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Piezoelektrische Mikro-Dosiertechik

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<strong>Piezoelektrische</strong> <strong>Mikro</strong>dispenser<br />

Piezo • Nano • Positioning<br />

Piezotechnologie für Medizintechnik und Industrie


2<br />

Piezo • Nano • Positioning<br />

<strong>Mikro</strong>pumpen und -ventile<br />

Kleine Volumina genau dosieren<br />

Auswahl an verschiedenen Piezoaktoren und hebelübersetzten Piezosystemen<br />

Miniaturisierte Technik<br />

Verdrängerpumpen werden weltweit<br />

in vielfältigen Industriezweigen eingesetzt.<br />

Mit zunehmender Miniaturisierung<br />

wächst auch der Markt für die<br />

kleinen Verwandten: <strong>Mikro</strong>dispenser<br />

übernehmen Verteil- und Dosieraufgaben,<br />

wo kleine Mengen im Millioder<br />

<strong>Mikro</strong>literbereich zu steuern<br />

sind.<br />

Breite Anwendung für eine zukunftsträchtige<br />

Technologie<br />

In der Labor- und Medizintechnik, der<br />

Biotechnologie oder chemischen<br />

Analytik dosieren winzige Dispenser<br />

gezielt Wirkstoffe oder Medikamente.<br />

<strong>Mikro</strong>pumpen sorgen für den Abtransport<br />

von Reaktionsgasen in geschlossenen<br />

Prozessen. Industriemaschinen<br />

profitieren von der Möglichkeit,<br />

mit Hilfe von <strong>Mikro</strong>ventilen<br />

Schmierstoffe wie Öle oder Fette<br />

dezentral dort einzubringen, wo sie<br />

benötigt werden – sparsam, präzise<br />

und automatisiert.<br />

Der Antrieb kommt vom Piezo<br />

Die Realisierung beruht auf den<br />

bekannten Prinzipien von Membranpumpen<br />

und Membranventilen,<br />

auch das peristaltische Prinzip wird<br />

angewendet. Hier kommen piezoelektrische<br />

Aktoren in verschiedensten<br />

Formen und Integrationsstufen als<br />

miniaturisierte Antriebe zum Einsatz.<br />

Präzision und Kraft –<br />

der Aktor passt sich an<br />

Abhängig von den Eigenschaften der<br />

Pumpmedien wie Viskosität und<br />

Tropfengröße sind unterschiedliche<br />

Kräfte aufzubringen, was die Größe<br />

des verwendeten Piezoaktors bestimmt.<br />

Als Parameter kann die Piezoauslenkung<br />

variiert werden, um so<br />

das Dosiervolumen zu steuern. Für<br />

<strong>Mikro</strong>pumpen entscheidet außerdem<br />

die Frequenz über die erreichbare<br />

Durchflussmenge.<br />

Prinzip eines Membranventils. Ventilanwendungen<br />

erfordern meist höhere<br />

Kräfte als Pumpen.<br />

<strong>Mikro</strong>-Membranpumpen funktionieren ähnlich<br />

wie Kolbenpumpen; allerdings ist bei ihnen<br />

das zu fördernde Medium durch eine<br />

Membran vom Antrieb getrennt. Passive Einund<br />

Auslassventile steuern die Pumprichtung.<br />

Als Antriebssystem bieten sich bei <strong>Mikro</strong>-<br />

Membranpumpen Piezoelemente in Scheibenform<br />

an, die direkt auf einer Metallscheibe<br />

appliziert werden:<br />

Der Platzbedarf dieser Antriebslösung ist<br />

äußerst gering, und die Piezoauslenkung ist<br />

sehr fein justierbar, wodurch die Pumpvolumina<br />

sehr präzise definiert werden können.<br />

Die Funktionsweise der Schlauch- oder<br />

Peristaltikpumpe führt dazu, dass man<br />

auf richtungsbestimmende Ventile<br />

verzichten kann;<br />

die Pumprichtung wird hier von der<br />

Reihenfolge der Ansteuerung der einzelnen<br />

Aktorelemente vorgegeben.<br />

(In der Abb. von link nach rechts)


Kompakt – schnell – hochdynamisch<br />

Piezoelemente treiben <strong>Mikro</strong>dispenser an<br />

Zuverlässig und schnell<br />

Die besonderen Eigenschaften der<br />

Piezokeramik ermöglichen flexible<br />

Flussraten von Zehntel <strong>Mikro</strong>litern bis<br />

zu einigen hundert Millilitern pro<br />

Minute bei Pumpfrequenzen bis in den<br />

Kilohertzbereich bei gleichzeitig hoher<br />

Dosiergenauigkeit. Die Schaltzeiten<br />

sind mit einigen <strong>Mikro</strong>sekunden<br />

gegenüber magnetischen Lösungen<br />

deutlich verringert. Die Piezoantriebe<br />

haben die nötige Kraftentwicklung<br />

und Steifigkeitswerte, um auch gegen<br />

Drücke bis zu mehreren 10 bar zu<br />

arbeiten und sind damit auch für die<br />

Verarbeitung von Medien mit höherer<br />

Viskosität geeignet.<br />

Piezokeramiken sind prinzipiell einfach<br />

in der Handhabung und Integration,<br />

sie eignen sich durch die<br />

kleine Bauart selbst für die Integration<br />

in sogenannte Labs-on-a-Chip.<br />

Variable Formen,<br />

unterschiedliche Kräfte<br />

Einfache piezokeramische Scheiben<br />

oder Ringe werden auf eine Metalloder<br />

Siliziumscheibe aufgebracht<br />

und steuern damit als kompakteste<br />

Biegeelemente das Öffnen und<br />

Schließen von Membranpumpen oder<br />

-ventilen.<br />

Alternativ können Piezobiegeelemente<br />

eingesetzt werden, die PI Ceramic in<br />

nahezu beliebigen Formen herstellen<br />

kann.<br />

<strong>Piezoelektrische</strong> Röhrchen werden<br />

schon seit langem auch für Drop-on-<br />

Demand- Verfahren eingesetzt, wie sie<br />

beispielsweise im Tintenstrahldruck<br />

vorkommen. Piezopatches oder, für<br />

höhere Kräfte, Piezostapelaktoren<br />

betätigen peristaltische Pumpen.<br />

Die entsprechende Ansteuerelektronik<br />

ist kompakt und kann auch – beispielsweise<br />

für die Medikamentendosierung<br />

– in portablen Geräten eingesetzt<br />

werden.<br />

Piezo • Nano • Positioning<br />

PI bietet ein breites Spektrum verschiedener Piezokomponenten; Scheiben, Rohre, Bieger, Patches...<br />

In <strong>Mikro</strong>ventilen, insbesondere wenn<br />

viskose Flüssigkeiten mit tendenziell<br />

höheren Druckkräften verarbeitet werden,<br />

können Translationsaktoren mit und ohne<br />

Vorspannung eingesetzt werden, wo größere<br />

Hübe des Ventilstößels benötigt werden,<br />

auch mit Hebelübersetzung<br />

Piezoaktorik: schnell, zuverlässig<br />

und gut integrierbar<br />

Piezoaktoren wandeln elektrische Energie<br />

direkt in mechanische und umgekehrt.<br />

Dabei können typischerweise<br />

Stellwege bis zu etwa einem Millimeter<br />

bei Auflösungen bis hinunter in den<br />

Nanometerbereich und hoher Dynamik<br />

mit Frequenzen bis zu mehreren Kilohertz<br />

erreicht werden. Da die Bewegung<br />

auf kristallinen Effekten beruht, gibt es<br />

keine rotierenden oder reibenden Teile;<br />

Piezoaktoren sind somit wartungs- und<br />

verschleißfrei, und da keine Schmierung<br />

notwendig ist, auch für Vakuum<br />

geeignet. Sie können große Lasten<br />

bewegen und bauen sehr kompakt.<br />

3


Piezo • Nano • Positioning<br />

PI – Ein Unternehmen stellt sich vor<br />

Inspiration vom Marktführer für piezokeramische Antriebe<br />

Stammsitz von PI in Karlsruhe<br />

Wettbewerbsvorteile durch besondere<br />

Zuverlässigkeit<br />

Nichts ist so sicher wie der Einsatz<br />

von bewährter Technologie. <strong>Mikro</strong>dosiersysteme<br />

profitieren vom Einsatz<br />

piezokeramischer Antriebe, denn<br />

diese sind klein, hochdynamisch und<br />

flexibel. Angepasst an die Applikation,<br />

werden zuverlässig einstellbare<br />

Dosierraten mit hoher Genauigkeit<br />

erreicht – bis in den <strong>Mikro</strong>literbereich.<br />

Wettbewerbsvorteile sichern mit<br />

dem Marktführer<br />

Physik Instrumente wurde im Jahre<br />

1969 gegründet und hat sich schon<br />

früh auf hochpräzise Positioniersysteme<br />

mit piezokeramischen Antrieben<br />

spezialisiert. Heute ist Physik<br />

Instrumente (PI) Marktführer für piezokeramische<br />

Antriebstechnologie.<br />

Diese wird vornehmlich für hochpräzise<br />

Positionieraufgaben verwendet,<br />

z. B. in der Qualitätssicherung oder in<br />

der Halbleiterindustrie. Gerade dort<br />

sind die Anforderungen an die Zuverlässigkeit<br />

enorm: Der Stillstand<br />

einer Fabrikationsmaschine kostet<br />

den Chiphersteller hunderttausende<br />

Dollars und ist nicht tolerabel.<br />

Kompetenz in Sachen Piezo<br />

Imk Jahre 1992 wurde die Tochtergesellschaft<br />

PI Ceramic als Entwicklungs-<br />

und Fertigungsstätte für<br />

Piezoantriebe gegründet. PI Ceramic<br />

entwickelt und produziert piezokeramische<br />

Materialien, die in allen heutigen<br />

High-Tech-Märkten eingesetzt<br />

werden, in Industrieautomation und<br />

Halbleitertechnik ebenso wie in der<br />

Medizintechnik, in Maschinenbau<br />

und Feinwerktechnik, in Luft- und<br />

Raumfahrt oder im Automobilbereich<br />

und dem weiten Feld der Telekommunikation.<br />

Zusätzlich zum breiten<br />

Spektrum an Standardprodukten<br />

nimmt die schnellstmögliche Umsetzung<br />

kundenspezifischer Lösungen<br />

einen wichtigen Stellenwert ein.<br />

Integrationsleistungen<br />

PI und PI Ceramic fertigen nicht nur<br />

die Antriebe, sondern integrieren<br />

diese auch in mechanische Bewegungssysteme.<br />

Darüber hinaus entwickelt<br />

PI die Ansteuerung und ggf. die<br />

Regelung entsprechend den Anforderungen<br />

an das Gesamtsystem.<br />

Physik Instrumente (PI)<br />

GmbH & Co. KG<br />

Auf der Römerstraße 1<br />

D-76228 Karlsruhe<br />

Tel. +49 721 4846-0<br />

Fax +49 721 4846-100<br />

info@pi.ws<br />

www.pi.ws<br />

PI Ceramic GmbH<br />

Lindenstraße<br />

D-07589 Lederhose<br />

Tel. +49 36604 882-0<br />

Fax +49 36604 882-25<br />

info@piceramic.de<br />

www.piceramic.de<br />

BRO15D <strong>Mikro</strong>dispenser 09/0526.0,2. Änderungen vobehalten © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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