage<br />
Planglas<br />
Prüfblock<br />
Justage<br />
Das Interferenzbild zeigt die geometrische<br />
Form der Prüffl äche an. Durch<br />
Herstellung eines Kontakt- <strong>und</strong> Druckpunktes<br />
(siehe Abb. 1 <strong>und</strong> 2) wird<br />
zwischen Prüffl äche <strong>und</strong> Planglas ein<br />
Luftkeil erzeugt, der Voraussetzung<br />
für eine einwandfreie Messung <strong>und</strong><br />
die Generierung der Interferenzstreifen<br />
ist. Durch die optische Darstellung<br />
(Abweichung der Linien von einer<br />
Geraden) ist die Abweichung der Oberfl<br />
äche von der Ebenheit bestimmbar.<br />
Krümmen sich die sichtbar werdenden<br />
Interferenzlinien um den Finger, ist die<br />
Justage<br />
Planglas<br />
Prüfblock<br />
Abb. 1 Prüffronde konvex <strong>und</strong> die Läppscheibe<br />
Abb. 2<br />
Bei konkaver Läppscheibe<br />
Verstellen der Abrichtringe in radialer<br />
Richtung nach außen zur<br />
Erzeugung einer ebenen Läppscheibe<br />
konkav. Bei konkaver Prüffronde liegt<br />
der umgekehrte Fall vor.<br />
Durch die eingespiegelte Linie des<br />
schwenkbaren Lichtrahmens kann die<br />
Größe der Ebenheitsabweichung bezogen<br />
auf den Durchmesser der Prüffronde<br />
bestimmt werden. Der Abstand<br />
von Lichtband zu Lichtband beträgt 0,3<br />
µm (entsprechend der halben Wellenlänge<br />
des Heliumlichtes).<br />
Die geometrische Form der Fläche wird durch die Richtung der Krümmung einer<br />
Interferenzlinie, visuell dargestellt. eine konvexe- oder konkave Form wird somit<br />
erkennbar.<br />
1. Die Interferenzlinien<br />
zeigen ein konvexes<br />
Werkstück<br />
2. Die Interferenzlinien<br />
zeigen ein konkaves<br />
Werkstück<br />
Weitere Interferenz-Messbilder auf Seite 20.<br />
3. Die Interferenzlinien sind<br />
gerade, fallen jedoch am<br />
Außenrand ab.<br />
Das Teil ist eben, hat<br />
aber Kantenabfall<br />
Die Ebenheit des Prüfringes entspricht der tatsächlichen Ebenheit des gleichzeitig geläppten<br />
Werkstückes <strong>und</strong> spiegelt somit den Ist-Zustand der Läppscheibe wider.<br />
Bei konvexer Läppscheibe<br />
Verstellen der Abrichtringe in radialer<br />
Richtung nach innen zur Erzeugung<br />
einer ebenen Läppscheibe<br />
Justage<br />
4. Entsprechend dem Verlauf<br />
der Interferenzlinien<br />
ist das Teil eben <strong>und</strong><br />
ohne Kantenabfall
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