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Aufbau und Charakterisierung eines Guinier-Diffraktometers

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<strong>Aufbau</strong> <strong>und</strong> <strong>Charakterisierung</strong> <strong>eines</strong><br />

<strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong><br />

Diplomarbeit<br />

von<br />

Markus Baier<br />

Lehrstuhl für Kristallographie <strong>und</strong> Strukturphysik der<br />

Friedrich-Alexander-Universität<br />

Erlangen<br />

Oktober 2001


Inhaltsverzeichnis I - 1<br />

1. Einleitung 1-<br />

2. Gr<strong>und</strong>lagen 2-<br />

2.1 Erzeugung von Röntgenstrahlung 1<br />

2.2 Monochromatisierung der Strahlung 3<br />

2.3 Detektion von Röntgenstrahlung 6<br />

2.3.1 Der Szintillationszähler 6<br />

2.3.2 Detektion mittels Bildplatte 8<br />

2.4 Intensitätskorrektur 11<br />

2.5 Reflexintensität 12<br />

2.6 Reflexprofil 14<br />

2.7 Verschiebung der Reflexlagen 17<br />

3. Experimentelles 3-<br />

3.1 Geometrie des verwendeten <strong>Diffraktometers</strong> 1<br />

3.2 <strong>Aufbau</strong> <strong>und</strong> Justage der einzelnen Komponenten 2<br />

3.3 Die elektronischen Komponenten<br />

des <strong>Diffraktometers</strong> 9<br />

4. <strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4-<br />

4.1 Linienbreiten 1<br />

4.2 Systematische Linienverschiebungen 6<br />

4.3 Vergleich der Monochromatoren 9<br />

4.4 Das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer mit<br />

Szintillationszähler 10<br />

4.5 <strong>Charakterisierung</strong> der Bildplatte 22<br />

4.6 Merkmale des Heizaufsatzes 35


Einleitung 1-1<br />

1. Einleitung<br />

Als Wilhelm Conrad Röntgen 1895 eine neue Art von Strahlung entdeckte <strong>und</strong> diese<br />

X-Strahlung nannte, konnte er nicht erahnen, wie wichtig diese Entdeckung im Laufe<br />

der Zeit für die Wissenschaft werden sollte. Neben dem großen Anwendungsfeld der<br />

Röntgenstrahlung in der Medizin, hat sie sich dank Max von Laue, der 1912 die erste<br />

Einkristallaufnahme mit Röntgenstrahlung machte, auch in der Kristallographie <strong>und</strong><br />

der Strukturphysik ein mindestens ebenso großes Feld der Anwendung erobert.<br />

Dabei haben sich zwei Methoden, zum einen die Einkristallaufnahmen <strong>und</strong> zum<br />

anderen die Pulveraufnahmen, zur Abbildung des kristallinen <strong>Aufbau</strong>s der Materie<br />

ausgebildet. Bei den Einkristallen sind als experimentelle Methoden zur Aufnahme<br />

des Beugungsdiagramms hauptsächlich die Drehkristall-, die Weissenberg- <strong>und</strong> die<br />

Präzessionsmethode als Filmmethoden <strong>und</strong> die Vier-Sechskreisdiffraktometer mit<br />

Zählrohr oder elektronischem Flächendetektor gebräuchlich. Zur Aufnahme des<br />

Beugungsbildes <strong>eines</strong> Kristallpulvers werden die Debye-Scherrer-, Bragg-Brentano-<br />

<strong>und</strong> <strong>Guinier</strong>methode eingesetzt. Letztere, auf André <strong>Guinier</strong> (1937) zurückgehende,<br />

Methode zeichnet sich durch die intensiven <strong>und</strong> sehr scharfen Beugungsreflexe<br />

gegenüber den anderen Pulvermethoden aus. Jedoch wird die ausgezeichnete<br />

Auflösung der <strong>Guinier</strong>-Kameras durch einen, gegenüber Fehler in der Justage der<br />

Kamera, sehr empfindlichen Strahlengang erkauft. Deshalb sind sie nicht so<br />

verbreitet, wie beispielsweise Geräte die in Bragg-Brentano-Geometrie beugen.<br />

Ursprünglich wurde zur Detektion der Reflexe röntgenempfindlicher Film verwendet,<br />

wohingegen heute hierfür Proportionalzähler oder Bildplatten eingesetzt werden.<br />

Ziel der vorliegenden Arbeit war es, das bereits am Lehrstuhl vorhandene<br />

Diffraktometer nach längerem Nichtgebrauch wieder in Betrieb zu nehmen <strong>und</strong> zu<br />

charakterisieren. Das Diffraktometer besteht aus einer Bildplatte <strong>und</strong> einem <strong>Guinier</strong>-<br />

Diffraktometer, die mit einem Quartz- bzw. einem Germanium-Monochromator an<br />

den beiden Austrittsseiten des Strichfokus einer Cu-Röntgenröhre betrieben werden.<br />

Da das Diffraktometer wesentliche Mängel im <strong>Aufbau</strong> aufwies <strong>und</strong> in einer für die<br />

empfindliche Justage des Strahlengangs nicht geeigneten Umgebung aufgestellt<br />

war, wurde das gesamte Gerät auf einem soliden Boden in einem stabil klimatisierten<br />

Raum vollständig neu aufgebaut <strong>und</strong> anschließend charakterisiert.


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 1<br />

2. Gr<strong>und</strong>lagen<br />

2.1 Erzeugung von Röntgenstrahlung<br />

Für die Erzeugung von Röntgenstrahlung<br />

werden zunächst Elektronen mittels<br />

Glühemission aus einem stromdurch-<br />

floßenen Draht emittiert. Eine zwischen<br />

diese Glühwendel (Kathode) <strong>und</strong> der aus<br />

möglichst elementreinem Metall (Cu, Mo,<br />

Fe, Cr, Ag) bestehenden Anode<br />

(Abbildung 2-1), angelegte hohe elek-<br />

trische Spannung bringt die austretenden<br />

Elektronen innerhalb einer Beschleuni-<br />

gungsstrecke von wenigen Zentimetern<br />

auf eine im keV-Bereich liegende kine-<br />

tische Energie. Diese hängt wie folgt von<br />

der anliegenden Beschleunigungsspan-<br />

nung ab:<br />

E kin<br />

Treffen diese schnellen Elektronen auf das Metall der Anode, so wird die damit<br />

eingebrachte Energie zu ungefähr 99,5% vorwiegend in Wärme, aber auch in die<br />

gewünschte Röntgenstrahlung verwandelt. Diese Strahlung besteht zum einen aus<br />

einem weißen Spektrum der Bremsstrahlung <strong>und</strong> zum anderen aus der<br />

charakteristischen Strahlung des Anodenmaterials (Abbildung 2-2). Das weiße<br />

Spektrum ergibt sich aus dem Abbremsen der auftreffenden Elektronen im starken<br />

elektromagnetischen Feld der Atomkerne. Die Intensitätsverteilung ist kontinuierlich<br />

<strong>und</strong> reicht bis zu einer oberen Grenzwellenlänge λ min . Diese ergibt sich dadurch,<br />

daß ein Elektron maximal seine gesamte kinetische Energie an ein Röntgenquant<br />

weitergeben kann <strong>und</strong> ist wie folgt mit der Röhrenspannung U verknüpft:<br />

Ekin, max<br />

= e ⋅U<br />

(Gl. 2-1).<br />

= e ⋅U<br />

= h ⋅ν<br />

= ( h⋅<br />

c)<br />

/ λ ⇔<br />

max<br />

min<br />

Abb.2-1: Schematischer <strong>Aufbau</strong> einer Röntgenröhre<br />

[01].<br />

h⋅ c 12390⋅V<br />

Å<br />

λ min = =<br />

(Gl. 2-2).<br />

e⋅U<br />

U


Experimentelles 3 - 1<br />

3. Experimentelles<br />

3.1 Geometrie des verwendeten <strong>Diffraktometers</strong><br />

In Abbildung 3-1 ist der Strahlengang <strong>eines</strong> <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> schematisch<br />

dargestellt. Idee der Anordnung ist die geschickte Kombination <strong>eines</strong> lichtstarken<br />

Johansson-Monochromators <strong>und</strong> dem Seemann-Bohlinschen Fokussierkreises<br />

(Zylinder). Der aufrecht stehende Strichfokus der Röntgenröhre befindet sich im<br />

kürzeren der beiden Fokusse des Monochromators. Unter einem Abnahmewinkel von<br />

meist 4° bis 6° verläßt die Röntgenstrahlung die Röhre <strong>und</strong> wird durch den<br />

Kristalleinsatz des Monochromators auf dessen zweite Fokallinie fokussiert. Ein<br />

System aus Blenden sorgt dafür, daß unerwünschte Streustrahlung zum einen<br />

möglichst nicht entsteht <strong>und</strong> zum anderen nicht in Richtung der Probe <strong>und</strong> des<br />

Detektors gelangt. Nach Seemann <strong>und</strong> Bohlin werden Strahlen, die an einer<br />

Pulverprobe gebeugt werden, deren Oberfläche sich an den Umfang <strong>eines</strong> Kreises<br />

anschmiegt, wieder auf einen Punkt des Kreises fokussiert, wenn ihr Ausgangspunkt<br />

bereits auf diesem lag. Dieses Prinzip wird dahingehend ausgenutzt, daß die zweite<br />

Fokallinie des Monochromators auf den Fokussierzylinder des Präparats gesetzt wird<br />

<strong>und</strong> bei der Messung die feine Schlitzblende des Detektors genau auf diesem Kreis<br />

Abb.3-1: Skizze der relativen Lage der Elemente des <strong>Diffraktometers</strong> zueinander; gleicher <strong>Aufbau</strong> an beiden<br />

Austrittsseiten der Röhre (Strichfokus).


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 1<br />

4. <strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong><br />

4.1 Linienbreiten<br />

Das mit einem Diffraktometer erreichbare Auflösungsvermögen, d.h. die Fähigkeit<br />

zwei Beugungsreflexe auch als zwei meßbar getrennte Reflexe wahrnehmen zu<br />

können, ist durch das Verhältnis von ∆d d = ∆θ<br />

tanθ<br />

gegeben. Dabei ist ∆θ die<br />

Halbwertsbreite (FWHM) des Beugungsreflexes, die bei der halben Maximalhöhe des<br />

Reflexes gemessen wird. Die Halbwertsbreiten der Reflexe sind neben dem<br />

beugenden Präparat auch durch instrumentelle Gegebenheiten des <strong>Diffraktometers</strong>,<br />

die sich in den Linienbreitenbeiträgen manifestieren, bestimmt <strong>und</strong> im allgemeinen<br />

eine Funktion des Beugungswinkels 2θ. Im Folgenden sollen die Größen der Linien-<br />

breitenbeiträge der Monochromatoren <strong>und</strong> des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> bzw. der<br />

Bildplatte bestimmt <strong>und</strong> einander gegenüber gestellt werden. Hierbei wird stets von<br />

Transmissionsgeometrie ausgegangen. Die Halbwertsbreite ist schließlich durch die<br />

Faltung der einzelnen Linienbreitenbeiträge gegeben. Bei der Bildplatte mit einem<br />

Fokussierkreisradius von 90mm entspricht eine Linienbreite von 1mm einem Winkel<br />

von 0,32° in 2θ, dagegen entspricht diese Strecke beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer mit<br />

einem Radius von 57,3mm einem Winkel von 0,5° in 2θ.<br />

- Linienbreitenbeiträge der Monochromatoren<br />

Die einzelnen Linienbreitenbeiträge der Monochromatoren lassen sich mit Hilfe<br />

der Gleichungen 2-27 bis 2-30 berechnen. In Tabelle 4-1 sind die Ergebnisse für<br />

die beiden am Diffraktometer eingesetzten Monochromatorkristalle zusammen-<br />

gefaßt.<br />

Tab.4-1: Linienbreitenbeiträge der Monochromatoren; alle Beiträge in mm<br />

Beitrag<br />

Germanium-<br />

Monochromator<br />

Quartz-<br />

Monochromator<br />

der Eindringtiefe: ls 0,018 0,068<br />

der Teilchengröße: lGM 0,002 0,0005<br />

der spektralen Halbwertsbreite: lλ 0,020 0,021<br />

der Mosaizität: l∆τ 0,020 0,021


Zusammenfassung <strong>und</strong> Ausblick 5-1<br />

5. Zusammenfassung<br />

Werden <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong> Bildplatte bezüglich ihrer Qualitäten im Einsatz<br />

zur Detektion der gebeugten Strahlung verglichen, so besitzen durchaus beide ihre<br />

Vorzüge. Das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer hat durch den Pulshöhenfilter ein wesentlich<br />

besseres Peak zu Untergr<strong>und</strong> Verhältnis. Die Wahl des Probenträgers <strong>und</strong> der<br />

Aufbringung des Pulvers auf diesen ist wesentlich unkritischer als bei der Bildplatte.<br />

Außerdem können mit dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer Beugungsbilder bis 1 Grad an den<br />

Primärstrahl aufgenommen werden, wodurch auch Proben mit sehr großen Gitter-<br />

parametern untersucht werden können. Auch kann der Primärstrahl gescannt<br />

werden, womit absolute Winkelmessungen möglich sind. Ein Vorteil der rotatorischen<br />

Probenbewegung am <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer gegenüber der translatorischen<br />

Bewegung der Probe bei der Bildplatte hat sich bisher nicht gezeigt. Ein<br />

unschlagbarer Vorteil der Bildplatte ist die Geschwindigkeit mit der ein vollständiges<br />

Beugungsdiagramm erhalten werden kann. Für die meisten Messungen sollte eine<br />

Belichtungszeit von 30min ausreichend sein. Durch die gleichzeitige Aufnahme aller<br />

Reflexe über den gesamten Winkelbereich werden Meßzeiten pro „Schrittwinkel“<br />

erreicht, die bei einem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong>enkbar sind.<br />

Bei den Messungen mit der Bildplatte <strong>und</strong> dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer zeigten sich<br />

Verschiebungen der Reflexlagen deren Ursache hauptsächlich auf eine radiale Ver-<br />

schiebung der Probe gegenüber dem Detektionskreis zurückgeführt <strong>und</strong> fast<br />

vollständig behoben werden konnten. Durch die Möglichkeit zur Berücksichtigung<br />

von Reflexlagenverschiebungen mit einem Polynom zweiter Ordnung ergab sich der<br />

wesentlichste Unterschied zwischen den für Rietveldverfeinerungen eingesetzten<br />

Programmen Rietica <strong>und</strong> SimRef. Ansonsten scheinen beide Programme gleich gut<br />

zur Verfeinerung der mit Bildplatte oder <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer aufgenommenen<br />

Beugungsdiagramme geeignet zu sein. Vor der weiteren Auswertung der Beugungs-<br />

diagramme ist eine Absorptionskorrektur der gemessenen Daten vorzunehmen, was<br />

mit dem für diese Arbeit geschriebenen Programm leicht durchführbar ist.<br />

Die Messung der Fokallienbreiten der Monochromatorkristalle Germanium <strong>und</strong><br />

Quartz zeigte, daß der von der Theorie vorausgesagte Unterschied zwischen dem<br />

Germanium- <strong>und</strong> dem Quartzkristall in der Praxis sogar deutlicher ausgeprägt ist.<br />

Allerdings sind die gemessenen Linienbreiten beider Monochromatoren etwa doppelt<br />

so groß wie erwartet. Mit <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong> Bildplatte an beiden Monochro-<br />

matoren durchgeführte Meßreihen an einem Siliziumpulver ergaben, daß sich der


Anhang A - 1<br />

A. Anhang<br />

A.1 Maßzeichnung der Röhre <strong>und</strong> Bestimmung der<br />

Brennfleckgröße<br />

Die eingesetzte Röntgenröhre (Abbildung A-2) besitzt eine Cu-Anode <strong>und</strong> ist das<br />

Model „K FF CU 4 L“ der Firma „Siemens“. Zur Abschätzung der Brennfleckgröße<br />

Abb.A-1: Aufnahmen des Brennflecks (links: Seite 1 ; rechts: Seite 3) im Abstand von 10 bzw. 5 cm.<br />

wurden mehrere Lochkameraaufnahmen (Abbildung A-1) gemacht. Der<br />

röntgenempfindliche Film war jeweils 5 bzw. 10cm von der Vorderseite des<br />

Schalbenschwanzes, auf den der Monochromator aufgesteckt wird, entfernt<br />

aufgestellt <strong>und</strong> wurde durch einen 2mm dicken Pappkarton vor Licht geschützt. Im<br />

Blendeneinschub des Schwalbenschwanzes saß die lasergefertigte Lochblende mit<br />

einem Lochdurchmesser von 200µm mittig bezüglich der Austrittsöffnung. Für die<br />

Aufnahmen wurde auf Seite 3 der Strahlentunnel abgenommen <strong>und</strong> auf Seite 1<br />

wieder der Orginalzustand des Röhrengehäuses, d.h. mit aufgesetztem r<strong>und</strong>em<br />

Abstandshalter, hergestellt. Mit angeschraubtem Messinghalter für den<br />

Schwalbenschwanz, ergibt sich damit auf beiden Seiten ein Abstand von 54 ± 1mm<br />

zwischen Brennfleck <strong>und</strong> Lochblende. In Tabelle A-1 sind die ermittelten Breiten der<br />

jeweiligen Filmschwärzung zusammengefaßt.


Anhang A - 2<br />

Abb.A-2: Schematische Darstellung der Röntgenröhre; alle Längenangaben in mm; die Wegstrecken<br />

zwischen Brennfleck <strong>und</strong> der Schwalbenschwanzvorderseite ergeben sich zu 50,2 bzw. 78,6mm.


Anhang A - 3<br />

Tab.A-1: Gemessene Breiten der Filmschwärzung in Abhängigkeit des Abstandes zwischen Film <strong>und</strong><br />

Lochblende<br />

Die der Messung zu Gr<strong>und</strong>e liegende Geometrie ist in Abbildung A-3 dargestellt.<br />

Wegen einer möglichen Verkippung der Lochblende gegenüber dem Strahlengang,<br />

ist es sinnvoll, zunächst deren „effektive“ Breite BL über das Verhältnis von B2 zu B1<br />

zu bestimmen. Mit Hilfe des Ausdrucks<br />

D B<br />

für die Weglänge DB, ergibt sie sich zu<br />

B2D1<br />

− B1<br />

1<br />

=<br />

B − B<br />

B<br />

L<br />

1<br />

( D + D )<br />

DB<br />

= ⋅ B1<br />

.<br />

D + D<br />

B<br />

Damit ist die Größe BF der Projektion des Brennflecks, bei bekanntem Abstand DFB<br />

zwischen Fleck <strong>und</strong> Blende, durch die Gleichung<br />

bestimmt.<br />

Seite 1<br />

Seite 3<br />

Abstand [mm] Breite [µm]<br />

56 326 ± 1<br />

106 481 ± 3<br />

56 311 ± 1<br />

106 481 ± 3<br />

Abb.A-3: Geometrie bei der Abbildung des Brennflecks auf den röntgenempfindlichen Film.<br />

D<br />

FB B<br />

BF = ⋅<br />

DB<br />

1<br />

− D<br />

2<br />

B<br />

L<br />

2


Anhang A - 4<br />

Tab.A-2: Errechnete Werte für die Weglänge DB, der effektiven Blendengröße BL <strong>und</strong> der aus ihnen resultierenden<br />

Größe der Brennfleckprojektion BF bzw. deren Fehler ∆BF<br />

DB [mm] BL [mm] BF [µm] ∆BF [µm]<br />

Seite 1 49,2 0,152 15 16<br />

Seite 3 35,5 0,121 63 22<br />

Mit den in Tabelle A-1 aufgeführten Breiten der Brennfleckaufnahmen ergeben sich<br />

die in Tabelle A-2 aufgelisteten Werte für die Größen DB, BL <strong>und</strong> der Brenn-<br />

fleckprojektion BF bzw. deren Fehler ∆BF. Mit den aus der Maßzeichnung der<br />

Röntgenröhre entnommenen Abnahmewinkeln von 3,6° bei Seite 1 <strong>und</strong> 7° bei Seite<br />

3 ergibt sich daraus eine scheinbare Brennfleckgröße von 238µm bzw. 513µm. Dies<br />

stimmt nur von der Größenordnung her mit der vom Hersteller angegebenen Größe<br />

von 380µm (entspricht 40µm unter 6°) überein. Die große Abweichung läßt sich zum<br />

einen auf den Fehler ∆BF zurückführen. In ihn geht der Fehler in der Bestimmung der<br />

Breite der Filmschwärzung <strong>und</strong> die Meßfehler im Abstand des Brennflecks zur Loch-<br />

blende bzw. von dieser zum Film ein. Nimmt man die Abnahmewinkel als korrekt an,<br />

so ergibt sich für eine Brennfleckbreite von 380µm für die Brennfleckprojektion BF ein<br />

Wert von 23µm auf Seite 1 <strong>und</strong> ein Wert von 46µm auf Seite 3, was beides im<br />

Rahmen des angegebenen Fehlers ist. Zum anderen lassen sich die Abnahmewinkel<br />

nicht direkt messen, sondern sind nur unter der Annahme einer exakt mittig<br />

sitzenden Lochblende abgeschätzt worden.<br />

A.2 Kurze Einführung in SimRef<br />

Das von Prof. Ihringer et al. [23] entwickelte Programm ist <strong>eines</strong> der wenigen<br />

Rietveldprogramme, die auch an die Auswertung von in <strong>Guinier</strong>geometrie<br />

aufgenommenen Meßdaten angepaßt sind. Es ist sowohl für verschiedene Unix-<br />

Varianten, sowie für Windows verfügbar. Jedoch ist das optionale Plot-Programm zur<br />

Darstellung des Beugungsdiagramms, der errechneten Intensitäten <strong>und</strong> der<br />

Differenzkurve ein TK/TCL-Script, welches unter Windows zeitaufwendig emuliert<br />

werden muß.<br />

Das Programm unterstützt drei verschiedene Datei-Formate für die gemessenen<br />

Intensitäten. Dabei kann in den ersten Zeilen der Datei ein beliebig langer<br />

Kommentar stehen, der durch eine neue Zeile mit einem Schlüsselwort, welches das


Anhang A - 5<br />

Datenformat angibt, <strong>und</strong> einem Wert für die Zeit pro Schritt, dem minimalen 2θ-<br />

Winkel, der Schrittweite, dem maximalen 2θ-Winkel, der Temperatur, einer<br />

Blocknummer <strong>und</strong> der Zahl der Meßwerte, abgeschlossen wird. Danach folgen die<br />

Meßwerte als 2θi, yi obs , σi, yi back separiert durch Kommas oder Leerzeichen, wobei<br />

das Schlüsselwort „DAT“ lautet. Beim „DUO“-Format stehen jeweils acht Meßwerte in<br />

einer Zeile <strong>und</strong> beim „NEU“-Format besteht jede Datenzeile aus zehn Paaren aus<br />

jeweiligem Gewichtungsfaktor <strong>und</strong> Meßwert. Durch den Gewichtungsfaktor kann<br />

jedem einzelnen Meßwert ein Maß für seine Berücksichtigung bei der Verfeinerung<br />

gegeben werden. Zumeist werden die Meßwerte mit dem Quadrat des Reziproken<br />

ihrer Standardabweichung gewichtet. Damit nehmen unsichere Meßwerte weniger<br />

großen Einfluß auf die Verfeinerung.<br />

Mittels zweier Dateien wird die Verfeinerung gesteuert. In der ersten, welche die<br />

Namenserweiterung „INP“ trägt, befinden sich allgemeine Einstellungen zur<br />

Verfeinerung <strong>und</strong> die Zahlenwerte der einzelnen Parameter. Als Beispiele, für diese<br />

Steuerungsdatei <strong>und</strong> die später beschriebene Parameterdatei, sind am<br />

Abschnittsende die Datei, welche als Ausgangspunkt für die in dieser Arbeit<br />

gemachten Verfeinerung von Silizium diente, abgedruckt. In der Steuerungsdatei<br />

beginnt jede Zeile mit einem Schlüsselwort, auf das die zugehörigen Parameter, mit<br />

Leerzeichen separiert, folgen. Die wichtigsten von ihnen sind neben ihrer Bedeutung<br />

<strong>und</strong> falls sie eine Auswahl darstellen, mit den am häufigsten verwendeten Werten in<br />

Tabelle A-3 aufgelistet.<br />

Tab.A-3: In der Steuerdatei von SimRef [23] verwendete Schlüsselwörter neben den zugehörigen Parametern<br />

<strong>und</strong> deren Bedeutung<br />

Schlüssel-<br />

wort<br />

Parameternummer Auswahlnummer <strong>und</strong> deren Bedeutung<br />

INI 1. Art der Verfeinerung 1 → Rietveld-Verfeinerung<br />

2. Zahl der Datensätze<br />

6. Ersetzen der Eingabe-<br />

datei nach Verfeinerung<br />

9. Modell der<br />

Vorzugsorientierung<br />

2 → Berechnung des Beugungsmusters<br />

5 → Profil-Verfeinerung<br />

1 → Ja<br />

0 → Nein<br />

1 → nach Rietveld<br />

2 → nach March/Dollase


Anhang A - 6<br />

Tab.A-3: In der Steuerdatei von SimRef [23] verwendete Schlüsselwörter neben den zugehörigen Parametern<br />

<strong>und</strong> deren Bedeutung (Fortsetzung)<br />

FIT 1. Maximalzahl der<br />

Durchläufe<br />

2. Abbruchkriterium<br />

3. – 10. Dämpfungsfaktoren<br />

PAR Name der Parameterdatei<br />

TIT Titel des Datensatzes<br />

COD 1. Beugungsgeometrie 1 → <strong>Guinier</strong> in Transmission<br />

2. Zahl der Phasen<br />

2 → <strong>Guinier</strong> mit Film<br />

3 → Bragg-Brentano<br />

3. Form der Profilfunktion 1 → Gauß<br />

4 → 3-Achsen Diffr. an Synchrotron<br />

5 → Neutronenb. in Debye-Scherrer<br />

6 → <strong>Guinier</strong> in Reflektion<br />

2 → Lorentz<br />

3 → Pseudo-Voigt<br />

4 → Asymmetrische Pseudo-Voigt<br />

6. Untergr<strong>und</strong> 0 → wird mitverfeinert<br />

1 → aus zusätzlicher Datei<br />

2 → aus 4ter Spalte in der Meßdatei<br />

7. 2θ-Skala 0 → nach 2θ-Werten aus Meßatei <strong>und</strong><br />

verfeinerter Korrektur einer Reflex-<br />

verschiebung<br />

1 → aus zusätzlicher Datei mit Standard-<br />

Reflexen <strong>und</strong> Skalierung<br />

2 → nach internem Silizium-Standard <strong>und</strong><br />

verfeinerter Korrektur einer Reflex-<br />

verschiebung<br />

DAT Name der Datei mit den gemessenen Meßwerten<br />

EXC Minimum <strong>und</strong> Maximum <strong>eines</strong>, von der Verfeinerung auszuschlies-<br />

senden Bereichs


Anhang A - 7<br />

Tab.A-3: In der Steuerdatei von SimRef [23] verwendete Schlüsselwörter neben den zugehörigen Parametern<br />

<strong>und</strong> deren Bedeutung (Fortsetzung)<br />

WVL 1. λ1 in<br />

2. λ2 in<br />

3. Intensitätsverhältnis von<br />

λ2 zu λ1<br />

THE 1. Startwert der 2θ-Skala<br />

2. Endwert der 2θ-Skala (am besten 0 setzen, da dann Start-,<br />

3. Schrittweite in 2θ<br />

4. Nullpunktsverschiebung<br />

t0<br />

5. Korrektur t1 der<br />

Reflexverschiebung ∝ 2θ<br />

6. Korrektur t1 der<br />

Reflexverschiebung ∝ (2θ)²<br />

COR 2. Reflexbasisbreite ω in<br />

Einheiten der FWHM<br />

3. Begungswinkel 2θM des<br />

Monochromators<br />

(für Lorentz-Polarisations-<br />

Faktor)<br />

5. Endwinkel der<br />

Assymmetriekorrekur<br />

Endwert <strong>und</strong> Schrittweite aus Meßdatei<br />

übernommen werden)<br />

PHS 1. Name der Phase (maximal 4 Zeichen)<br />

2. Typ der Kristallstruktur 0 → Nicht moduliert<br />

5. Anisotrope Tempe-<br />

raturfaktoren als<br />

0 → βij´s<br />

1 → Bij´s<br />

2 → Uij´s<br />

SPG Raumgruppe entweder als Nummer oder als Hermann-Mauguin-Symbol<br />

MET Die Gitterparameter in


Anhang A - 8<br />

Tab.A-3: In der Steuerdatei von SimRef [23] verwendete Schlüsselwörter neben den zugehörigen Parametern<br />

<strong>und</strong> deren Bedeutung (Fortsetzung)<br />

PRO 1. Gesamtskalenfaktor s<br />

2. Gesamttemperaturfaktor B0<br />

3. – 5. U,V <strong>und</strong> W der Caglioti-Formel<br />

ETA Die Mischungsparameter η=η0+η1(2θ)+η2(2θ)² bei der Pseudo-Voigt<br />

bzw. µ=µ0+µ1/(2θ)+ µ2/(2θ)² bei der Pearson-VII-Funktion<br />

ASY 1. – 2. Asymmetriekorrekturfaktoren A0 <strong>und</strong> B0 bzw. S/L <strong>und</strong> H/L bei der<br />

Pseudo-Voigt-Funktion nach Finger et al., dabei: 2S Probengröße, 2H<br />

Höhe des Detektorschlitzes <strong>und</strong> L Abstand zw. Detektor <strong>und</strong> Probe<br />

3. – 4. Asymmetriekorrekturfaktoren A1 <strong>und</strong> B1<br />

ATO 1. Name des Atoms/Ions (maximal 4 Zeichen)<br />

2. In Großbuchstaben das<br />

chemische Symbol <strong>und</strong><br />

bei Röntgenbeugung die<br />

Ladung des Ions<br />

3. Wyckoff-Nummer<br />

4. –6. Position des<br />

Atoms/Ions in der<br />

Einheitszelle (x/a, y/b <strong>und</strong><br />

z/c)<br />

7. Isotroper<br />

Temperaturfaktor Biso<br />

8. Besetzungszahl N<br />

9. – 14. Sechs anisotrope<br />

Temperaturfaktoren βij´s,<br />

Bij´s oder Uij´s<br />

Für eine vollständige Liste aller Parameter <strong>und</strong> Auswahlmöglichkeiten sei auf die<br />

Orginalbeschreibung verwiesen.<br />

In der Datei mit der Namenserweiterung „PAR“ werden die zu verfeinernden<br />

Parameter <strong>und</strong> falls notwendig, deren Abhängigkeiten voneinander, die sogenannten<br />

„Constraints“, angegeben. Der nach dem Schlüsselwort „TIT“ stehende Titel ist nur<br />

zur eigenen Orientierung <strong>und</strong> wird nicht weiter ausgewertet. Alle zu verfeinernden


Anhang A - 9<br />

Parameter müssen durch Kommata getrennt in der mit „PAR“ beginnenden Zeile<br />

aufgeführt werden. An diese schließt sich eine Liste aller verfügbaren Parameter an.<br />

Sie dient zum einen der Nummerrierung der Parameter, bietet aber auch die<br />

Möglichkeit einzelne Werte gr<strong>und</strong>sätzlich von einer Verfeinerung auszuschließen, in<br />

dem an der entsprechenden Stelle ein „0“ eingetragen wird, oder auch feste<br />

Beziehungen zwischen Parametern vorzugeben, die bei der Verfeinerung unbedingt<br />

eingehalten werden müssen.<br />

Sind sowohl Steuerungs- als auch Parameterdatei angepaßt, so kann mit<br />

freigegebenem Phasenfaktor scale (14) durch schrittweise Freigabe der Parameter<br />

c0 bis c5 (Parameter 4 bis 9) der gemessene Untergr<strong>und</strong> moduliert <strong>und</strong> die Ver-<br />

feinerung begonnen werden. Anschließend kann die Nullpunktsverschiebung t0 (1)<br />

<strong>und</strong> die Gitterparameter freigegeben werden. Eventuell gegebene gerätespezifische<br />

Reflexlagenverschiebungen können durch die Parameter t1 (2) <strong>und</strong> t2 (3) be-<br />

rücksichtigt werden. Sind die Gitterparameter <strong>und</strong> die Nullpunktsverschiebung<br />

ausreichend gut angepaßt, d.h. stimmen im Plot von gemessenem <strong>und</strong> errechnetem<br />

Beugungsdiagramm die Lagen der Beugungsreflexe überein, so kann mit der<br />

Verfeinerung der Profilform begonnen werden. Zunächst werden die Parameter U<br />

(18), V (19) <strong>und</strong> W (20) der Caglioti-Funktion, beginnend mit dem linearen Anteil W,<br />

schrittweise angepaßt. Da diese für das Diffraktometer charakteristisch sind, können<br />

die Werte einer alten Verfeinerung als gute Startwerte dienen. Anschließend werden<br />

die Parameter η0 bis η2 (11 bis 13) der Profilfunktion verfeinert. Bei der häufig<br />

verwendeten Pseudo-Voigt-Funktion ist dies der Mischparameter zwischen Lorentz-<br />

<strong>und</strong> Gaußprofil. Schließlich kann noch die Asymmetrie des Reflexprofils modelliert<br />

werden. Hierfür dienen die Parameter A0, A1 <strong>und</strong> B0, B1 (21 bis 24). Mit der<br />

asymmetrischen Pseudo-Voigt-Funktion (Profilfunktion 9 unter „COD“) nach Finger et<br />

al. [18] wird eine durch die axialen Divergenz des gebeugten Strahls verursachte<br />

Asymmetrisierung des Peakprofils berücksichtigt. Bei dieser werden nur die<br />

Parameter A0 <strong>und</strong> B0 (21,23) verwendet, wobei A0 das Verhältnis aus Probengröße<br />

zum Abstand Probe-Detektor <strong>und</strong> B0 das Verhältnis aus Größe der Detektorblende<br />

zum Abstand Probe-Detektor ist. Als Startwerte sollten beide Parameter gleich groß<br />

gewählt werden, wobei sich bei dem in dieser Arbeit verwendeten Diffraktometer ein<br />

Wert von 0,021 bewährt hat. Da diese beiden Parameter korreliert sind sollten sie nur<br />

getrennt verfeinert werden. Außerdem sollten zu Beginn der Anpassungen dieser<br />

Parameter alle anderen Parameterwerte der Profilform festgehalten werden. Nach


Anhang A - 10<br />

Beendigung der Verfeinerung steht in der Datei mit der Namenserweiterung „hkl“<br />

eine Liste alle Reflexe neben ihrer Winkelposition, dem Lorentzpolarisationsfaktor<br />

<strong>und</strong> der Halbwertsbreite. In der Datei mit Endung „kof“ werden die Strukturfaktoren<br />

neben den gemessenen <strong>und</strong> berechneten Bragg-Intensitäten aufgelistet. Die Datei<br />

mit der Erweiterung „plt“ beinhaltet das gemessene <strong>und</strong> das nach der Verfeinerung<br />

errechnete Beugungsdiagramm <strong>und</strong> die Differenz aus beiden.<br />

Beispiel einer Steuerdatei für SimRef:<br />

*** Input file for one data set ***<br />

(jobtyp, idges, ismat, icorr, istreu, newin, isp, ishelx, ipref)<br />

INI> 1 1 1 1 1 1 0 1 1<br />

(ncyc, urf, koord, temp/mod, fwhm, scale, lattice, prof, thecor, back)<br />

FIT> 70 0.30 0.4 0.4 0.8 0.8 0.8 0.8 0.8 0.8<br />

(parameter file)<br />

PAR> si.par<br />

(title)<br />

TIT> Silizum auf Seite 1 additiv<br />

(igeo,nphase,nprof,ihkl,lhkl,ibac,ieich,istru,nref,ifou,ifis)<br />

COD> 1 1 9 1 1 0 0 1 1 1 0<br />

(data file)<br />

DAT> S1adK.dat<br />

(c0, c1, c2, c3, c4, c5)<br />

BAC> 0 0 0 0 0 0<br />

(lamda1, lamda2, ratio)<br />

WVL> 1.540590 0.000000 0.00000<br />

(th_min, th_max, step, zeropoint t0, t1, t2)<br />

THE> 8.00000 90.000 0.0050 0 0 05<br />

(back, wdt, tth_mon fuer Polarisation, abs., rlim, rau, th_ana)<br />

COR> 10.0000 30.000 27.28 0.0000 90.0000 20.0000 0.0000 0.0000<br />

(Phs, imo, laue, iord, ibeta, d_max, I_def)<br />

PHS> Si 0 0 0 1 10.000 1.0<br />

(space group)<br />

SPG> 227,2


Anhang A - 11<br />

(a, b, c, alpha, beta, gamma)<br />

MET> 5.43080 5.43080 5.43080 90.00000 90.00000 90.00000<br />

(scale, ov.temp., U, V, W)<br />

PRO> 0.01 0.00000 0.0 0.0 0.01<br />

(eta_0, eta_1, eta2)<br />

ETA> 0.0 0.0 0.0<br />

(A_0, B_0, A_1, B_1)<br />

ASY> 0.02100 0.02100 0.00000 0.00000<br />

(G1, G2, preferred orientation vector)<br />

PRE> 0.00000 0.00000 0.000 0.000 0.000<br />

(Name, Scat. symbol, mult., x, y, z, B, N, b11, b22, b33, b12, b13, b23)<br />

ATO> Si SI 8 0.12500 0.12500 0.12500 0.60000 1.00000 \<br />

0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000<br />

Beispiel einer Parameterdatei für SimRef:<br />

TIT> Silizium auf Seite 1 additiv<br />

PAR> 1,14,4,5,6,7,31_33,2,3,18_20,11,12,13,21<br />

# 1 = Freigegeben für Refinement<br />

# 0 = Festgesetzt<br />

(zero,t1,t2,c0,c1,c2,c3,c4,c5,lambda)<br />

GLB [1_10]> 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1, 0<br />

(eta0,eta1,eta2,scale,o-temp,G1,G2,U,V,W,A0,B0,A1,B1, I)<br />

PRO [11_25]> 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1,1,1,1, 1, 1, 1, 1, 1<br />

(a, b, c, alpha,beta,gamma,q1,q2,q3)<br />

MET [31_39]> 1,=31, =31, 0, 0, 0, 1, 1, 1<br />

(x, y, z, B, N,b11,b22,b33,b12,b13,b23)<br />

ATO [41_51] Si > 0, 0, 0, 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1, 1


Anhang A - 12<br />

A.3 Programm zur Intensitätskorrektur bei Bildplatte <strong>und</strong> <strong>Guinier</strong>-<br />

Diffraktometer<br />

Um eine Korrektur der mit Bildplatte oder <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer gemessenen<br />

Intensitäten bezüglich Absorption auch im Routinebetrieb durchführen zu können,<br />

wurde ein Windows-Programm geschrieben. Nach dem Start des Programms ist das<br />

in Abbildung A-4 gezeigte Fenster aktiv. Im oberen Abschnitt kann die Datei mit den<br />

Abb.A-4: Hauptmenü des Programms zur Intensitätskorrektur.<br />

zu korrigierenden Meßwerten ausgewählt werden. Dies kann zum einen durch<br />

direkte Eingabe des Dateinamen in das Textfeld „Ursprung“ erfolgen. Zum anderen<br />

kann die Datei auch über die Schaltfläche „Auswahl“ gesucht werden. Im Textfeld<br />

„Ziel“ wird der Name der Ausgabedatei mit den korrigierten Werten angegeben. Als<br />

Vorgabe wählt hier das Programm den gleichen Namen wie den, den die<br />

Ausgangssdatei mit den zu korrigierenden Meßwerten trägt. Jedoch wird die<br />

Dateinamenserweiterung zu „ASC“ gewählt. Durch einen Click auf die Schaltfläche<br />

„Ok“ wird die Korrektur vorgenommen. Beim Gunier-Diffraktometer wird dabei die<br />

asymmetrische Durchstrahlgeometrie angenommen. Für die Werte der benötigten<br />

Parameter, wie beispielsweise den Abmessungen des Schutzfensters <strong>und</strong> dessen<br />

Absorptionskoeffizienten, sind die Angaben des Herstellers der Bildplatte <strong>und</strong> des<br />

Gunier-Diffraktometer voreingestellt. Dabei wurde angenommen, das der Innenraum<br />

der Bildplatte evakuiert ist. Bei luftgefülltem Innenraum ist für den Absorptions-<br />

koeffizienten µInnenraum der entsprechende Wert für Luft einzutragen. Alle Parameter


Anhang A - 13<br />

lassen sich über das Parameterfenster (Abbildung A-5), welches über einen Click auf<br />

die Schaltfläche „Parameter“ erreicht werden an die entsprechenden experimentellen<br />

Gegebenheiten anpassen. Im linken Teil des Fensters sind die Absorptionsfaktoren<br />

für den evakuierten oder luftgefüllten Innenraum der Bildplatte, für deren aus Kapton<br />

Abb.A-5: Fenster mit den Werten für die Parameter der Korrektur.<br />

<strong>und</strong> Pappe bestehendem Schutzfenster <strong>und</strong> für die Luft zwischen Probe <strong>und</strong><br />

Schutzfenster eingetragen. Der eingestellte Absorptionsfaktor für Luft wird auch für<br />

die Korrektur der mit dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer aufgenommenen Meßdaten<br />

verwendet. Die Dicke der Kaptonfolie <strong>und</strong> der Pappe sowie den Radius <strong>und</strong> den<br />

Abstand zwischen Fenster <strong>und</strong> Probe lassen sich auf der rechten Seite einstellen.<br />

Der Radius des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> ist ebenfalls einstellbar. Durch das Anwählen<br />

von „Binning“ werden bei der Korrektur einer Meßdatei der Bildplatte zwei<br />

aufeinander folgende Meßwerte zu einem Wert aufaddiert, wodurch sich die<br />

Schrittweite verdoppeln läßt. Über ein Drücken der Schaltfläche „OK“ werden die<br />

eingestellten Werte für die anschließenden Korrekturen verwendet <strong>und</strong> wieder das<br />

Hauptmenü des Programms aktiviert. Durch die Schaltfläche „Exit“ läßt sich das<br />

Hauptmenü ohne die Übernahme der Parameter erreichen. Schließlich kann über die<br />

Schaltfläche „Exit“ im Hauptmenü das Programm verlassen werden.


Anhang A - 14<br />

{ #################################################################<br />

# #<br />

# Programm zur Korrektur der gemessenen Intensitaeten bezueglich #<br />

# Absorption bei <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong> Bildplatte #<br />

# #<br />

# Geschrieben von Markus Baier 2001 #<br />

# Lehrstuhl fuer Kristallographie <strong>und</strong> Strukturphysik #<br />

# Universitaet Erlangen-Nuernberg #<br />

# #<br />

################################################################# }<br />

unit KORREKTUR;<br />

interface<br />

uses<br />

Windows, Messages, SysUtils, Classes, Graphics, Controls, Forms, Dialogs,<br />

StdCtrls, ExtCtrls, PBNumEdit, Parameterfenster, ComCtrls, Math;<br />

type<br />

TForm1 = class(TForm)<br />

Bevel1: TBevel;<br />

Bevel2: TBevel;<br />

Quellname: TEdit;<br />

Zielname: TEdit;<br />

QWahl: TButton;<br />

OpenDialog1: TOpenDialog;<br />

Okay: TButton;<br />

StaticText1: TStaticText;<br />

StaticText2: TStaticText;<br />

Exit: TButton;<br />

Parameter: TButton;<br />

Status: TStatusBar;<br />

procedure QWahlClick(Sender: TObject);


Anhang A - 15<br />

procedure ExitClick(Sender: TObject);<br />

procedure OkayClick(Sender: TObject);<br />

procedure ParameterClick(Sender: TObject);<br />

procedure FormCreate(Sender: TObject);<br />

procedure QuellnameChange(Sender: TObject);<br />

private<br />

{ Private-Deklarationen }<br />

Einlesen, Schreiben: TStringList;<br />

public<br />

{ Public-Deklarationen }<br />

end;<br />

var<br />

Form1: TForm1;<br />

Extension: String;<br />

implementation<br />

{$R *.DFM}<br />

procedure TForm1.QWahlClick(Sender: TObject);<br />

begin<br />

If OpenDialog1.Execute then<br />

Quellname.Text:=OpenDialog1.Filename;<br />

Zielname.Text:=ChangeFileExt(OpenDialog1.Filename,'.ASC');<br />

Extension:=UpperCase(ExtractFileExt(OpenDialog1.Filename));<br />

end;<br />

procedure TForm1.ExitClick(Sender: TObject);<br />

begin<br />

Form1.Close;<br />

end;


Anhang A - 16<br />

procedure TForm1.OkayClick(Sender: TObject);<br />

var zeile,Ilauf,PosPunkt : Integer;<br />

DScanStart,DScanStep : Double;<br />

DWinkelGanz,DWinkelKomma,DWinkel : Double;<br />

DIntensM: Integer;<br />

DIntensK: Integer;<br />

Erfolg: integer;<br />

WegIn,WegAus,WegKap,WegPap,Kosinus : Extended;<br />

Zeileninhalt,ZeilenTeil,Spaces : String;<br />

begin<br />

Status.SimpleText:=' ';<br />

// Falls Bildplatte<br />

if Extension='.GDF' then begin<br />

Einlesen := TStringList.Create;<br />

Schreiben := TStringList.Create;<br />

Einlesen.LoadFromFile(Quellname.Text);<br />

zeile:=0;<br />

// Kommentar ueberspringen<br />

repeat<br />

if Pos('*/', Einlesen.Strings[zeile]) > 0 then Break;<br />

Inc(zeile);<br />

until (Pos('*/', Einlesen.Strings[zeile]) > 0) or (Zeile>Einlesen.Count-2);<br />

Inc(zeile);<br />

// Startwinkel einlesen<br />

DScanStart:=StrToFloat(Einlesen.Strings[zeile]);<br />

Inc(zeile);<br />

Inc(zeile);<br />

DScanStep:=StrToFloat('0'+Einlesen.Strings[zeile]);<br />

zeile:=zeile+4;<br />

ILauf:=0;<br />

// Zeilen mit Meßwerten umrechnen<br />

repeat<br />

DWinkel:=DScanStart+Ilauf*DScanStep;


Anhang A - 17<br />

Val (Einlesen.Strings[zeile],DIntensM,Erfolg);<br />

Kosinus:=cos(PI*(45-DWinkel)/180);<br />

WegPap:=DPappe/Kosinus;<br />

WegKap:=DKapton/Kosinus;<br />

WegAus:=DAusen/Kosinus;<br />

WegIn:=2*Radius*Kosinus-WegAus;<br />

DIntensK:=Ro<strong>und</strong>(DIntensM*exp(MI*WegIn+ML*WegAus+MP*WegPap+<br />

MK*WegKap));<br />

Spaces:='';<br />

Inc(ILauf);<br />

if zeile < einlesen.count then Inc(Zeile);<br />

if Binning then begin<br />

if zeile < einlesen.count then begin<br />

Val (Einlesen.Strings[zeile],DIntensM,Erfolg);<br />

Kosinus:=cos(PI*(45-DWinkel-DScanStep)/180);<br />

WegPap:=DPappe/Kosinus;<br />

WegKap:=DKapton/Kosinus;<br />

WegAus:=DAusen/Kosinus;<br />

WegIn:=2*Radius*Kosinus-WegAus;<br />

DIntensK:=DIntensK+Ro<strong>und</strong>(DIntensM*exp(MI*WegIn+ML*WegAus+<br />

MP*WegPap+MK*WegKap));<br />

Inc(ILauf);<br />

end<br />

else<br />

DIntensK:=2*DIntensK;<br />

if zeile < einlesen.count then Inc(Zeile);<br />

end;<br />

Schreiben.Add(FloatToStrF(DWinkel,ffFixed,6,4) + ' ' + IntToStr(DintensK));<br />

until zeile > einlesen.count - 1;<br />

// Korriegierte Meßwerte wieder in eine Datei schreiben<br />

Schreiben.SaveToFile(Zielname.Text);<br />

Einlesen.Clear;<br />

Schreiben.Clear;<br />

end;


Anhang A - 18<br />

// Falls <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer<br />

if Extension='.GUN' then begin<br />

Einlesen := TStringList.Create;<br />

Schreiben := TStringList.Create;<br />

Einlesen.LoadFromFile(Quellname.Text);<br />

zeile:=0;<br />

// Dateianfang bis zu den Meßwerten ueberspringen<br />

repeat<br />

if Pos('Nr.', Einlesen.Strings[zeile]) > 0 then Break;<br />

Inc(zeile);<br />

until (Pos('Nr.', Einlesen.Strings[zeile]) > 0) or (Zeile>Einlesen.Count-2);<br />

Inc(Zeile);<br />

// Datenzeilen einlesen <strong>und</strong> auswerten<br />

repeat<br />

Zeileninhalt:=Einlesen.Strings[Zeile];<br />

// Winkel extrahieren<br />

PosPunkt:=POS('.',Zeileninhalt);<br />

ZeilenTeil:=Copy(Zeileninhalt,1,PosPunkt);<br />

Zeileninhalt:=Copy(Zeileninhalt,PosPunkt+1,255);<br />

Val(ZeilenTeil,DWinkelGanz,Erfolg);<br />

Val(Zeileninhalt,DWinkelKomma,Erfolg);<br />

DWinkel:=DWinkelGanz+(DWinkelKomma*Power(10,-(Erfolg-1)));<br />

//Meßwert einlesen <strong>und</strong> korrigierten Wert berechnen<br />

Zeileninhalt:=Copy(Zeileninhalt,Erfolg,255);<br />

Val (Zeileninhalt,DIntensM,Erfolg);<br />

DIntensK:=Ro<strong>und</strong>(DIntensM*exp(ML*2*RadiusGon*cos(PI*(45-DWinkel)/180)));<br />

Schreiben.Add(FloatToStrF(DWinkel,ffFixed,10,4) + ' ' + IntToStr(DintensK));<br />

Inc(zeile);<br />

until zeile > einlesen.count - 1;<br />

Schreiben.SaveToFile(Zielname.Text);<br />

Einlesen.Clear;<br />

Schreiben.Clear;<br />

end;<br />

Status.SimpleText:='Bereit'


Anhang A - 19<br />

end;<br />

procedure TForm1.ParameterClick(Sender: TObject);<br />

// Fenster mit Parameterwerten anzeigen<br />

begin<br />

Form1.Okay.Enabled:=False;<br />

Form1.Parameter.Enabled:=False;<br />

Form2.ShowModal;<br />

Form1.Okay.Enabled:=True;<br />

Form1.Parameter.Enabled:=True;;<br />

end;<br />

procedure TForm1.FormCreate(Sender: TObject);<br />

// Start des Programms <strong>und</strong> initialisieren der Variablen<br />

begin<br />

Radius:=90;<br />

DAusen:=23;<br />

DPappe:=0.2;<br />

DKapton:=0.08;<br />

MI:=0.000;<br />

ML:=0.0013;<br />

MP:=0.81;<br />

MK:=0.77;<br />

RadiusGon:=57.3;<br />

Binning:=False;<br />

Status.SimpleText:='Bereit'<br />

end;<br />

procedure TForm1.QuellnameChange(Sender: TObject);<br />

// Direkte Eingabe der Quelldatei<br />

begin<br />

Zielname.Text:=ChangeFileExt(Quellname.Text,'.ASC');<br />

Application.ProcessMessages;<br />

Extension:=UpperCase(ExtractFileExt(Quellname.Text));


Anhang A - 20<br />

end;<br />

end.<br />

unit Parameterfenster;<br />

interface<br />

uses<br />

Windows, Messages, SysUtils, Classes, Graphics, Controls, Forms, Dialogs,<br />

StdCtrls, PBNumEdit, ExtCtrls;<br />

type<br />

TForm2 = class(TForm)<br />

Bevel1: TBevel;<br />

StaticText1: TStaticText;<br />

StaticText2: TStaticText;<br />

StaticText3: TStaticText;<br />

EMI: TPBNumEdit;<br />

StaticText4: TStaticText;<br />

EML: TPBNumEdit;<br />

StaticText5: TStaticText;<br />

StaticText6: TStaticText;<br />

StaticText7: TStaticText;<br />

StaticText8: TStaticText;<br />

EMK: TPBNumEdit;<br />

EMP: TPBNumEdit;<br />

Okay: TButton;<br />

StaticText9: TStaticText;<br />

StaticText10: TStaticText;<br />

StaticText11: TStaticText;<br />

StaticText12: TStaticText;<br />

StaticText13: TStaticText;<br />

StaticText14: TStaticText;


Anhang A - 21<br />

StaticText15: TStaticText;<br />

ER: TPBNumEdit;<br />

EDA: TPBNumEdit;<br />

EDK: TPBNumEdit;<br />

EDP: TPBNumEdit;<br />

Exit: TButton;<br />

StaticText16: TStaticText;<br />

StaticText17: TStaticText;<br />

StaticText18: TStaticText;<br />

P: TCheckBox;<br />

RG: TPBNumEdit;<br />

Label1: TLabel;<br />

Label2: TLabel;<br />

procedure FormCreate(Sender:TObject);<br />

procedure OkayClick(Sender: TObject);<br />

procedure ExitClick(Sender: TObject);<br />

private<br />

{ Private-Deklarationen }<br />

public<br />

{ Public-Deklarationen }<br />

end;<br />

var<br />

Form2: TForm2;<br />

PWinkel: Double;<br />

MI,ML,MP,MK,Radius,DAusen,DPappe,DKapton,RadiusGon : Double;<br />

Binning: Boolean;<br />

implementation<br />

{$R *.DFM}<br />

procedure TForm2.FormCreate(Sender:TObject);<br />

// Eingabe-Boxen mit aktuellen Werten der Parameter fuellen<br />

begin


Anhang A - 22<br />

EMI.Value:=MI;<br />

EML.Value:=ML;<br />

EMP.Value:=MP;<br />

EMK.Value:=MK;<br />

ER.Value:=Radius;<br />

EDA.Value:=DAusen;<br />

EDP.Value:=DPappe;<br />

EDK.Value:=DKapton;<br />

P.Checked:=Binning;<br />

RG.Value:=RadiusGon;<br />

Application.ProcessMessages;<br />

end;<br />

procedure TForm2.OkayClick(Sender: TObject);<br />

// Inhalt der Eingabe-Boxen als neue Variablenwerte uebernehmen<br />

begin<br />

MI:=EMI.Value;<br />

ML:=EML.Value;<br />

MP:=EMP.Value;<br />

MK:=EMK.Value;<br />

Radius:=ER.Value;<br />

DAusen:=EDA.Value;<br />

DPappe:=EDP.Value;<br />

DKapton:=EDK.Value;<br />

Application.ProcessMessages;<br />

Binning:=P.Checked;<br />

RadiusGon:=RG.Value;<br />

Form2.Close;<br />

end;<br />

procedure TForm2.ExitClick(Sender: TObject);


Anhang A - 23<br />

// Abbruch<br />

begin<br />

Form2.Close;<br />

end;<br />

end.


Anhang A - 24<br />

A.4 Gemessene Beugungsdiagramme<br />

Abb.2-10: Mit Bildplatte aufgenommenes Beugungsdiagramm von Tantaloxid.


Anhang A - 25<br />

Abb.4-18: Verfeinertes Beugungsdiagramm von Silizium. Der Differenzplot wird durch die untere<br />

Kurve repräsentiert.


Anhang A - 26<br />

Abb.4-30: Verfeinertes Beugungsdiagramm von Silizium. Der Differenzplot wird durch die untere<br />

Kurve repräsentiert.


Anhang A - 27<br />

Abb.4-31: Mit Bildplatte aufgenommenes Beugungsdiagramm von Quartz in einer Kapillare mit 0,8mm<br />

Durchmesser.


Anhang A - 28<br />

A.5 Literaturverzeichnis<br />

[01] K. H. Jost:<br />

Röntgenbeugung an Kristallen<br />

Heyden & Son GmbH, Rheine (1975)<br />

[02] H. Krischner, B. Koppelhuber-Bitschnau:<br />

Röntgenstrukturanalyse <strong>und</strong> Rietveldmethode<br />

Vieweg, Braunschweig/Wiesbaden (1994)<br />

[03] T. Johansson:<br />

Über ein neuartiges, genau fokussierendes Röntgenspektrometer<br />

Zeitschrift für Physik, Springer-Verlag (1933)<br />

[04] E. G. Hofmann, H. Jagodzinski:<br />

Eine neue, hochauflösende Röntgenfeinstruktur-Analge mit verbessertem,<br />

fokussierendem Monochromator <strong>und</strong> Feinfokusröhre<br />

Z. Metallkde, Band 46 (1955) S. 601ff<br />

[05] R. Allmann:<br />

Röntgenpulverdiffraktometrie<br />

Sven von Loga, Köln (1994)<br />

[06] R. H. Scherm, E. Krüger:<br />

Bragg optics – focusing in real and k-space<br />

Proceedings of the Workshop on Focusing Bragg Optics, Braunschweig<br />

(1993)<br />

[07] W. R. Leo:<br />

Techniques for Nuclear and Particle Physics Experiments<br />

Springer-Verlag, Berlin (1994)<br />

[08] H. H. Otto, W. Hofmann:<br />

Construction of a double-radius <strong>Guinier</strong> diffractometer using Mo Kα1<br />

radiation and a one- or two- dimensional detection system<br />

J. Appl. Cryst., Band 29 (1996) S. 495ff<br />

[09] S. Munekawa, J. D. Ferrara:<br />

Imaging Plates as Detectors for X-ray Diffraction<br />

Rigaku Corporation<br />

http://www.msc.com/brochures/raxis4/ip/ImagePlates.html


Anhang A - 29<br />

[10] K. Ståhl:<br />

The Huber G670 imaging-plate <strong>Guinier</strong> camera tested on beamline I711 at<br />

the MAX II synchrotron<br />

J. Appl. Cryst., Band 33 (2000) S. 394ff<br />

[11] Y. Amemiya, J. Chikawa:<br />

Storage Phosphors<br />

International tables for crystallography (Volume C)<br />

Kluwer academic publishers, London (1992)<br />

[12] M. Mack, W. Parrish:<br />

Seemann-Bohlin X-Ray Diffractometry. II. Comparison of Aberrations and<br />

Intensity with Conventional Diffractometer<br />

Acta Cryst., Band 23 (1967) S. 693ff<br />

[13] A. Segmüller:<br />

[14] G. Kunze:<br />

Die Bestimmung von Glanzwinkeln, Linienbreiten <strong>und</strong> Intensitäten der<br />

Röntgen-Interferenzen mit einem Geiger-Zählrohr-Goniometer nach dem<br />

Seemann-Bohlin-Prinzip<br />

Zeitschrift für Metallk<strong>und</strong>e, Band 48 (1957) S. 448ff<br />

Korrekturen höherer Ordnung für die mit Bragg-Brentano- <strong>und</strong> Seemann-<br />

Bohlin-Systemen gewonnen Meßgrößen<br />

Zeitschrift für angewandte Physik, Band 17 (1964) S. 412ff, S.522ff<br />

[15] G. Brüderl, H. Burzlaff, B. Perdikatsis:<br />

A rotating sample mounting device for a <strong>Guinier</strong> powder diffractometer<br />

J. Appl. Cryst., Band 27 (1994) S. 127f<br />

[16] J. Ihringer, K. Röttger:<br />

A novel monochromator housing with completely shielded beam path from<br />

X-ray source to sample<br />

J. Appl. Cryst., Band 27 (1994) S. 1063ff<br />

[17] G. Caglioti, A. Paoletti, F. P. Ricci:<br />

Choice of collimators for a crystal spectrometer for neutron diffraction<br />

Nuclear Instruments, Band 3 (1958) S. 223ff


Anhang A - 30<br />

[18] L. W. Finger, D. E. Cox, A. P. Jephcoat:<br />

A Correction for Powder Diffraction Peak Asymmetry due to Axial<br />

Divergence<br />

J. Appl. Cryst., Band 27 (1994) S. 892ff<br />

A.6 Liste der verwendeten Programme<br />

[19] GUINKR<br />

[20] Topas<br />

[21] Jade<br />

[22] Rietica<br />

[23] SimRef<br />

Version 1.00/F, Lehrstuhl für Kristallographie <strong>und</strong> Strukturphysik<br />

(Universität Erlangen)<br />

Version 2.0, Bruker AXS (1999)<br />

Release 5.0.26, Materials Data Inc. (1995)<br />

Version 1.71, B. A. Hunter (1997)<br />

Version 2.6, H. Ritter, J. Ihringer, J.K. Maichle <strong>und</strong> W. Prandl<br />

Institut für Kristallographie der Universität Tübingen (1998)<br />

[24] G670 Imaging Plate <strong>Guinier</strong> Camera<br />

Version3.0, Huber Diffraktionstechnik GmbH (1999)<br />

[25] PowderCell<br />

Version 2.3, W.Kraus <strong>und</strong> G. Nolze<br />

Federal Institute for Materials Research and Testing (1999)<br />

Weitere verwendete Programme:<br />

Word 97<br />

Excel 97<br />

Corel Draw 8<br />

Delpi 5<br />

IDL


Zusammenfassung <strong>und</strong> Ausblick 5-2<br />

Unterschied der Fokallinienbreiten der Monochromatoren im Beugungsdiagramm<br />

nicht zeigt. Nach theoretischen Überlegungen sollte der deutlich größere<br />

Durchmesser des Detektionskreises der Bildplatte zu wesentlich kleineren Halbwerts-<br />

breiten als beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer führen. In Kontrast hierzu sind die mit dem<br />

<strong>Guinier</strong>-Diffraktometer gemessenen Halbwertsbreiten kleiner als die mit der Bildplatte<br />

gemessen. Welcher Effekt zu diesen Widersprüchen mit der Theorie führt, wurde<br />

jedoch noch nicht verstanden.<br />

Die Frage, an welchem Monochromator die Bildplatte bzw. das <strong>Guinier</strong>-Diffrak-<br />

tometer aufgestellt werden sollte, läßt sich wie folgt beantworten. Es ergaben sich für<br />

beide Detektoren in Subtraktionsstellung die geringsten Halbwertsbreiten. Daher<br />

sollte die Bildplatte, da sie nur am Germanium-Monochromator (Seite 3) in<br />

Subtraktionsstellung aufgestellt werden kann, an diesem Monochromator verwendet<br />

werden. Hiermit ist auch der Aufstellungsort für das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer festgelegt.<br />

Es sollte am Quartz-Monochromator (Seite 1) in Subtraktionsstellung betrieben<br />

werden.<br />

Der optional für die Bildplatte verfügbare Probenhalter mit Heizaufsatz ist zum einen<br />

durch die verwendete Kapillargeometrie <strong>und</strong> durch die gepulste Heizleistung <strong>und</strong><br />

damit periodisch schwankenden Probentemperatur, die durch Messungen mit einem<br />

Pyrometer belegt werden konnte, nicht zur Aufnahme von Beugungsdiagrammen mit<br />

ausreichender Präzision geeignet.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 2<br />

Dabei wurde die Eindringtiefe t durch die Halbwert-Absorptionslänge ln 2 µ = t<br />

abgeschätzt, wobei für Germanium ein Absorptionskoeffizient µ=361,2cm -1 [05]<br />

bzw. für Quartz ein Absorptionskoeffizient µ=96,3cm -1 [05] angenommen wurde.<br />

Für Cu-Kα1 ist die spektrale Halbwertsbreite nach Hofmann et al. [04] zu<br />

dλ=6·10 -4 Å gegeben. Die Werte für den Anschliffwinkel τ, dem Abstand b=fb<br />

zwischen Kristallmitte <strong>und</strong> Fokallinie, den Monochromatorwinkel θM <strong>und</strong> der<br />

Mosaizität ∆τ sind in Tabelle 3-1 aufgelistet.<br />

- Verbreiterung aufgr<strong>und</strong> der Teilchengröße<br />

Je größer die Zahl der beugenden Netzebenen ist, um so genauer muß die<br />

Beugungsbedingung eingehalten werden, damit es zu einer konstruktiven<br />

Interferenz kommt. Das heißt, daß bei einem kleinen beugenden Kristalliten der<br />

Bereich um einen reziproken Gitterpunkt, innerhalb dessen die Streuamplitude von<br />

Null verschieden ist, größer ist als bei einem großen Kristalliten. Mittels Gleichung<br />

2-34 kann der sich hieraus ergebende Beitrag zur Linienbreite berechnet werden.<br />

Abb.4-1: Linienbreitenbeitrag für verschiedene Teilchengrößen G als Funktion des Beugungswinkels 2θ.<br />

In Abbildung 4-1 ist dieser Beitrag zur Reflexbreite umgerechnet auf den<br />

Winkelbereich ∆2θ über dem Beugungswinkel für verschiedene Teilchengrößen G<br />

aufgetragen. Die aus diesem Beitrag folgende Halbwertsbreite ist unabhängig von<br />

dem Durchmesser des Fokussierkreises.<br />

1 / 2


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 3<br />

- Beitrag durch die Dicke der Probe<br />

Der aus der Dicke der Probe stammende Beitrag zur Linienverbreiterung ist durch<br />

Gleichung 2-32 gegeben <strong>und</strong> in Abbildung 4-2 für eine 100µm dicke Probe als<br />

Abb.4-2: Linienbreitenbeitrag auf Gr<strong>und</strong> der Probendicke <strong>und</strong> der Verwendung einer ebenen<br />

Probengeometrie.<br />

Funktion des Beugungswinkels für die zwei unterschiedlichen Fokussier-<br />

kreisdurchmesser des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> der Bildplatte dargestellt. Die<br />

beiden unteren Linien stellen den aus der Verwendung einer ebenen Proben-<br />

geometrie stammenden, additive Beitrag l∆D für die beiden verschiedenen Öff-<br />

nungswinkel des Germanium- <strong>und</strong> des Quartz-Monochromators dar. Dieser Bei-<br />

trag ist unabhängig vom Fokussierkreisradius. Für beide Beiträge wurde die<br />

Linienbreite auf den entsprechenden Winkelbereich ∆2θ umgerechnet.<br />

- Effekt der chromatischen Dispersion<br />

Als letzter wesentlicher Einfluß auf die Reflexbreite ist die chromatische<br />

Dispersion zu nennen. Ihr Anteil kann nach Gleichung 2-31 berechnet werden <strong>und</strong><br />

ist in Abbildung 4-3 für Additionsstellung <strong>und</strong> Subtraktionsstellung abgebildet. Da<br />

sich die Linienverbreiterung durch die chromatische Dispersion, bezogen auf die<br />

Beiträge der Monochromatoren, nur um einen additiven Betrag von 0,0007°<br />

zwischen dem Germaniumkristall <strong>und</strong> dem Quartzkristall unterscheidet, wurde für


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 4<br />

den Verlauf des Linienbreitenbeitrags beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer nur der Fall für<br />

den Germaniumkristall dargestellt.<br />

Abb.4-3: Chromatische Linienverbreiterung als Funktion des Beugungswinkels;<br />

Verlauf bei Bildplatte grau dargestellt, bei <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer schwarz.<br />

Bei den Linienbreitenbeiträgen der Monochromatoren zeigt sich, daß die<br />

Hauptbeiträge durch die Eindringtiefe, der spektralen Halbwertsbreite der<br />

charakteristischen Linie <strong>und</strong> der Mosaizität hervorgerufen werden. Aufgr<strong>und</strong> des<br />

deutlich kleineren Absorptionsfaktors von Quartz, kann hier die Röntgenstrahlung<br />

weiter in den Kristall eindringen als in Germanium. Dadurch wird die Strahlung an<br />

einer größeren Zahl von Netzebenen gebeugt, was zu einer schärferen Beugungs-<br />

bedingung <strong>und</strong> damit einem kleineren Beitrag lGM durch die lineare Teilchengröße<br />

führt. Andererseits ergibt sich hieraus aber auch eine Vergrößerung des Aus-<br />

gangspunktes der gebeugten Strahlung <strong>und</strong> damit eine größere Linienbreite. Die<br />

Gesamtlinienbreite ist durch die Faltung der einzelnen Beiträge gegeben. Für eine<br />

grobe Abschätzung können die Linienbreitenbeiträge jedoch addiert werden. Bei<br />

einer asymmetrischen Meßgeometrie müssen sie noch mit dem reziproken Kosinus-<br />

wert des Winkels zwischen Primärstrahl <strong>und</strong> Oberflächennormale der Probe multi-<br />

pliziert werden. Damit errechnet sich bei einem Winkel von 45° zwischen Proben-<br />

oberfläche <strong>und</strong> Primärstrahl, für die Linienbreite des Germanium-Monochromators<br />

ein Wert von 0,084mm <strong>und</strong> für den Quartz-Monochromator ein Wert von 0,156mm.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 5<br />

Die Halbwertsbreite des Quartz-Monochromators sollte somit r<strong>und</strong> doppelt so groß<br />

sein wie die des Germanium-Monochromators.<br />

Vergleicht man den Linienbreitenbeitrag der Teilchengröße mit dem, durch die Dicke<br />

der Probe <strong>und</strong> der chromatischen Dispersion gegebenen Beitrag, so ist er erst bei<br />

Teilchengrößen von wenigen µm <strong>und</strong> kleiner relevant.<br />

Aufgr<strong>und</strong> des r<strong>und</strong> 1,6 mal so großen Umfangs des Fokussierkreises der Bildplatte<br />

gegenüber dem des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong>, ist der Einfluß der Probendicke <strong>und</strong> in<br />

Additionsstellung auch der Einfluß der chromatischen Dispersion auf die Halbwerts-<br />

breiten bei der Bildplatte kleiner als beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer. In Additionsstellung<br />

ist die Halbwertsbreite durch die chromatische Dispersion beim <strong>Guinier</strong>-Diffrak-<br />

tometer um 0,005° konstant über dem Beugungswinkel größer als bei der Bildplatte.<br />

Beim Linienbreitenbeitrag durch die Probendicke nimmt der Unterschied in der<br />

Halbwertsbreite zwischen <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong> Bildplatte mit steigendem<br />

Beugungswinkel zu. Für eine Probendicke von 100µm ist bei einem Beugungswinkel<br />

von 100°, der Probendickenbeitrag zur Halbwertsbreite bei der Bildplatte um 0,045°<br />

kleiner. In Subtraktionsstellung ist bei der Bildplatte der Beitrag der chromatischen<br />

Dispersion ab einem Winkel von 29° größer als beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer. Die<br />

Linienverbreiterung durch die chromatische Dispersion an Probe <strong>und</strong> Monochro-<br />

matorkristall kompensiert sich beim <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer bei einem Winkel von<br />

36,5° <strong>und</strong> bei der Bildplatte bereits bei 22,5°.<br />

Nur bei kleinen Beugungswinkeln von 10° <strong>und</strong> weniger, wird die erreichbare<br />

Auflösung fast ausschließlich durch die chromatische Dispersion festgelegt. Bei<br />

größeren Beugungswinkeln wird bei einer Probendicke von 100µm die Reflexbreite in<br />

Additionsstellung fast zu gleichen Teilen durch die chromatische Dispersion <strong>und</strong><br />

durch die Probendicke bestimmt. In der Subtraktionsstellung dominiert immer der<br />

Linienbreitenbeitrag durch die Probendicke. Da sich die Faktoren, die in die<br />

chromatische Reflexverbreiterung eingehen, nicht ändern lassen <strong>und</strong> die<br />

Probendicke einen ebenso starken Einfluß auf die Auflösung hat, sollte stets<br />

versucht werden die Probendicke so gering wie möglich zu halten. Außerdem sollte<br />

die Teilchengröße nicht wesentlich geringer als 10 µm sein, da sonst der zugehörige<br />

Effekt zusätzlich zu einer Begrenzung der erreichbaren Auflösung beiträgt. Im<br />

Vergleich zwischen der Auflösung des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> der Bildplatte läßt<br />

sich bemerken, daß in Additionsstellung die Auflösung der Bildplatte deutlich besser<br />

ist als die des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong>. In Subtraktionsstellung ist die Auflösung


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 6<br />

etwas besser <strong>und</strong> bei hohen Beugungswinkel zumindest gleich. Dies läßt sich auf<br />

den größeren Detektionskreis der Bildplatte gegenüber dem des <strong>Guinier</strong>-Diffrakto-<br />

meters zurückführen.<br />

Neben diesen rein durch das Diffraktometer gegebenen Einflüßen auf die<br />

Reflexbreite, die in der Auflösungs- oder auch Instrumentenfunktion, welche für das<br />

Diffraktometer charakteristisch ist, zusammengefaßt werden, gibt es auch proben-<br />

spezifische Faktoren, die zu einer Linienverbreiterung führen. Daher müssen zur<br />

Ermittlung der Instrumentenfunktion Präparate verwendet werden, deren Beitrag zu<br />

einer Reflexverbreiterung vernachläßigbar ist. Silizium ist beispielsweise eine solche<br />

Substanz. Unter der Annahme <strong>eines</strong> gaußförmigen Reflexprofils, läßt sich nach<br />

Caglioti et al. [17] die Auflösungsfunktion durch den Ausdruck<br />

( FWHM ) = U ⋅ tan θ + V ⋅ tanθ<br />

+ W<br />

2<br />

2<br />

beschreiben. Dabei ist FWHM die Reflexbreite bei der halben Höhe. Die Parameter<br />

U,V <strong>und</strong> W lassen sich mit jedem Rietveld-Programm aus dem Beugungsdiagramm<br />

gewinnen <strong>und</strong> sind für das Diffraktometer charakteristisch.<br />

4.2 Systematische Linienverschiebungen<br />

Neben den Einflüßen auf die Breite der Reflexe ist auch eine systematische<br />

Verschiebung der Reflexlagen durch die Geometrie des <strong>Diffraktometers</strong> möglich. Im<br />

Folgenden soll die mögliche Größenordnung der einzelnen zu einer Verschiebung<br />

führenden Effekte für Bildplatte, <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer <strong>und</strong> dem Quartz- bzw.<br />

Germanium-Monochromator abgeschätzt <strong>und</strong> verglichen werden. Dabei wird wieder<br />

von einer Transmissionsgeometrie ausgegangen.<br />

- Radiale Verschiebung der Probe gegen den Fokussierkreis<br />

Die nach Gleichung 2-35 berechenbare Linienverschiebung durch eine radiale<br />

Verschiebung einer gekrümmten Probe gegenüber dem Fokussierzylinder ist in<br />

Abbildung 4-4 in Einheiten des Winkels θ als Funktion des Beugungswinkel 2θ für<br />

die unterschiedlichen Fokussierkreisdurchmesser der Bildplatte <strong>und</strong> des <strong>Guinier</strong>-<br />

<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> einer Verschiebung um 150µm aufgetragen.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 7<br />

Abb.4-4: Linienverschiebung durch eine radiale Verschiebung der Probe gegenüber dem Fokussierkreis<br />

um 150µm.<br />

- Effekt der ebenen Probe<br />

Durch den Öffnungswinkel ε des konvergent auf die Fokallinie des Mono-<br />

chromators zusammenlaufenden Primärstrahls, ist die Breite des Primärstrahls in<br />

der Fokussierungsebene am Probenort gegeben. Die Verwendung ebener Proben<br />

führt zu einer Reflexlagenverschiebung, die proportional zum Quadrat des<br />

Öffnungswinkels ist <strong>und</strong> durch Gleichung 2-36 bestimmt wird. In Abbildung 4-5 ist<br />

Abb.4-5: Linienverschiebung durch die Verwendung einer ebenen Probe für einen Öffnungswinkel von 1,2°<br />

(Quartz-Monochromator) bzw. 2° (Germanium-Monochromator).


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 8<br />

der Beitrag zur Linienverschiebung über dem Beugungswinkel 2θ für den<br />

verwendeten Quartz- <strong>und</strong> Germanium-Monochromator aufgetragen.<br />

- Einfluß der Probendicke<br />

Aufgr<strong>und</strong> der endlichen Probendicke wird die Strahlung nicht an der bei<br />

entsprechender Justage exakt auf dem Fokussierkreis befindlichen Proben-<br />

oberfläche gebeugt, sondern in verschiedenen Tiefen der Probe, die eine ent-<br />

sprechende radiale Verschiebung gegenüber dem Fokussierkreis aufweisen.<br />

Abbildung 4-6 zeigt den Verlauf der durch Gleichung 2-38 gegebenen<br />

Reflexlagenverschiebung für die Bildplatte <strong>und</strong> dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer bei<br />

Probendicken von 50µm <strong>und</strong> 100µm.<br />

Abb.4-6: Linienverschiebung für eine 50µm bzw. 100µm dicke Probe. Dabei ist die Bildplatte durch die<br />

grauen <strong>und</strong> das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer durch die schwarzen Kurven repräsentiert.<br />

Werden die einzelnen Beiträge verglichen, so ergibt sich aus der radialen<br />

Verschiebung der größte zu einer Verschiebung der Reflexlagen führende Einfluß.<br />

Der Beitrag durch eine ebene Probengeometrie, ist nur für Probendicken von 50µm,<br />

hohen Beugungswinkeln <strong>und</strong>, da der Beitrag proportional zum Quadrat des<br />

Öffnungswinkels ist, nur für den Germanium-Monochromator von der Größenordnung<br />

des Beitrages aus der Probendicke. Neben der Linienverbreiterung durch die<br />

Probendicke, ist wegen der zugehörigen Reflexlagenverschiebung, ein weiterer<br />

Gr<strong>und</strong>, Proben möglichst dünn zu präparieren, gegeben. Dem sind jedoch Grenzen<br />

gesetzt, da bei einer zu geringen Anzahl von Kristalliten <strong>und</strong> der damit


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 9<br />

eingeschränkten Statistik der unterschiedlichen Orientierungen, die gemessenen<br />

Beugungsintensitäten relativ zueinander verschoben sein können. Somit muß vor der<br />

Probenpräparation entschieden werden, ob es mehr auf die Breite <strong>und</strong> exakte Lage<br />

der Reflexe ankommt <strong>und</strong> deshalb die Probe dementsprechend dünn präpariert wird<br />

oder ob das Verhältnis der Intensitäten zueinander richtig sein soll <strong>und</strong> dafür eine<br />

größere Pulvermenge aufgetragen wird. Zusätzlich sollte die Probe permanent<br />

während der Messung bewegt werden. Die wesentlichsten Beiträge zur Verschie-<br />

bung der Reflexlagen sind umgekehrt proportional zum Radius des Fokussierkreises.<br />

Wegen der geringeren Reflexlagenverschiebung <strong>und</strong> der geringeren Linienverbrei-<br />

terung ist der größere Detektionskreis der Bildplatte vorteilhaft.<br />

4.3 Vergleich der Monochromatoren<br />

Mit dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer wurden an beiden Monochromatoren Scans des<br />

Primärstrahls bei zwei verschiedenen Schlitzbreiten der Detektorblende durchgeführt.<br />

Ein 2mm dickes Aluminiumblech schwächte den Strahl zum Schutz des Detektors<br />

ab. Die Messungen wurden ohne die sonst üblicherweise vor dem Probenhalter<br />

eingesetzte Soller- <strong>und</strong> Primärstrahlblende durchgeführt, um den Strahl nicht<br />

zusätzlich zu beeinflussen. In Abbildung 4-7 sind die Scans zusammengefaßt. Zur<br />

Bestimmung der Fokallinienbreite wurden die gemessenen Reflexe mit dem<br />

Programm „Topas“ [20] mit einer geteilten Pseudo-Voigt-Funktion als Reflexprofil<br />

Abb.4-7: Scans des Primärstrahls an beiden Monochromatoren bei zwei unterschiedlichen Schlitzbreiten der<br />

Detektorblende am Szintillationszähler.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 10<br />

Tab.4-2: Ermittelte Halbwerts- <strong>und</strong> Linienbreiten für Seite 1 mit Quartz-Monochromator <strong>und</strong> Seite 3 mit<br />

Germanium-Monochromator für verschiedene Schlitzbreiten der Detektorblende<br />

Monochromator Schlitzbreite [µm] FWHM [°] Linienbreite [mm]<br />

Quartz<br />

60<br />

100<br />

0,163±0,0054<br />

0,179±0,0052<br />

0,326±0,011<br />

0,358±0,010<br />

Germanium<br />

60<br />

100<br />

0,065±0,0064<br />

0,067±0,0036<br />

0,130±0,013<br />

0,134±0,007<br />

gefittet <strong>und</strong> die ermittelten Halbwertsbreiten über den Umfang des Fokussierkreises<br />

auf die zugehörige Linienbreite umgerechnet. Tabelle 4-2 listet die ermittelten Werte<br />

auf. Für die Linienbreite des Quartz-Monochromators ergibt sich ein Mittelwert von<br />

0,342mm <strong>und</strong> für den Germanium-Monochromator ein Wert von 0,132mm. Damit ist<br />

die Fokallinie des Quartz-Monochromators 2,6 mal breiter als die des Germanium-<br />

Monochromators. Nach einer Abschätzung sollte sie doppelt so breit sein. Die<br />

Abweichung vom theoretischen Verhältnis der beiden Linienbreiten läßt sich zum<br />

einen darauf zurückführen, daß die stärkere Asymmetrie des Quartz-Monochromator<br />

Reflexes die ermittelte Halbwertsbreite etwas verfälscht <strong>und</strong> die Justage dieses<br />

Monochromators möglicherweise nicht so gut ist wie die des Germanium-Mono-<br />

chromators. Damit ließe sich auch die stärkere Asymmetrie erklären. Die<br />

gemessenen Fokallinienbreiten beider Monochromatoren sind r<strong>und</strong> doppelt so groß<br />

wie die theoretisch erwarteten. Diese Diskrepanz läßt sich darauf zurückführen, daß<br />

zur Abschätzung die Linienbreitenbeiträge addiert <strong>und</strong> nicht gefaltet wurden.<br />

Außerdem werden auch Linienverbreiterungen durch Ungenauigkeiten im<br />

Bearbeitungs- <strong>und</strong> Biegeprozeß sowie Wachstumsfehler im Kristall hervorgerufen,<br />

worauf bereits Hofmann et al. [04] hinwies.<br />

4.4 Das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer mit Szintillationszähler<br />

Zur Messung der gebeugten Intensitäten dient ein <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer mit<br />

Szintillationszähler. Dieses ist in Abbildung 4-8 zu sehen, die außerdem über die<br />

Position der Blenden informiert. Über eine Sollerblende <strong>und</strong> einen anschließenden<br />

Blendeneinsatz, für den Schlitzbreiten von 0,5 , 1, 2, 3 <strong>und</strong> 4 mm vorhanden sind,<br />

gelangt die Strahlung auf die Probe. Von dieser gebeugt, erreicht die Strahlung über<br />

eine kontinuierlich einstellbare Feinschlitzblende mit einer Skaleneinteilung von<br />

20µm <strong>und</strong> einer weiteren Sollerblende den NaJ-Kristall im Detektorgehäuse. Ein<br />

unter dem Zentrum der Probe drehbar gelagerter Stab, führt die Detektorblende <strong>und</strong>


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 11<br />

Abb.4-8: <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer auf Seite 3 in Additionsstellung mit aufgesetzter Probe <strong>und</strong> Strahlrohr<br />

zwischen Probenhalter <strong>und</strong> Monochromator.<br />

den dahinterliegenden Szintillationszähler so, daß sie immer auf die Probenmitte<br />

weisen. Zur Vergrößerung der statistischen Verteilung der Orientierung der Kristallite<br />

kann die Probe in einer Ebene senkrecht zum Primärstrahl gedreht werden (Burzlaff<br />

et al. [15]). Die beiden Eintrittsfenster für den Primärstrahl lassen nur eine asym-<br />

metrische Beugungsgeometrie zu. Damit kann das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer auf den<br />

beiden Justierbasen am Quartz-Monochromator auf Seite 1 des Röhrengehäuses<br />

bzw. am Germanium-Monochromator auf Seite 3 des Röhrengehäuses, jeweils in<br />

Additions- <strong>und</strong> Subtraktionsstellung aufgestellt werden.<br />

Durch die Luftabsorption <strong>und</strong> der 2θ abhängigen Streckenlänge zwischen Probe <strong>und</strong><br />

Detektor, sind die gemessenen Intensitäten nicht direkt miteinander vergleichbar.<br />

Über Gleichung 2-19 ist jedoch eine mathematische Korrektur der Intensitäten<br />

möglich. Abbildung 4-9 zeigt ein Beugungsdiagramm von Silizium vor <strong>und</strong> nach der<br />

Absorptionskorrektur. Um die Übersichtlichkeit der Darstellung zu erhöhen, wurde<br />

das korrigierte Beugungsbild um 1° zu höheren Beugungswinkeln verschoben. Auf<br />

der Sek<strong>und</strong>ärachse ist das Verhältnis aus den Intensitäten nach <strong>und</strong> vor der<br />

Korrektur über dem Beugungswinkel aufgetragen. Die gemessene Intensität <strong>eines</strong><br />

Reflexes unter 45° beträgt 96% der Intensität <strong>eines</strong> gleich stark gebeugten Reflexes<br />

unter 90°, so daß eine entsprechende Absorptionskorrektur sinnvoll ist. Mit einem<br />

hierfür geschriebenen Programm, kann die Korrektur leicht vorgenommen werden.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 12<br />

Abb.4-9: Beugungsdiagramm von Silizium vor (schwarz) <strong>und</strong> nach (grau) Absorptionskorrektur. Auf der<br />

Sek<strong>und</strong>ärachse ist das Verhältnis der Intensitäten nach <strong>und</strong> vor der Korrektur aufgetragen.<br />

Um den Einfluß der Schlitzbreite von der Detektorblende auf Halbwertsbreite <strong>und</strong><br />

Intensität der Beugungsreflexe zu sehen, wurde das Quartz-Triplett, bestehend aus<br />

den Reflexen 122, 023 <strong>und</strong> 301 mit verschiedenen Schlitzbreiten aufgenommen. Die<br />

Messungen wurden, wie alle folgenden, bei einem Röhrenstrom von 35mA <strong>und</strong> einer<br />

Abb.4-10: Einfluß der Schlitzbreite der Detektorblende auf die Reflexbreite <strong>und</strong> die Intensität.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 13<br />

Spannung von 40kV durchgeführt. Hierbei wurden die gemessenen Intensitäten pro<br />

Schritt 4 Sek<strong>und</strong>en lang aufintegriert. Die Schrittweite betrug 0,002°. Die einzelnen<br />

Scans sind in Abbildung 4-10 zusammengefaßt. An den Messungen zeigt sich die<br />

vollständige Trennung der Wellenlängen Kα1 <strong>und</strong> Kα2, welche sonst ein Quintuplett<br />

an Beugungsreflexen ergeben würden. Mit zunehmender Öffnungsbreite der Blende<br />

nimmt die gemessene Intensität zu. Jedoch vergrößert sich auch die Reflexbreite.<br />

Bei Schlitzbreiten von 160µm <strong>und</strong> größer gehen die Reflexe 122 <strong>und</strong> 023 direkt<br />

ineinander über. Schlitzbreiten unter 120µm sind auf Gr<strong>und</strong> der entsprechend stark<br />

verkleinerten Intensitäten wenig sinnvoll. Für die nachfolgenden Messungen wurde<br />

eine Schlitzbreite von 120 µm gewählt, die einen guten Kompromiß zwischen<br />

Intensität <strong>und</strong> Reflexverbreiterung darstellt.<br />

Der Einfluß auf Breite <strong>und</strong> Intensität der Beugungsreflexe durch den zwischen<br />

zwischen Sollerblende <strong>und</strong> Probe einschiebbaren Blendeneinsatz wurde ebenfalls<br />

untersucht. Zur Auswahl kamen der 111-Reflex <strong>und</strong> der 422-Reflex von Silizium, da<br />

sie eine hohe Beugungsintensität besitzen <strong>und</strong> im niedrigeren bzw. hohen<br />

Beugungswinkelbereich liegen. Die zugehörigen Messungen erfolgten auf Seite 3 in<br />

Additionsstellung. Bei jeder Blendenbreite wurden die Reflexe jeweils sechs mal<br />

gescannt <strong>und</strong> Integralintensität <strong>und</strong> Halbwertsbreite bestimmt, deren Mittelwerte in<br />

Abbildung 4-11 <strong>und</strong> 4-12 über der Schlitzbreite aufgetragen sind. Die zugehörigen<br />

Profilfits wurden mit dem Programm „Jade“ [21] durchgeführt, wobei eine Pearson-VII<br />

Funktion als Reflexprofil angenommen wurde. Mit der Schlitzbreite des<br />

Abb.4-11: Intensität <strong>und</strong> Halbwertsbreite des Silizium 111-Reflexes bei verschiedenen Schlitzbreiten der<br />

Primärstrahlblende.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 14<br />

Abb.4-12: Intensität <strong>und</strong> Halbwertsbreite des Silizium 422-Reflexes bei verschiedenen Schlitzbreiten der<br />

Primärstrahlblende.<br />

Blendeneinsatzes variiert die Größe des Primärstrahls auf der Probe. Damit wird<br />

auch die maximale Abweichung der ebenen Probe vom gekrümmten Fokussierkreis<br />

geändert, so daß sich im wesentlichen der Effekt einer Linienverbreiterung durch die<br />

Verwendung einer ebenen Probe zeigen sollte. Beim Übergang von einer 1,5mm zu<br />

einer 4mm-Blende vergrößert sich die Reflexbreite im Fall des 111-Reflex um 0,007°<br />

<strong>und</strong> im Fall des 422-Reflex um 0,013°. Das entspricht einer Änderung um 8% bzw.<br />

11% gegenüber der jeweils kleinsten gemessenen Halbwertsbreite. Die Intensität<br />

nimmt zu größeren Schlitzbreiten zu <strong>und</strong> sättigt gegen die 4mm-Blende, deren<br />

Öffnung so groß wie die der Sollerblende ist. Die Wahl der Primärstrahlblende<br />

begrenzt sich somit auf eine 1 bis 1,5mm Blende für Messungen, bei denen die<br />

Halbwertsbreite von größter Wichtigkeit ist oder eine 4mm-Blende bzw. keiner zu-<br />

sätzlichen Begrenzung des Primärstrahls, für schwach beugende Präparate, bei<br />

denen der Strahl möglichst intensiv sein soll.<br />

Um die optimalste Aufstellungsposition des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> zu finden, wurde<br />

es an beiden Monochromatoren sowohl in Additions- als auch Subtraktionsstellung<br />

aufgestellt <strong>und</strong> ein Beugungsdiagramm von Silizium <strong>und</strong> Zinkoxid aufgenommen. Bei<br />

diesen Messungen kam eine 4mm-Blende zwischen Sollerblende <strong>und</strong> Probe zum<br />

Einsatz. Die Schlitzbreite der Detektorblende betrug 120µm <strong>und</strong> die Mikrometer-<br />

schraube, mit der sich die Position der Probe relativ zum Detektorkreis einstellen


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 15<br />

läßt, war auf den Wert 9,14 eingestellt. Bei einer Schrittweite von 0,008° wurde die<br />

gebeugte Intensität jeweils 5 Sek<strong>und</strong>en aufintegriert. Anschließend wurden die<br />

Beugungsdiagramme bezüglich Absorption korrigiert <strong>und</strong> mit dem Programm<br />

„Rietica“ [22] eine Verfeinerung der Strukturdaten durchgeführt. Jedoch ergaben sich<br />

hierbei keine so guten Fits der Reflexprofile, als daß sich die ermittelten<br />

Halbwertsbreiten nur bezüglich der unterschiedlichen Aufstellungsorte des <strong>Guinier</strong>-<br />

<strong>Diffraktometers</strong> vergleichen ließen. Zum einen stimmten die Lagen der gemessenen<br />

Reflexe nicht mit den Positionen überein, die Silizium als Eichstandard haben sollte.<br />

Zum anderen wurden die Höhen der gemessenen Reflexe nicht durch das<br />

berechnete Beugungsprofil beschrieben, so daß die berechneten Reflexbreiten bei<br />

halber Höhe (FWHM) nicht die gemessenen repräsentierten. Aus diesem Gr<strong>und</strong>e<br />

wurden die Halbwertsbreiten der Silizium-Messungen mit dem Programm „Topas“<br />

[20] durch Einzelfits der Reflexe ermittelt <strong>und</strong> anschließend durch einen<br />

polynomischen Fit der Quadrate der Halbwertsbreiten in Abhängigkeit vom Tangens<br />

des Beugungswinkels die Parameter der Caglioti-Funktion bestimmt. Die Ergebnisse<br />

für die Halbwertsbreiten sind in Abbildung 4-13 <strong>und</strong> 4-14 dargestellt. Tabelle 4-3 listet<br />

die gefitteten Parameter U,V <strong>und</strong> W der Caglioti-Funktion auf. Entgegen der<br />

Erwartung, daß die Halbwertsbreiten auf Seite 3 wegen der deutlich geringeren<br />

Fokallinienbreite des Germanium-Monochromators kleiner sein sollten als auf Seite 1<br />

Abb.4-13: Auf Seite 1 (Quartz-Monochromator) gemessene Halbwertsbreiten der Siliziumreflexe.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 16<br />

Abb.4-14: Auf Seite 3 (Germanium-Monochromator) gemessene Halbwertsbreiten der Siliziumreflexe.<br />

mit Quartz-Monochromator, zeigt die Messung, daß die Reflexbreiten auf Seite 3<br />

größer sind. Auch zeigt es sich, daß der Effekt der chromatischen Dispersion auf<br />

Seite 3 ausgeprägter in Erscheinung tritt, da sich hier die in Additionsstellung<br />

gemessenen Halbwertsbreiten gegenüber denen in Subtraktionsstellung gemes-<br />

senen stärker unterscheiden als auf Seite 1, wie an den U,V <strong>und</strong> W–Werten in<br />

Tabelle 4-3 zu erkennen ist. Welcher Einfluß zu diesen, in Kontrast zur Theorie<br />

stehenden, Meßergebnissen führt, konnte bisher noch nicht festgestellt werden. Auf<br />

beiden Seiten des <strong>Diffraktometers</strong> sind die Halbwertsbreiten in Subtraktionsstellung<br />

deutlich, d.h. auf Seite 1 r<strong>und</strong> 0,01° <strong>und</strong> auf Seite 3 r<strong>und</strong> 0,02°, kleiner als in<br />

Additionsstellung. Somit ist eine, bezüglich der chromatischen Dispersion, subtraktive<br />

Meßgeometrie auf jeden Fall vorzuziehen.<br />

Tab.4-3: Gefittete Parameter U,V,W der Caglioti-Funktion<br />

Seite 1<br />

Seite 3<br />

U V W<br />

Additionsstellung 0,020 -0,012 0,0096<br />

Subtraktionsstellung 0,022 -0,017 0,0095<br />

Additionsstellung 0,028 -0,019 0,0145<br />

Subtraktionsstellung 0,035 -0,030 0,0127<br />

Um eine systematische Reflexlagenverschiebung <strong>und</strong> deren Ursache zu erkennen,<br />

wurde die Differenz aus den Einzelfits der Siliziumreflexe bestimmten Reflexlagen<br />

<strong>und</strong> den in der Tabelle 4-4 aufgelisteten Lagen gebildet, die sich aus den Gitterpara-


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 17<br />

Tab.4-4: Pulverdaten von Silizium (nach PowderCell [24])<br />

Raumgruppe: Fd3m (227)<br />

Gitterparameter: 5.4308Å<br />

HKL 2θ [°] HKL 2θ [°]<br />

111 28,443 400 69,132<br />

220 47,304 331 76,378<br />

311 56,124 422 88,033<br />

222 58,858 511,333 94,955<br />

metern von Silizium berechnen lassen. Damit die Verschiebungen bezüglich des<br />

Aufstellungsortes des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> besser vergleichbar sind, wurde eine<br />

mögliche konstante Nullpunktsverschiebung dadurch ausgeglichen, daß die Lage<br />

des 111-Reflexes als korrekt angenommen wurde. In Abbildung 4-15 sind die<br />

errechneten Differenzen ∆2θ in Grad über dem Beugungswinkel 2θ aufgetragen. Die<br />

Abweichung von der erwarteten theoretischen Reflexlagen sind bei allen vier<br />

Aufstellungspositionen gleich groß <strong>und</strong> nehmen mit dem Beugungswinkel 2θ zu. Auf<br />

Gr<strong>und</strong> der großen Abweichung von bis zu 0,27° in 2θ, ist die Verschiebung mehr auf<br />

eine radiale Verschiebung der Probe gegenüber dem Fokussierkreis zurückzuführen<br />

Abb.4-15: Abweichung ∆2θ von der erwarteten theoretischen Reflexlage als Funktion des<br />

Beugungswinkels 2θ.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 18<br />

als auf einen Einfluß durch die ebene Probengeometrie oder die Probendicke.<br />

Vergleicht man die Größe der Abweichung mit der in Abbildung 4-4 dargestellten<br />

Verschiebung für einen 150µm großen radialen Positionsfehler, so dürfte die Probe<br />

um eine Strecke der Größenordnung 200µm bis 300µm vom Fokussierkreis ver-<br />

schoben sein.<br />

Zur Überprüfung, daß es sich bei der gemessenen Abweichung wirklich um eine<br />

radiale Verschiebung handelt, wurde der 422-Reflex von Silizium bei verschiedenen<br />

Einstellungen der Mikrometerschraube des Probenhalters, über die sich der Abstand<br />

zwischen Detektionskreis <strong>und</strong> Probe variieren läßt, gemessen. Um die Winkel<br />

absolut zu bestimmen, wurde neben dem Reflex auch stets ein Scan des Primär-<br />

strahls durchgeführt. Dabei befand sich das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer auf Seite 3 in<br />

additiver Stellung bezüglich der chromatischen Dispersion. In Abbildung 4-16 ist das<br />

Ergebnis dieser Meßreihe als Differenz ∆2θ zwischen der gemessenen <strong>und</strong> der<br />

erwarteten theoretischen Reflexlage über der Einstellung an der Mikrometerschraube<br />

aufgetragen. Bei einer Einstellung von 8,95mm ergibt sich ein Nulldurchgang des<br />

Kurvenverlaufs. Unterhalb von 8,95mm war der gemessene Beugungswinkel kleiner<br />

als die Referenz <strong>und</strong> oberhalb zu groß. Dies kann so interpretiert werden, daß<br />

unterhalb der Einstellung von 8,95mm die Probenoberfläche innerhalb des<br />

Fokussierkreises ist <strong>und</strong> bei 8,95mm den Kreis verläßt. Zur Verifikation, daß die neue<br />

Abb.4-16: Differenz ∆2θ der gemessene Reflexlage des 422-Reflexes von der erwarteten theoretischen<br />

Lage in Abhängigkeit Einstellung der Mikrometerschraube am Probenhalter


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 19<br />

Einstellung des Probenhalters auch die Verschiebung der restlichen Reflexe<br />

verringert, wurde das gesamte Beugungsdiagramm aufgenommen <strong>und</strong> wieder über<br />

Einzelfits die Reflexlagen bestimmt. Abbildung 4-17 zeigt die Abweichung ∆2θ der<br />

gemessenen Reflexlagen von der erwarteten theoretischen Lage für die beiden<br />

Einstellungen 9,14mm <strong>und</strong> 8,95mm der Mikrometerschraube des Probenhalters. Bei<br />

der Einstellung 8,95mm sind die Abweichung um eine Zehnerpotenz geringer als bei<br />

der Einstellung 9,14mm. Die restliche Verschiebung dürfte auf die Verwendung einer<br />

ebenen Probengeometrie <strong>und</strong> die Probendicke zurückzuführen sein. Beide Effekte<br />

sind jedoch nur schwer zu verringern, so daß der restliche Anteil der Verschiebung<br />

bei der Auswertung der Beugungsdiagramme berücksichtigt werden muß. Das<br />

Programm „SimRef“ [23] bietet hierfür die Möglichkeit, in der 2θ-Skala eine<br />

geräteabhängige Verschiebung über ein Polynom zweiten Grades zu modellieren.<br />

Daher wurde die bei einer Einstellung von 8,95mm gemessene Reflexlagen-<br />

verschiebung mit einem entsprechenden Polynom gefittet. Dabei ergaben sich<br />

folgende Werte für die Parameter:<br />

t0=9,14·10 -3 , t1=1,81·10 -3 , t2=2,30·10 -5 ,<br />

über die die Korrektur der Reflexlagen in die Verfeinerung mit „SimRef“ einfließen<br />

kann.<br />

Abb.4-17: Differenz ∆2θ der gemessenen Reflexlage von der erwarteten theoretischen Lage für zwei<br />

verschiedene Abstände der Probe vom Fokussierkreis. Die Einstellung 9,14mm wird durch<br />

Dreiecke repräsentiert <strong>und</strong> ist auf der Sek<strong>und</strong>ärachse aufgetragen. Vierecke repräsentieren die<br />

Einstellungen 8,95mm <strong>und</strong> sind auf der primären Y-Achse aufgetragen.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 20<br />

Auch bei den Messungen von Zinkoxid zeigten sich Verschiebungen in den<br />

Reflexlagen, deren Ursprung nicht zweifelsfrei auf fehlerhafte Einstellungen an den<br />

Komponenten des <strong>Diffraktometers</strong> zurückgeführt werden konnte, so daß auf eine<br />

nähere Auswertung der Meßdaten von Zinkoxid zur <strong>Charakterisierung</strong> des<br />

<strong>Diffraktometers</strong> verzichtet wurde.<br />

Des weiteren wurde der Einfluß der zwischen Detektorblende <strong>und</strong> Szintillationskristall<br />

befindlichen Sollerblende auf den Strahlengang untersucht. Hierfür wurde ein Scan<br />

des Silizium 111-Reflex einmal mit <strong>und</strong> einmal ohne diese zusätzliche Sollerblende<br />

durchgeführt. Durch die Blende wird die gemessene Intensität halbiert. Jedoch sorgt<br />

sie auch für ein wesentlich symmetrischeres Reflexprofil, wie in Abbildung 4-18 zu<br />

sehen ist, <strong>und</strong> für eine Verringerung der Halbwertsbreiten. Bei der Messung des<br />

Reflexes ohne Sollerblende ergab sich eine Halbwertsbreite FWHM von 0,130° <strong>und</strong><br />

mit Blende eine Halbwertsbreite von 0,097°. Zusätzlich zeigt sich eine leichte<br />

Schwerpunktsverschiebung.<br />

Abb.4-18: Scan des 111-Reflexes von Silizium einmal mit Sollerblende vor dem Detektor <strong>und</strong> einmal ohne<br />

Sollerblende. Zum besseren Vergleich der Profilformen wurden die Intensitäten auf Eins<br />

normiert.<br />

Schließlich wurde das <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer in seiner endgültigen Position am<br />

Quartz-Monochromator in Subtraktionsstellung aufgestellt. Bei einer Einstellung von<br />

8,95mm an der Mikrometerschraube am Probenhalter wurde ein Beugungsdiagramm<br />

von Silizium aufgenommen. Mit dem Programm „SimRef“ [23] wurde eine Reitveld-


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 21<br />

verfeinerung durchgeführt, dabei der Gitterparameter von 5,4308Å festgehalten <strong>und</strong><br />

die Reflexlage nur über die Parameter t0 bis t2 angepaßt. Das Reflexprofil wurde mit<br />

einer asymmetrischen Pseudo-Voigt-Funktion nach Finger et al. [18] modelliert,<br />

wobei das Verhältnis S/L aus Probengröße zum Abstand Probe-Detektor <strong>und</strong> das<br />

Verhältnis H/L aus Größe der Detektorblende zu diesem Abstand verfeinert wurde.<br />

Abbildung 4-19 zeigt gemessenes <strong>und</strong> berechnetes Beugungsdiagramm <strong>und</strong> den<br />

zugehörigen Differenzplot. Tabelle 4-5 listet die verfeinerten Parameter auf. Der<br />

lineare Anteil t0 der 2θ-Skala Korrektur weist auf einen Nulldurchgang der<br />

Reflexlagenverschiebung hin. Reflexe unter einem Beugungswinkel 2θ von 70° sind<br />

zu kleineren Beugungswinkeln verschoben, wohingegen Reflexe über 70° zu<br />

größeren Winkeln verschoben sind. Insgesamt ist die Verschiebung der Reflexlagen<br />

sogar kleiner als bei entsprechender Messung auf Seite 1. Der Wert für den<br />

gewichteten Profilübereinstimmungsindex RWP liegt unter dem Erwartungswert RExp.<br />

Abb.4-19: Verfeinertes Beugungsdiagramm von Silizium. Der Differenzplot wird durch die untere Kurve<br />

repräsentiert.<br />

Dies dürfte sich auf die, im Verhältnis zur Zahl der Meßwerte innerhalb der<br />

Beugungsreflexe, viel zu große Zahl an Meßpunkten im Untergr<strong>und</strong> zurückführen<br />

lassen, was sich durch eine größere Schrittweite etwas verbessern läßt. Da, wie der<br />

Differenzplot zeigt, berechnete <strong>und</strong> gemessene Intensitäten über den gesamten<br />

Beugungswinkelbereich nicht vollkommen übereinstimmen, war die statistische<br />

Verteilung an unterschiedlichen Orientierungen der Kristallite zu klein. Eine größere


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 22<br />

Menge an Probenmaterial würde dies verbessern, jedoch vergrößert sich dadurch<br />

auch der Probendickefehler.<br />

Tab.4-5: Verfeinerte Parameter <strong>und</strong> Güte des Fits<br />

t0 t1 t2<br />

-0,0103±0,00277 4,901·10 -4 ±1,433·10 -4<br />

-4,328·10 -5 ±1,692·10 -5<br />

U V W<br />

0,01685±0,00508 -0,00432±0,00390 0,00392±0,00068<br />

S/L H/L<br />

0,0196 0,01818<br />

RWP RExp GOF<br />

5,38 23,84 0,23<br />

4.5 <strong>Charakterisierung</strong> der Bildplatte<br />

Beim Auslesevorgang der Bildplatte werden durch ein intensives rotes Laserlicht,<br />

Elektronen auf Energieniveaus der Farbzentren zu photostimulierter Lumineszenz<br />

angeregt. Dabei werden Photonen mit einer Wellenlänge λ von 390nm emittiert, die<br />

über einen Photomultiplier, dessen maximale spektrale Empfindlichkeit dieser<br />

Wellenlänge angepaßt ist, detektiert. Da dieser Wellenlängenbereich im sichtbaren<br />

Spektrum liegt, muß der Innenraum der Bildplatte mit dem darin befindlichen<br />

Auslesemechanismus <strong>und</strong> der Phosphorschicht vollkommen lichtdicht sein, da sonst<br />

durch das wesentlich intensivere Tageslicht so viele Elektronen aus der Photoschicht<br />

ausgelöst werden daß durch den sich ergebenden Strom der Photomultiplier zerstört<br />

wird. Aus diesem Gr<strong>und</strong> gelangt die gebeugte Röntgenstrahlung über ein schwarzes<br />

möglichst schwach absorbierendes<br />

Schutzfenster in das Innere der Bild-<br />

platte. Bei dem im Diffraktometer verwen-<br />

deten Bildplattenmodel G670 der Firma<br />

„Huber“, besteht dieses Schutzfenster<br />

aus einer lichtdichten, schwarzen Pappe<br />

<strong>und</strong> einer Kapton-Folie. Durch die Folie<br />

wird der Innenteil der Bildplatte luftdicht<br />

<strong>und</strong> kann zur Verringerung der<br />

Absorption evakuiert werden. Bei der<br />

hierfür eingesetzten Vakuumpumpe<br />

Abb.4-20: Übersicht über die einzelnen<br />

Streckenabschnitte; alle<br />

Zahlenangaben in mm.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 23<br />

Divac 2.2 von Leybold, beträgt der Druck im Inneren der Bildplatte, nach einer<br />

Pumpzeit von 10 min, weniger als 10 mbar. Der Weg zwischen beugendem Präparat<br />

<strong>und</strong> der detektierenden Schicht teilt sich dann, wie in Abbildung 4-20 dargestellt, in<br />

mehrere Abschnitte mit unterschiedlich starker Absorption von Röntgenstrahlung auf.<br />

Tabelle 4-6 informiert über die Absorptionskoeffizienten µ <strong>und</strong> den Weglängen der<br />

einzelnen Abschnitte.<br />

Tab. 4-6: Abstand zwischen Präparat <strong>und</strong> Schutzfenster; Dicke des Fensters <strong>und</strong> dazugehörige Absorptionskoeffizienten<br />

µ für CuKα1-Strahlung nach Herstellerangaben; resultierende Streckenlänge für die<br />

gebeugte Strahlung<br />

Dicke [mm] µ [mm -1 ] Streckenlänge [mm]<br />

Außenraum 23 0,001 23 cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

)<br />

Pappe 0,2 0,81 0, 2 cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

)<br />

Kapton-Folie 0,08 0,77 0, 08 cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

)<br />

Innenraum - - 180 * cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

) − 23 cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

)<br />

Bei einem mit Luft gefüllten Innenraum ergibt sich damit folgender Zusammenhang<br />

zwischen der auf der Phosphorschicht auftreffenden Intensität IMeß <strong>und</strong> der an der<br />

Probe gebeugten Intensität IProbe<br />

[ − 0,<br />

18 * cos(<br />

45°<br />

− 2θ<br />

) − 0,<br />

2236 / cos ( 45°<br />

− 2θ<br />

) ]<br />

I Meß = I Pr obe ⋅ exp<br />

(Gl. 4-1)<br />

Ist der Innenteil der Bildplatte evakuiert, so gilt:<br />

[ − 0,<br />

2466 / cos ( 45°<br />

− 2θ<br />

) ]<br />

I Meß = I Pr obe ⋅ exp<br />

(Gl. 4-2)<br />

In Abbildung 4-21 ist das Verhältnis aus gemessener Intensität IMeß <strong>und</strong> gebeugter<br />

Intensität IProbe über dem Beugungswinkel 2θ für die Fälle <strong>eines</strong> mit Luft gefüllten<br />

bzw. evakuierten Innenraums der Bildplatte dargestellt. Zum Vergleich ist zusätzlich<br />

das Verhältnis IMeß/IProbe bei reiner Luftabsorption für einen Detektionskreis mit 180<br />

mm Durchmesser, was einer Bildplatte ohne Schutzfenster entsprechen würde,<br />

dargestellt. Wird das Intensitätsverhältnis bei evakuiertem Innenraum mit dem für<br />

reine Luftabsorption verglichen, so werden bei einem Beugungswinkel von<br />

beispielsweise 45°, evakuierter Bildplatte <strong>und</strong> reiner Luftabsorption r<strong>und</strong> 93% der<br />

Intensität gemessen. Unter einem Beugungswinkel von 90° sind es nur noch 80%. Ist<br />

der Innenraum der Bildplatte mit Luft gefüllt, verschlechtert sich dies auf 80% bei 45°<br />

bzw. 73% bei einem Winkel von 90°. Jedoch ist bei einer mit Luft gefüllten Bildplatte<br />

die Intensität unter 90° gegenüber der Intensität bei 45° nur um 4% kleiner, während


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 24<br />

Abb.4-21: IMeß zu IProbe aufgetragen über dem Beugungswinkel 2θ, dabei:<br />

1 – Luftabsorption bei einem Fokussierkreis von 180 mm Durchmessern<br />

2 – Innenraum evakuiert<br />

3 – Innenraum der Bildplatte mit Luft gefüllt.<br />

sie bei evakuierter Bildplatte um 10% geringer ist. Dies läßt sich auf die starke<br />

Absorption innerhalb des Schutzfensters zurückführen. Bei einem Beugungswinkel<br />

von 45° ist der Weg durch den luftgefüllten Innenraum <strong>und</strong> den Außenraum um<br />

53mm länger als bei einem Beugungswinkel von 90°. Dagegen ist die Strecke durch<br />

das 280µm dicke, gegenüber Luft stark absorbierende Schutzfenster unter 90° auf<br />

r<strong>und</strong> 400µm angewachsen, wodurch die Gesamtabsorption auf dem Weg zwischen<br />

Probe <strong>und</strong> detektierender Schicht für beiden Beugungswinkel fast gleich ist. Damit<br />

lassen sich bei einem mit Luft gefüllten Innenraum die gemessenen Intensitäten<br />

relativ zueinander etwas besser vergleichen als bei einer evakuierten Bildplatte.<br />

Durch die Evakuierung des Innenraums der Bildplatte wird die Winkelabhängigkeit<br />

der Absorption größer aber auch Intensität gewonnen. Die Gleichungen 4-1 <strong>und</strong> 4-2<br />

gestatten eine mathematische Korrektur der gemessenen Intensitäten. Um diese<br />

Korrektur schnell durchführen zu können, wurde ein Programm geschrieben, dessen<br />

Quelltext dem Anhang beigefügt ist.<br />

Bildplatten sind durch ihre Funktionsweise nicht energieselektiv, wodurch sie für<br />

jegliche Art von Streustrahlung empfindlich sind. In Durchstrahlgeometrie ergibt sich<br />

damit neben der Forderung einer möglichst geringen Absorption des Primärstrahls<br />

durch den Probenträger auch die Forderung, daß dieser wenig streut. Verschiedene<br />

Probenträger wurden diesbezüglich auf ihre Verwendbarkeit überprüft.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 25<br />

Abbildung 4-22 ist eine Zusammenfassung der gemessenen Beugungsdiagramme,<br />

die bei einer Belichtungszeit von sechs Minuten, einem Röhrenstrom von 35mA <strong>und</strong><br />

einer Röhrenspannung von 40kV aufgenommen wurden. Hierbei befand sich<br />

zwischen Monochromator <strong>und</strong> Probe nur eine Sollerblende im Primärstrahl. Die<br />

Abb.4-22: Ausschnitte aus den Beugungsdiagrammen verschiedener Probenträger.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 26<br />

Bildplatte wurde jeweils dreimal ausgelesen, wobei der „ADC-Gain“ auf 2,5V<br />

eingestellt war. Zwischen den Messungen wurde die Bildplatte 15 Sek<strong>und</strong>en lang<br />

gelöscht. Ein Vergleich der Beugungsbilder der verschiedenen Probenträger zeigt,<br />

daß Mylar-Folie von den getesteten Probenträgern am geeignetsten ist, da sie das<br />

Beugungsbild ohne Probenträger im wesentlichen reproduziert. Zum Aufbringen des<br />

Pulvers auf die Folie erweist sich Aufschlemmen als besonders geeignet. Hierbei<br />

wird das Präparat zunächst gleichmäßig auf den Probenträger gestreut <strong>und</strong><br />

anschließend mit einer leicht flüchtigen Substanz wie beispielsweise Ethanol<br />

Abb.4-23: Ausschnitte aus den Beugungsdiagrammen verschiedener auf Mylar-Folie aufgebrachter Fette.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 27<br />

angefeuchtet. Nach dem Trocknen haftet das Pulver gut am Probenträger. Ein<br />

Aufbringen des Präparats auf den Probenträger mittels Fetten, wie beispielsweise<br />

Vaseline führt häufig zu unerwünschten Reflexen durch die Fette im Beugungsbild.<br />

Abbildung 4-23 zeigt Beugungsdiagramme einer Auswahl verschiedener Fette, die<br />

auf Mylar-Folie aufgebracht, mit der Bildplatte aufgenommen wurden. Dabei kamen<br />

die gleichen Parameter zum Einsatz, wie bei den Messungen der verschiedenen<br />

Probenträger.<br />

Zur Vermeidung von Unter-<br />

gr<strong>und</strong>strahlung ist außerdem<br />

auf eine richtige Positionierung<br />

der, als biegsames Bleiblech<br />

ausgeführten, Streustrahlblende<br />

seitlich an der Sollerblende zu<br />

achten. Die Auswirkungen auf<br />

den gemessenen Untergr<strong>und</strong><br />

durch eine schlechte Anpas-<br />

sung der Streustrahlblende,<br />

sind in den beiden in Abbildung<br />

4-24 dargestellten Beugungs-<br />

diagrammen von Zinkoxid zu sehen. Ist das Bleiblech zu weit von der Sollerblende<br />

weg gebogen, so ergeben sich zwar größere Beugungsintensitäten aber auch ein<br />

starker Anstieg des Untergr<strong>und</strong>s, wodurch der nutzbare Meßbereich zu kleineren<br />

Winkeln weiter eingeschränkt wird.<br />

Der Primärstrahl wird nach seinem Durchgang durch die Probe direkt neben dem<br />

Eintrittsfenster der Bildplatte aufgefangen. Da zum gemessenen Untergr<strong>und</strong> auch die<br />

Luftstreuung um den Primärstrahl beiträgt, ist es von Vorteil, wenn er durch die Probe<br />

möglichst gut absorbiert wird. Somit ist es, neben der zusätzlich resultierenden<br />

Eichung der 2θ-Skala, teilweise sinnvoll, einer schwach absorbierenden Substanz<br />

einen gut absorbierenden Standard beizumischen.<br />

Abb.4-24: Einfluß der Streublende auf den gemessenen<br />

Untergr<strong>und</strong>.<br />

Da die Bildplatte nur einen Primärstrahlfänger besitzt, kann sie im Gegensatz zum<br />

<strong>Guinier</strong>-Diffraktometer am Germanium-Monochormator (Seite 1) nur in der Additions-<br />

stellung <strong>und</strong> am Quartz-Monochromator (Seite 3) nur in Subtraktionsstellung auf-<br />

gestellt werden. Die beiden Aufstellungsorte sollten sich bezüglich der erreichbaren<br />

Halbwertsbreiten nicht nur durch die verschiedenen Linienbreiten der Monoch-


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 28<br />

romatoren sondern auch durch den Linienbreitenbeitrag aus der chromatischen<br />

Dispersion unterscheiden. Daher wurden in beiden Aufstellungen die<br />

Beugungsdiagramme von Silizium <strong>und</strong> Zinkoxid mit verschiedenen Primärstrahl-<br />

blenden aufgenommen. Hierbei betrug die Belichtungszeit 10 Minuten bei einem<br />

Röhrenstrom von 35mA <strong>und</strong> einer Röhrenspannung von 40kV. Die Bildplatte wurde<br />

sechsfach ausgelesen. Bei dieser <strong>und</strong> den folgenden Messungen war stets der<br />

„ADC-Gain“ auf 2,5V eingestellt <strong>und</strong> die „Auto-Korrektur“ aktiviert. Aus den<br />

Messungen von Silizium wurden durch Einzel-Fits der Beugungsreflexe die<br />

Halbwertsbreiten ermittelt. Hierzu wurde das Programm „Topas“ [20] verwendet <strong>und</strong><br />

das Reflexprofil durch einen geteilte Pseudo-Voigt-Funktion modelliert, da es sich bei<br />

Abb.4-25: Auf Seite 1 gemessene Halbwertsbreiten von Siliziumreflexen bei variierender Breite der<br />

Primärstrahlblende.<br />

den Auswertungen mit dem Programm „Jade“ [21] zeigte, daß eine Pearson-VII-<br />

Funktion das Reflexprofil nicht ganz exakt beschreibt. Die Abbildungen 4-25 <strong>und</strong> 4-<br />

26 stellen die gemessenen Halbwertsbreiten in Abhängigkeit des Beugungswinkels<br />

<strong>und</strong> der Breite der Primärstrahlblende für beide Aufstellungsorte der Bildplatte dar.<br />

Bei den Messungen zeigt sich auf beiden Seiten, daß die Primärstrahlblende keinen<br />

systematischen Einfluß auf die Halbwertsbreite hat. Ein Vergleich der gemessenen<br />

Halbwertsbreiten der beiden Seiten miteinander ergibt, daß sich der Ver-<br />

breiterungseffekt durch die chromatische Dispersion vor allem auf den mittleren


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 29<br />

Abb.4-26: Auf Seite 3 gemessene Halbwertsbreiten von Siliziumreflexen bei variierender Breite der<br />

Primärstrahlblende.<br />

Beugungswinkelbereich zwischen 50° <strong>und</strong> 60° auswirkt. Insgesamt ist er jedoch<br />

weniger stark ausgeprägt als durch die Theorie vermutet. Des weiteren spiegeln sich<br />

auch die deutlich unterschiedlichen Linienbreiten der beiden Monochromatoren nicht<br />

in den gemessenen Halbwertsbreiten der Röntgenreflexe auf beiden Seiten wider. All<br />

dies deutet daraufhin, daß die gemessenen Reflexbreiten neben den genannten<br />

Linienbreitenbeiträgen hauptsächlich durch einen weiteren Effekt bestimmt werden.<br />

Vermutlich führt dieser Effekt auch zur beobachteten starken Verschiebung der<br />

Reflexlagen, die sich, ähnlich dem <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer, bei den Messungen<br />

ergaben.<br />

Um der Ursache dieser Reflexlagenverschiebungen auf den Gr<strong>und</strong> zu gehen,<br />

wurden mit dem Programm „Jade“ [21] die gemessenen Reflexe der Silizium-Probe<br />

einzeln gefittet <strong>und</strong> die Differenz zwischen der gemessenen Reflexlage <strong>und</strong> der<br />

erwarteten theoretischen Lage gebildet. Zur Elimination der unbekannten<br />

Nullpunktsverschiebung wurde wieder jeweils die Lage des 111-Reflexes als korrekt<br />

angenommen. In Abbildung 4-27 ist über dem Beugungswinkel 2θ die Abweichung<br />

∆2θ der gemessenen Lage von der erwarteten theoretischen Reflexlage für beide<br />

Seiten des <strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> die unterschiedlichen Primärstralblenden aufge-<br />

tragen. Man erkennt, daß die Größe der Abweichungen auf beiden Seiten des


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 30<br />

<strong>Diffraktometers</strong> annähernd gleich ist. Auch die Breite der Öffnung in der<br />

Primärstrahlblende hat kaum einen Einfluß auf die Stärke der Abweichung, woraus<br />

sich schließen läßt, daß die Verschiebung nicht auf die ebene Probengeometrie<br />

zurückgeführt werden kann. Die Abweichungen von der erwarteten theoretischen<br />

Abb.4-27: Abweichung ∆2θ von der erwarteten theoretischen Reflexlage bei Messungen von Silizium für<br />

drei verschiedene Größen der Primärstrahlblende an beiden Monochromatoren.<br />

Lage sind hauptsächlich die Folge einer radialen Verschiebung der Probe gegenüber<br />

dem Detektionskreis, was durch eine Meßreihe belegt werden konnte. Hierfür wurden<br />

Beugungsdiagramme der Silizium-Probe bei variierendem Abstand der Proben-<br />

oberfläche zum Detektionskreis aufgenommen, wobei die gleichen Einstellungen der<br />

Bildplatte <strong>und</strong> der Röntgenröhre zum Einsatz kamen, wie zu den Messungen der<br />

Halbwertsbreite verwendet wurden. Pro Abstand wurden je fünf Messungen<br />

durchgeführt <strong>und</strong> die Reflexe mit dem Programm „Jade“ [21] gefittet. Vom Mittelwert<br />

der Reflexlagen wurde die Abweichung von der erwarteten theoretischen Lage<br />

bestimmt. Zur Variation des Abstands dienten dünne Messingbleche, die zwischen<br />

den Metallring des Probenhalters <strong>und</strong> die Mylar-Folie geschoben wurden. Die<br />

Ergebnisse sind in Abbildung 4-28 als Differenz ∆2θ zwischen der gemessenen <strong>und</strong><br />

der genauen Lage über dem Beugungswinkel 2θ dargestellt. Mit zunehmendem<br />

Abstand der Folie vom Probenhalter <strong>und</strong> der damit einhergehenden Verkleinerung<br />

der Distanz von Probenoberfläche zu Detektionsschicht, nimmt die Abweichung zu.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 31<br />

Hieraus ergibt sich, daß sich die Probe auch ohne zusätzlich eingeschobenes Blech<br />

innerhalb des Fokussierkreises befand. Aus diesem Gr<strong>und</strong>e wurde nun zwischen den<br />

seitlich am Gehäuse der Bildplatte angeschraubten Probenhalteraufsatz <strong>und</strong> dem<br />

Abb.4-28: Verschiebung der Reflexlage als Funktion des Beugungswinkels bei verschieden dicken<br />

Blecheinlagen zwischen Probenhalter <strong>und</strong> Probe.<br />

Gehäuse ein 100µm dickes Messingblech eingeklemmt, um den Abstand zwischen<br />

der Probenoberfläche <strong>und</strong> der detektierenden Schicht zu vergrößern. Der hieraus<br />

gegebene Einfluß auf die Lage der Reflexe ist ebenfalls in Abbildung 4-28 durch die<br />

oberste, mit „-100µm“ bezeichnete Kurve repräsentiert. Die gemessenen Reflexlagen<br />

stimmen dann im wesentlichen bis auf einen konstanten Betrag mit den erwarteten<br />

theoretischen Lagen überein.<br />

Die, bezüglich der Reflexlagen, verbesserte Position des Probenhalters bringt auch<br />

eine Veringerung der Halbwertsbreiten mit sich. Dies zeigt der Vergleich der<br />

Halbwertsbreiten, welche zum einen beim ursprünglichen Abstand des Probenhalters<br />

von der Photoschicht <strong>und</strong> zum anderen beim vergrößerten Abstand gemessen<br />

wurden. In Abbildung 4-29 sind die Halbwertsbreiten beider Messungen über dem<br />

Beugungswinkel 2θ aufgetragen. Aufgr<strong>und</strong> des im Orginalzustand der Bildplatte zu<br />

geringen Abstands zwischen beugender Probe <strong>und</strong> Detektionskreis, ist der gebeugte<br />

Strahl noch nicht vollständig fokussiert, wenn er auf die Photoschicht trifft. Hieraus<br />

ergeben sich größere Halbwertsbreiten als für den Fall <strong>eines</strong> exakt auf die<br />

Photoschicht fokussierten Strahls. Da bei hohen Beugungswinkeln die gebeugte<br />

Strahlung nicht senkrecht auf den Fokussierkreis trifft <strong>und</strong> damit die Projektion des<br />

Strahls auf die „schräge“ Detektionsschicht entsprechend größer ist, zeigt sich hier<br />

der Fehler in der Fokussierung am deutlichsten.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 32<br />

Abb.4-29: Halbwertsbreiten der Silizium-Reflexe als Funktion des Beugungswinkels im Orginalzustand der<br />

Bildplatte <strong>und</strong> mit einem 100µm dicken Blech zwischen Probenhalter <strong>und</strong> Bildplattengehäuse.<br />

Zum Einfluß der radialen Verschiebung auf die Reflexlagen ist anzumerken, daß alle<br />

Messungen hierzu mit ein <strong>und</strong> demselben ringförmigen Probenhalter gemacht<br />

wurden. Da aber auch die zur Verfügung stehenden Probenhalter gewissen<br />

Fertigungstoleranzen unterworfen sind, muß die richtige Dicke des Abstandshalters<br />

zwischen Probenhalteraufsatz <strong>und</strong> Bildplattengehäuse nicht für alle Probenhalter<br />

gleich sein, so daß hier eine flexiblere Lösung, wie beispielsweise die geregelt<br />

einstellbare Probenposition am <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer, sinnvoll wäre.<br />

In der bereits vom Hersteller gespeicherten Datei „Camera.Cor“ ist eine kamera-<br />

spezifische Korrektur der gemessenen 2θ-Winkel, welche unumgängliche<br />

Herstellungsfehler in der Positionierungseinheit des Lasers in der Bildplatte<br />

ausgleicht. Unter dem Menüpunkt „Settings“ im Steuerungsprogramm der Bildplatte,<br />

läßt sich eine entsprechende automatische Korrektur des Beugungsdiagramms<br />

aktivieren. Dies ist auf jeden Fall empfohlen <strong>und</strong> war bei allen vorherigen Messungen<br />

aktiviert. Wie eine Meßreihe, deren Ergebnisse in Abbildung 4-30 dargestellt sind,<br />

zeigt, ergibt sich ohne der Korrektur trotz der verbesserten Position des<br />

Probenhalters eine fast linear, mit 0,008° pro Grad im Beugungswinkel 2θ<br />

ansteigende Verschiebung der Reflexlagen von Silizium.<br />

Mit der verbesserten Position der Probe wurde erneut das zur Verfügung stehende<br />

Zinkoxid-Pulver, vermischt mit einer kleinen Menge von Silizium als innerer Standard,


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 33<br />

Abb.4-30: Reflexlagenverschiebung bei richtigem Abstand zwischen Probe <strong>und</strong> Photoschicht bei aktivierter<br />

bzw. deaktivierter Korrektur des Positionierungsfehlers in der Bildplatte.<br />

gemessen <strong>und</strong> mit dem Programm „Rietica“ [22] eine Rietveld-Verfeinerung<br />

duchgeführt. Dabei zeigten sich erneut Fehler in den Lagen der höher indizierten<br />

Reflexe des Zinkoxids, obwohl die mitgemessenen Silizium-Reflexe nur eine kleine<br />

konstante Verschiebung aufwiesen. Dies deutet darauf hin, daß es sich hierbei mehr<br />

um einen Fehler im kristallinen <strong>Aufbau</strong> des verwendeten Zinkoxid-Pulvers handelt als<br />

um einen Fehler im <strong>Aufbau</strong> des <strong>Diffraktometers</strong>.<br />

Da sich in Subtraktionsstellung etwas geringere Halbwertsbreiten ergaben, wurde die<br />

Bildplatte, mit vergrößertem Abstand zwischen Probe <strong>und</strong> Photoschicht, schließlich<br />

wieder am Germanium-Monochromator aufgestellt. Es wurde erneut ein Beugungs-<br />

diagramm von Silizium aufgenommen, um zu sehen, ob die verbesserte Position der<br />

Probe <strong>und</strong> die Subtraktionsstellung für besonders kleine Halbwertsbreiten sorgen.<br />

Dabei war die Auto-Korrektur aktiviert <strong>und</strong> die Bildplatte wurde 10min bei einem<br />

Röhrenstrom von 35mA bei 40kV belichtet, wobei der Innenraum evakuiert war <strong>und</strong><br />

sich die Probe tangential zum Fokussierungskreis bewegte. Die Photoschicht wurde<br />

sechsfach bei einem ADC-Gain von 2,5V ausgelesen. Mit „SimRef” [23] wurde eine<br />

Rietveldverfeinerung des Beugungsdiagramms durchgeführt. Dabei wurde der Wert<br />

des Gitterparameters von 5,4308Å festgehalten <strong>und</strong> die Lage der Reflexe über die


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 34<br />

Parameter t0 bis t2 verfeinert. Zur Modellierung des Reflexprofils wurde eine<br />

asymmetrische Pseudo-Voigt-Funktion gewählt. Abbildung 4-31 zeigt neben dem<br />

gemessenen Beugungsdiagramm, das berechnete <strong>und</strong> den Differenzplot.<br />

Tabelle 4-7 faßt die verfeinerten Werte der wesentlichen Parameter zusammen.<br />

Durch die geringe Menge an Probenmaterial ergibt sich ein großer Untergr<strong>und</strong>, der<br />

sich jedoch gut fitten ließ. Hierauf kann auch die Abweichung der berechneten<br />

Intensitäten von den gemessenen zurückgeführt werden. Die Abweichung der<br />

Reflexlagen von den erwarteten sind, wie die Werte für die Parameter t0 bis t2 zeigen,<br />

sehr gering. Aus den Werten für U, V <strong>und</strong> W ergibt sich eine Halbwertsbreite von<br />

0,01° bei einem Winkel von 20° <strong>und</strong> eine Breite von 0,167° bei einem<br />

Beugungswinkel 2θ von 90°. Es ist anzumerken, daß der 331- <strong>und</strong> der 422-Reflex im<br />

berechneten Beugungsdiagramm zu breit sind, so daß die durch die UVW-Parameter<br />

gegebenen Halbwertsbreiten nicht die gemessenen Halbwertsbreiten widerspiegeln.<br />

Daher wurden mit „Topas” [20] Einzelfits der Reflexe durchgeführt, woraus sich die<br />

ebenfalls in Tabelle 4-7 aufgeführten UVW-Parameter ergaben. Aus diesen<br />

Parametern ergibt sich bei 20° eine Halbwertsbreite von 0,118° <strong>und</strong> eine Breite von<br />

0,147° bei einem Beugungswinkel von 90°. Wird dies mit den in Abbildung 4-29<br />

dargestellten auf Seite 1 in Additionsstellung ermittelten Halbwertsbreiten verglichen,<br />

Abb.4-31: Verfeinertes Beugungsdiagramm von Silizium. Der Differenzplot wird durch die untere Kurve<br />

repräsentiert.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 35<br />

so zeigt sich, daß die Subtraktionsstellung vor allem die Halbwertsbreiten bei kleinen<br />

Beugungswinkeln verkleinert. Dies wurde auch aus Sicht der Theorie erwartet. Durch<br />

die geringeren Halbwertsbreiten zeichnet sich dieser Aufstellungsort für die Bildplatte<br />

aus.<br />

Tab.4-7: Verfeinerte Parameter <strong>und</strong> Güte des Fits<br />

t0 t1 t2<br />

0,00555±0,00233 -1,173·10 -4 ±1,189·10 -4<br />

3,307·10 -5 ±1,379·10 -5<br />

U V W<br />

0,02934±0,0115 -0,01243±0,0091 0,0112±0,00163<br />

S/L H/L<br />

0,0219 0,0212<br />

RWP RExp GOF<br />

1,91 2,57 0,74<br />

Aus<br />

U V W<br />

Einzelfits 0,0286 -0,0243 0,0173<br />

4.6 Merkmale des Heizaufsatzes<br />

Um Phasenanalysen oberhalb der Raumtemperatur durchführen zu können, kann<br />

der ebene Probenhalter der Bildplatte durch einen Kapillarhalter mit einem<br />

Heizaufsatz ersetzt werden. Diese Möglichkeit besteht zwar prinzipiell auch beim<br />

<strong>Guinier</strong>-Diffraktometer, nur müßte dieses hierzu wieder in seinen ursprünglichen<br />

Zustand versetzt werden, was einen fast vollständigen Umbau bedeutet.<br />

Vorteil der Kapillaren ist die gute Reproduzierbarkeit der Probengeometrie. Allerdings<br />

kann der Füllfaktor nach erneuter Präparation variieren. Auch ist die Zylinder-<br />

geometrie für die <strong>Guinier</strong>geometrie nicht ideal, da sich zum einen das Pulverpräparat<br />

so weit es geht an den Fokussierzylinder anschmiegen <strong>und</strong> dabei möglichst dünn<br />

(Probendickefehler) sein sollte. Zum anderen ist der Strahl bei der Transmissions-<br />

geometrie am Probenort noch konvergent, d.h. relativ breit. Somit trägt nur ein<br />

Bruchteil der Primärstrahlintensität zur Beugung bei <strong>und</strong> der Strahl wird kaum durch<br />

die Probe geschwächt, was zu einem hohen Untergr<strong>und</strong> führt. Des weiteren trägt<br />

auch die amorphe Streuung am Kapillarglas zum Untergr<strong>und</strong> bei. Abbildung 4-32<br />

zeigt ein Beugungsdiagramm von Quartz in einer 0,8mm Kapillare. Daran läßt sich<br />

zum einen der hohe Untergr<strong>und</strong> erkennen <strong>und</strong> zum anderen die Verbreiterung der<br />

Reflexe durch den nicht genau definierten Ort der Beugung. Wie die eingesetzte


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 36<br />

Graphik zeigt, kann das Triplett aus den Reflexen 122, 023 <strong>und</strong> 301 nicht mehr<br />

vollständig aufgelöst werden. Es ist allerdings anzumerken, daß die Kapillare nicht<br />

vollkommen zentrisch auf dem Probenhalter saß <strong>und</strong> der Halter während der<br />

Abb.4-32: Mit Bildplatte aufgenommenes Beugungsdiagramm von Quartz in einer Kapillare mit 0,8mm<br />

Durchmesser.<br />

Messung zur Verbesserung der statistischen Verteilung der Orientierungen gedreht<br />

wurde.<br />

Das System aus Heizaufsatz, Temperaturregler <strong>und</strong> Kapillarhalter ist von der Firma<br />

Huber <strong>und</strong> trägt die Bezeichnung „HTC 9634“. Die Regelung funktioniert dabei nach<br />

dem Prinzip der PID-Reglung. Um die Übereinstimmung der Temperatur am<br />

Probenort <strong>und</strong> der von der Heizregelung eingestellten Temperatur zu überprüfen,<br />

wurde mit zwei verschiedenen Meßgeräten mit Thermoelement die Temperatur<br />

zwischen den beiden Heizschenkeln des Ofens in Abhängigkeit der von der<br />

Steuerung eingeregelten Temperatur ermittelt. Hierfür wurden die Modelle „M4050“<br />

der Firma „Metrawatt“ <strong>und</strong> „AMR“ der Firma „Ahlborn Meß- <strong>und</strong> Regelungstechnik“<br />

verwendet. In Abbildung 4-33 ist die gemessene Temperatur TMeß über der vom<br />

Kontroller des Ofens angezeigten Temperatur TSteu aufgetragen. Idealer Weise sollte<br />

sich bei der Auftragung der gemessenen Temperatur (TMeß) über der von der<br />

Ofensteuerung eingeregelten Temperatur (TSteu) eine Nullpunktsgerade mit Steigung<br />

Eins ergeben. Tatsächlich ergibt sich bei einem entsprechenden Fit der Meßpunkte<br />

eine gr<strong>und</strong>sätzliche Differenz von r<strong>und</strong> 40°C zwischen TMeß <strong>und</strong> TSteu <strong>und</strong> eine<br />

Steigung von nur 0,93.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 37<br />

Mit zunehmender Temperatur wächst der Unterschied zwischen gemessener <strong>und</strong><br />

eingeregelter Temperatur weiter. Da zu keinem der beiden Geräte eine<br />

Dokumentation verfügbar war, ist der Meßfehler der beiden Geräte nicht bekannt. Da<br />

die Meßwerte der zwei Geräte untereinander im Mittel nur um 6°C voneinander<br />

abweichen, bleibt die Aussage der Messung trotz des unbekannten Meßfehler<br />

bestehen. Durch die Abweichung der Probentemperatur von der Temperatur, die die<br />

Steuerung des Ofens anzeigt, sollte der Probe ein interner Standard, wie<br />

beispielsweise Silizium, beigemischt werden, deren Reflexlagen in Abhängigkeit der<br />

Temperatur bekannt sind.<br />

Abb.4-33: Vergleich zwischen Temperatur-Ist-Wert (TSteu) der Ofensteuerung <strong>und</strong> den, mittels zweier verschiedenen<br />

Temperaturmeßgeräten, ermittelten Werten (TMeß).<br />

Zur detaillierten Untersuchung von Phasenübergängen ist eine gute zeitliche<br />

Konstanz, zumindest über die Länge der Messung, Voraussetzung. Um die Güte der<br />

zeitlichen Konstanz der Probentemperatur zu ermitteln, wurde die Temperatur mit<br />

einem Pyrometer gemessen, da diese Geräte eine fast zeitlich direkte Meßantwort<br />

liefern. Um einem schwarzen Strahler möglichst nahe zu kommen, wurde als Probe<br />

ein Graphitstab mit 2mm Durchmesser in den Kapillarhalter zwischen den beiden<br />

Heizschenkeln eingesetzt. Der Meßfleck des Pyrometers, welcher einen Durch-<br />

messer von 0,75mm hatte, konnte mit einem in den Meßkopf des Pyrometers


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 38<br />

eingebauten Pilotlaser sehr genau justiert werden <strong>und</strong> saß vollständig auf der Probe.<br />

Das eingesetzte Pyrometer ist das Model „INFRATHERM IGAQ 10-LO“ der Firma<br />

„IMPAC Electronic GmbH“ <strong>und</strong> kann sowohl im Einkanalmodus als auch im<br />

Quotientenmodus betrieben werden. Bei Messungen im Einkanalmodus wird über<br />

den Emmissionkoeffizienten von der gemessenen Strahlleistung auf die Temperatur<br />

geschlossen. Da dieser für Graphit nicht bekannt war, wurden nur die Messungen im<br />

Quotientenbetrieb weiter ausgewertet, bei dem die Temperatur durch das Verhältnis<br />

der Strahlleistungen bei zwei nah benachbarten Wellenlängen bestimmt wird.<br />

Hierdurch wird die Messung unabhängig vom Emissionsgrad. Die beiden<br />

verwendeten Wellenlängen sind laut Hersteller 1,52µm <strong>und</strong> 1,64µm. Bei den<br />

Messungen wurde in Schritten von 100°C zunächst die Temperatur an der Steuerung<br />

eingestellt <strong>und</strong> anschließend mit dem Beginn der Messung solange gewartet, bis aus<br />

Sicht der Steuerung die Temperatur stabil eingeregelt war. Bei Temperaturen über<br />

700°C schwankte bereits die von der Steuerung angezeigte Temperatur, so daß mit<br />

der Messung solange gewartet wurde, bis diese Schwankung so klein wie möglich<br />

wurde. Bei einer eingestellten Temperatur von 800°C schwankte dabei die Anzeige<br />

der Steuerung um 7K <strong>und</strong> bei einer Temperatur von 900°C um 13K.<br />

Abb.4-34: Auftragung der gemessenen Temperatur <strong>eines</strong> Graphitstabes über der Meßdauer. Als Parameter sind<br />

die Ist-Werte der Ofensteuerung angegeben.


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 39<br />

In Abbildung 4-34 ist über der Meßdauer in Sek<strong>und</strong>en die mit dem Pyrometer<br />

ermittelte Probentemperatur in °C für verschiedene an der Heizungssteuerung<br />

eingestellte Zieltemperaturen aufgetragen. Die gemessene Probentemperatur zeigte<br />

bei allen eingestellten Temperaturen eine zeitlich periodische Schwankung, deren<br />

Periodenlänge, Amplitude <strong>und</strong> Form des Zeitverlaufs (Ansteig <strong>und</strong> Abfall) von der je-<br />

weils eingestellten Temperatur abhängig war. Tabelle 4-8 listet die Amplitude der<br />

Schwankung <strong>und</strong> deren Periodenlänge auf.<br />

Tab.4-8: Schwankung <strong>und</strong> deren Periodenlänge der gemessenen Probentemperatur<br />

Temperatur [°C] Schwankung [K] Periodenlänge [s]<br />

400 15±1 1<br />

500 11±0,5 1<br />

600 9±0,5 1<br />

700 5±0,5 1<br />

800 14±1 5<br />

900 15±1 6<br />

Die periodische Änderung bei einer Soll-Temperatur von 700°C ist gegenüber den<br />

Schwankungen bei anderen Soll-Temperaturen vergleichsweise gering. Es scheint<br />

sich in der Nähe dieser Temperatur ein Gleichgewicht zwischen abgegebener<br />

Wärmeleistung <strong>und</strong> der Heizleistung des Ofens einzustellen, was sich auch in der<br />

Form der Schwankung zeigt. Anstieg <strong>und</strong> Abfall sind gleich schnell. Bei niedrigeren<br />

Temperaturen ist der Temperaturansteig deutlich steiler als der Abfall <strong>und</strong> die<br />

Amplitude der Schwankungen größer. Für Temperaturen über 700°C reicht die<br />

Heizleistung gegenüber dem Wärmeabfluß nur noch für einen langsamen Ansteig<br />

der Temperatur, was sich auch in den größeren Periodenlängen widerspiegelt.<br />

Mit einem Oszilloskop wurde die Spannung am Heizelement gemessen. Die zeitliche<br />

Länge des Stromflusses, d.h. einer an der Heizwendel angelegten Spannung,<br />

entsprach genau der Länge des Anstiegs der Temperatur. Dieses Verhalten<br />

entspricht mehr der Güte <strong>eines</strong> einfachen Ein/Aus-Reglers als der einer modernen<br />

PID-Regelung, bei der stets eine gewisse Heizleistung zugeführt <strong>und</strong> nur deren<br />

Größe an die aktuellen Erfordernisse angepaßt wird. Auf diese gepulste Zuführung<br />

von Wärmeenergie sind auch die großen Schwankungen der gemessenen


<strong>Charakterisierung</strong> des <strong>Diffraktometers</strong> 4 - 40<br />

Temperatur zurückzuführen, durch die der Heizaufsatz für die Aufnahme von<br />

Beugungsdiagrammen nahe an Phasenübergängen wenig geeignet sein dürfte.


Experimentelles 3 - 2<br />

verfahren wird. Ganz analog wird bei einer Bildplatte bzw. bei Filmaufnahmen die<br />

entsprechende detektierende Schicht auf den Zylinder gelegt. Hieraus ergibt sich ein<br />

sehr hohes Maß an Linienschärfe <strong>und</strong> Intensität. Aus praktischen Gründen liegen<br />

allerdings die Pulverproben zumeist als ebene Präparate vor, so daß obige<br />

Bedingung nicht exakt erfüllt ist. Nach Allman [05] ist jedoch bei einem bestrahlten<br />

Bereich kleiner als 10mm der hieraus entstehende Fehler noch akzeptierbar. Um<br />

über möglichst viele, verschiedene Orientierungen der Kristallite zu mitteln <strong>und</strong> damit<br />

für größere Beugungsintensitäten <strong>und</strong> ein bessere Reproduzierbarkeit der Messung<br />

bei unterschiedlicher Probenpräparation zu sorgen, werden die Probenträger<br />

tangential zum Fokussierkreis hin <strong>und</strong> her bewegt. Nach Burzlaff et al. [15] hat sich<br />

statt einer translatorischen Bewegung eine Rotation der Probe bewährt, da dadurch<br />

zum Teil auch Effekte einer Vorzugsorientierung vermindert werden.<br />

Durch die, gegenüber vergleichbaren Pulvergeometrien, größeren Abstände der<br />

Beugungslinien auf dem Fokussierkreis, ergibt sich bei Aufnahmen in symmetrischer<br />

Transmission, bei der der Primärstrahl senkrecht auf die Probe trifft <strong>und</strong> diese<br />

durchstrahlt, eine Einschränkung auf einen Winkelbereich bis 90° in 2θ. Aus diesem<br />

Gr<strong>und</strong>e neigt man häufig den einfallenden Strahl um 45° gegen den Durchmesser<br />

des Detektorkreises, wodurch sich gegenüber dem Primärstrahl bei 2θ=0° zu einer<br />

Seite ein nutzbarer Winkelbereich von 135° ergibt. Bei dieser asymmetrischen<br />

Anordnung müssen die beiden Fälle der chromatischen Dispersion unterschieden<br />

werden. Schließlich können in Rückstrahltechnik auch Winkel über 135° erfaßt<br />

werden. Hierbei treten sehr große Wegstrecken auf, so daß eine Evakuierung des<br />

Strahlengangs angebracht ist, damit die Intensitäten durch Absorption nicht zu stark<br />

verkleinert werden.<br />

3.2 <strong>Aufbau</strong> <strong>und</strong> Justage der einzelnen Komponenten<br />

Gr<strong>und</strong>voraussetzung für den <strong>Aufbau</strong> <strong>eines</strong> solchen <strong>Diffraktometers</strong> ist ein solider,<br />

schwingungsfreier Untergr<strong>und</strong> in einem stabil klimatisierten Raum. Man bedenke,<br />

daß bereits eine Verstellung des Monochromatorwinkels von 0,07° (Ihringer et al.<br />

[16]) zwischen lichtstarkem, monochromatischem Strahl <strong>und</strong> gar keiner Intensität<br />

entscheidet. Aus diesem Gr<strong>und</strong>e ist das bereits vorhandene Diffraktometer<br />

vollständig neu auf einer massiven Steinplatte in einem Stahlrahmen aufgebaut<br />

worden. Zuerst ist die Röhre, mit ihrem Strichfokus senkrecht zur Tischebene, auf


Experimentelles 3 - 3<br />

einem in der Höhe verstellbaren Sockel aufgestellt worden. Wichtig ist die Plan-<br />

parallelität der Unterseite des Röhrengehäuses mit der Gr<strong>und</strong>platte, da durch eine<br />

mögliche Verkippung um die Längsachse sich die spätere Justage des<br />

Detektorkreises sehr schwierig gestaltet. Aufnahmen mit einer Lochblende in<br />

verschiedenen Abständen zum Röhrengehäuse zeigen ob die Mitte des<br />

Röntgenstrahls überall gleich hoch über der Gr<strong>und</strong>platte ist. Auch läßt sich aus ihnen<br />

die Qualität des Brennflecks <strong>und</strong> seine Dimensionen abschätzen. Im Anhang A.1 sind<br />

entsprechende Aufnahmen <strong>und</strong> eine Zeichnung der Röhre mit den wichtigsten<br />

Maßen zu finden.<br />

Bei bekannter Position <strong>und</strong> Orientierung des Brennflecks zur Basisplatte, ist nach<br />

Wahl des einzigen noch freien Parameters, dem Abnahmewinkel, innerhalb der<br />

Fertigungstoleranzen die Lage aller Komponenten des <strong>Diffraktometers</strong> festgelegt.<br />

Der Abnahmewinkel wird jeweils durch die laterale Lage der 2°-Divergenzblenden vor<br />

dem Monochromatorkristall definiert. Bei seiner Wahl ist bei Röhren mit großem<br />

Brennfleck auf die, mittels Gleichung 2-1 berechenbare, prinzipielle Trennbarkeit der<br />

Spektrallinien Kα1 <strong>und</strong> Kα2 zu achten.<br />

Tab.3-1: Zusammenfassung der wichtigsten Größen der eingesetzten Monochromatorkristalle.<br />

θM Monochromatorwinkel, τ Anschliffwinkel, fa <strong>und</strong> fb Fokallängen, R Radius des Oberflächenzylinders,<br />

∆τ Verkippungswinkel durch Mosaizität<br />

Fläche θM [°] τ [°] fa [mm] fb [mm] R [mm] ∆τ [°]<br />

Ge 111 13,639 3,78 119 208 1403 2,7⋅10 -3<br />

α-Quartz 10-11 13,333 6,06 85 224 1349 2,7⋅10 -3<br />

Als Monochromatoren, deren Charakteristika in Tabelle 3-1 zusammengefaßt sind,<br />

finden zum einen ein Germaniumkristall <strong>und</strong> zum anderen ein α-Quartz in einem<br />

G611-Gehäuse der Firma „Huber Diffraktionstechnik“ Verwendung. Beide<br />

Monochromatoren liefern, bei entsprechender Einstellung reine Kα1-Strahlung <strong>und</strong><br />

sollten sich im wesentlichen in ihren Fokallängen <strong>und</strong> der gebeugten Intensität<br />

unterscheiden. In Abbildung 3-2 sind die Verknüpfungen zwischen den einzelnen<br />

Freiheitsgraden des Kristalls <strong>und</strong> den entsprechenden Einstellschrauben am<br />

Gehäuse dargestellt. Es ist anzumerken, daß die Gehäusekonstruktion <strong>und</strong> die<br />

Justagevorrichtung durchaus verbesserungsfähig ist. Keine der Justage-<br />

möglichkeiten besitzt ein Skala (siehe auch Ihringer et al. [16]), nach der sich eine


Experimentelles 3 - 4<br />

bereits gef<strong>und</strong>ene gute Einstellung<br />

nach einer Dejustage, die häufiger<br />

auftritt, wieder ohne großen Aufwand<br />

reproduzieren ließe. Auch lassen sich<br />

φ1 <strong>und</strong> φ2 nur über Druck <strong>und</strong><br />

Gegendruck zweier Schrauben<br />

variieren. Für die Kippachse φ1 tangen-<br />

tial zum Fokussierzylinder ist dies nicht<br />

weiter kritisch. Bei der radial zum<br />

Biegezylinder liegenden Achse φ2 läßt<br />

dies jedoch keine gezielte Justage zu.<br />

Zum einen schnitt sich, was durch<br />

anschließendes Abr<strong>und</strong>en der<br />

Schraubenköpfe verhindert werden<br />

konnte, das Gewinde in die<br />

Kristallhalterung, wodurch sich nur<br />

noch diskrete Einstellmöglichkeiten<br />

ergaben. Zum anderen ist diese<br />

Bewegung zu empfindlich, als daß sie<br />

durch gleichzeitiges Verstellen zweier<br />

Schrauben mit der notwendigen<br />

Präzision kontrollierbar wäre. Auch die<br />

Ersetzung einer der beiden Schrauben<br />

Abb.3-2: Zusammenhang zwischen den Einstellmöglichkeiten<br />

am Monochromatorgehäuse <strong>und</strong><br />

den Freiheitsgraden des Kristalls.<br />

durch eine Feder brachte nur eine kleine Verbesserung, so daß die entsprechende<br />

φ2-Justage nur durch viel Geduld erfolgen kann. Die Monochromatoren werden bei<br />

Mittelstellung von φ1 <strong>und</strong> φ2 auf die Schwalbenschwänze aufgesteckt <strong>und</strong> durch eine<br />

Schraube mit Schneckengewinde in ihrer Position fixiert. Die Austrittsblende wird<br />

vollständig geöffnet. Mit einem Monochromatorglanzwinkel nahe Null wird bei<br />

schwacher Röhrenleistung das Bild des Primärstrahls auf einem zu ihm leicht schräg<br />

stehendem Phosphorschirm beobachtet. Die Querverstellung wird nun so<br />

eingeregelt, daß die der beugenden Oberfläche entsprechende Kante im<br />

Schattenwurf des Kristalls, die ausgeleuchtete Fläche mittig teilt. Dabei wird durch<br />

kleine Änderungen des Winkels θM der Schattenquerschnitt minimiert.


Experimentelles 3 - 5<br />

Nach diesen Schritten, die für eine optimale Ausleuchtung der Kristallmitte sorgen<br />

sollen, kann nun mit der Vorjustage des Monochromators begonnen werden. Als<br />

erstes wird hierfür der Glanzwinkel langsam vergrößert, wobei der Leuchtschirm<br />

wenige cm vor der Austrittsblende stehen sollte. Es taucht eine dünne schwache<br />

Linie (Kβ) auf, deren Breite unabhängig vom Abstand zwischen Schirm <strong>und</strong> Blende<br />

ist. Ein weiteres Vergrößern des Beugungswinkels läßt einen ganzen Bereich des<br />

Schirms aufleuchten, der sich bei einem bestimmten Abstand fokussieren läßt. Dies<br />

ist die gewünschte Kα-Strahlung. Um ein vergrößertes Abbild vom Beugungsbild des<br />

Monochromators zu erhalten, wird der Leuchtschirm ein ganzes Stück über der<br />

Fokallänge hinaus aufgestellt. Bei Variation des Glanzwinkels von θ−∆θ (noch kein<br />

Reflex sichtbar) zu θ+∆θ (Reflex wieder verlöscht) sollte bei idealer Justage erst die<br />

gebeugte Intensität der Wellenlänge Kα1 <strong>und</strong> dann der Wellenlänge Kα2 zunächst<br />

mittig auftauchen <strong>und</strong> anschließend wie die Wellen <strong>eines</strong> in das Wasser geworfenen<br />

Steins gleichmäßig in alle Richtungen verschwinden. In der Regel ist dieses<br />

Verhalten allerdings erst nach ein paar Korrekturen, die im folgenden für einen<br />

Monochromator auf der rechten Seite der Röhre (aus Sicht des Hoch-<br />

spannungsanschlusses) dargestellt werden sollen, sichtbar. Für einen auf der linken<br />

Seite der Röhre angebrachten Monochromator gelten sie spiegelbildlich. Wandert<br />

beim Vergrößern des Glanzwinkels das Maximum der Intensität senkrecht zur<br />

Oberfläche des Monochromatorkristalls, so liegt der Brennfleck nicht auf dem<br />

Fokalzylinder, sondern im divergenten oder konvergenten Bereich <strong>und</strong> eine<br />

Anpassung des Abstandes a zwischen Fleck <strong>und</strong> Kristallmitte ist erforderlich.<br />

Wandert der Reflex in Strahlrichtung gesehen von rechts nach links, so muß die<br />

Strecke a vergößert werden bzw. beim Wandern von links nach rechts verkleinert.<br />

Eine Verkippung der θ-Drehachse gegenüber dem Strichfokus der Röhre kann am<br />

vertikalen Durchlaufen des Reflexes erkannt werden. Abhilfe schafft hier vorsichtiges<br />

Verstellen von φ1. Ein Verkleinern von φ1 (nach unten drehen) kompensiert ein<br />

Wandern der gebeugten Intensität nach oben. Ganz analog wird ein Weglaufen nach<br />

unten durch das Vergrößern von φ1 behoben.<br />

Eine fehlerhafte Einstellung von φ2 ergibt eine Mischung obiger Bewegungen. Läuft<br />

beim Durchdrehen des Kristalls, der Reflex in Richtung des Primärstrahls von rechts<br />

oben nach links unten, so ist der Kristall auf der Austrittsseite höher als auf der der


Experimentelles 3 - 6<br />

Röhre zugewandten Seite <strong>und</strong> φ2 muß verkleinert werden. Dagegen ist eine Ver-<br />

größerung von φ2 nötig, falls die Leuchterscheinung von links oben nach rechts unten<br />

wandert.<br />

Da die einzelnen Drehbewegungen <strong>und</strong> die Translation des Monochromatorkristalls<br />

voneinander unabhängig sind, können obige Veränderungen am Erscheinungsbild<br />

der gebeugten Intensität auf dem Leuchtschirm auch in beliebiger Kombination<br />

auftreten, was die Justage entsprechend schwierig gestaltet. In diesem<br />

Zusammenhang hat es sich bewährt, zuerst den richtigen Abstand zwischen<br />

Röhrenbrennfleck <strong>und</strong> Kristallmitte bei einer Mittelstellung von φ1 <strong>und</strong> φ2 heraus-<br />

zufinden <strong>und</strong> erst anschließend eine Feineinjustage der beiden Drehungen vorzu-<br />

nehmen.<br />

Abb.3-3: Justierbasis mit aufgesteckter Justagebrücke <strong>und</strong> Strahlengang.<br />

Als Gr<strong>und</strong>platte für den zweiten Teil des <strong>Diffraktometers</strong>, welcher aus einem<br />

Detektionssystem (Bildplatte oder <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer mit Szintillationszähler) <strong>und</strong><br />

einer Halterung für die zu untersuchenden Proben besteht, dient die Justierbasis 601<br />

der Firma Huber. In Abbildung 3-3 ist ein Bild von ihr mit aufgesteckter Justierbrücke<br />

zu sehen. Sie ist für eine Feineinstellung des Monochromatorkristalls <strong>und</strong> der Basis<br />

selber unentbehrlich. Über drei in der Höhe verstellbaren Füßen ruht die als


Experimentelles 3 - 7<br />

Kreissegment gebaute Basis auf einer Steinplatte. Der Mittelpunkt des Segments, der<br />

mit einem ausziehbaren Dorn versehen ist, muß exakt unter der Kristallmitte<br />

positioniert werden. Hierzu wird mittels <strong>eines</strong> unter dem Drehpunkt der Basis<br />

eingebauten Kreuztisches diese so verfahren, daß der Dorn in die Aussparung der<br />

am Monochromator-Block herausragenden Markierungszapfen einfluchtet. Dabei<br />

muß die θM-Achse senkrecht auf der Oberfläche der Basis stehen, was durch<br />

Anpassen der Höhenverstellung der beiden hinteren Füße erreicht werden kann. Nun<br />

wird der Schwenkarm so gedreht, daß der monochromatisierte Strahl die beiden auf<br />

der Justierbrücke sitzenden Leuchtschirme aufleuchten läßt. Eventuell muß noch die<br />

Höhe der Füße angepaßt werden, damit die vertikale Mitte des Strahlengangs mit der<br />

der Leuchtschirme übereinstimmt. In der Mitte der Brücke kann ein um 6° gegenüber<br />

seiner Drehachse geneigter Schirm aufgesteckt werden. Steht dessen Leuchtfläche<br />

normal zur Längsachse der Justagebrücke, so muß der fokussierte Strahl exakt<br />

durch deren Mitte gehen <strong>und</strong> dort so schmal wie möglich sein. Gegebenenfalls ist der<br />

Drehwinkel des Schwenkarms bzw. der Abstand b zwischen der Mitte des<br />

Monochromatorkristalls <strong>und</strong> dem Mittelpunkt der auf dem Schwenkarm verschiebbar<br />

gelagerten Platte anzupassen. Für die Feineinstellung des Monochromators wird der<br />

Schirm gedreht, bis seine Leuchtfläche fast parallel zum Strahlengang ist. Das Bild<br />

der Fokallinie auf dem Schrim wird bei einwandfreier Justage nur durch eine<br />

Wellenlänge hervorgerufen <strong>und</strong> geht durch die Mitte des Fadenkreuzes, zu der es<br />

symmetrisch zum Rand des Schirms hingehend auffächert. Der Strahl ist nach dem<br />

Monochromator zunächst konvergent, in der Mitte des Schirms fokussiert <strong>und</strong> danach<br />

wieder divergent. Die Verkippung der Monochromatorkristallachse zum Strichfokus<br />

der Röhre <strong>und</strong> Fehleinstellung der Abstände a <strong>und</strong> b ergeben Asymmetrien des<br />

Bildes bzw. eine Überlagerung der Bilder der Wellenlängen Kα1 <strong>und</strong> Kα2. Die Lage<br />

relativ zum Fadenkreuz wird hauptsächlich durch die Justage der Basis gegeben.<br />

Sind auf dem Leuchtschirm zwei getrennte Linien zu erkennen so bedeutet dies, daß<br />

sich ein Bereich des Monochromatorkristalls in Reflektionsstellung für die<br />

Wellenlänge Kα1 befindet, während ein anderer Bereich Kα2 beugt. Stimmt der<br />

Fokalabstand a, so deutet dies auf eine nicht korrekte Einstellung von φ1 hin. Die<br />

zugehörige Verkippung der Kristallachse gegenüber dem Brennfleck sorgt wie in<br />

Abbildung 3-4 dargestellt dafür, daß sowohl Glanzwinkel als auch der Abstand a in<br />

vertikaler Richtung über den Monochromatorkristall variieren <strong>und</strong> damit die


Experimentelles 3 - 8<br />

Trennbarkeit (Gleichung 2-14) nicht<br />

mehr für die gesamte Höhe des<br />

Brennflecks erfüllt ist. Ähnliches gilt in<br />

abgeschwächtem Maße auch für die<br />

Achse φ2, deren Fehleinstellung<br />

daran zu erkennen ist, daß auf dem<br />

Schirm eine Auffächerung diagonal<br />

über die gesamte Leuchtfläche zu<br />

sehen ist. Bei zu großer oder zu<br />

kleiner Distanz b zwischen Mono-<br />

chromator <strong>und</strong> der Mitte der Leucht-<br />

fläche (=Mittelpunkt der Gr<strong>und</strong>platte) ist die Auffächerung des Leuchtschirmbildes zu<br />

einer der beiden Seiten des Schirms stärker.<br />

Ist das bestmögliche Bild erreicht, so kann, falls notwendig, seine Lage bzgl. der<br />

Schirmmitte über die Einstellungen der Basis <strong>und</strong> etwas über den Abstand a<br />

verbessert werden. Mittels des ausziehbaren Dorns sind die Drehachse der Justage-<br />

platte <strong>und</strong> des θ–Winkels des Monochromators erneut auf ihre Übereinstimmung (bei<br />

Variation der Strecke a ändert sich die Kristallmitte) zu überprüfen. Anschließend wird<br />

mit Hilfe des 6°-Leuchtschirmes, mit dessen Leuchtfläche normal zur Längsachse der<br />

Brücke, kontrolliert, daß der Strahlengang parallel zu dieser Achse verläuft.<br />

Gegebenenfalls ist der Drehwinkel des Schwenkarms anzupassen <strong>und</strong> die gesamte<br />

Feinjustage iterativ fortzusetzen, bis das gewünschte Bild des Strahls erhalten wird.<br />

Diese Art, die besten Einstellungen für Monochromator <strong>und</strong> Basis zu finden, ist sehr<br />

subjektiv. Außerdem ist es entsprechend schwierig abzuschätzen, wann das<br />

Optimum erreicht ist. Unter Umständen ist es notwendig einen Detektor auf die Basis<br />

zu setzen <strong>und</strong> von einer bekannten Substanz das Beugungsdiagramm aufzunehmen,<br />

aus dem dann auf die Güte der Trennung von Kα1 <strong>und</strong> Kα2 geschlossen werden<br />

kann.<br />

Wenn die Einstellungen alle soweit zufriedenstellend sind, können nun das <strong>Guinier</strong>-<br />

Diffraktometer <strong>und</strong> die Bildplatte aufgestellt werden.<br />

Abb.3-4: Vom Brennfleck ausgehende Strahlen treffen<br />

unter unterschiedlichen Winkeln auf die<br />

Oberfläche des um die Drehachse φ1<br />

verkippten Monochromatorkristalls.


Experimentelles 3 - 9<br />

3.3 Die elektronischen Komponenten des <strong>Diffraktometers</strong><br />

In Abbildung 3-6 werden die elektronischen Komponenten, die für die Steuerung des<br />

<strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> für die Meßdatenerfassung über den Szintillations-<br />

detektor notwendig sind, gezeigt. Ein Hochspannnungsnetzteil versorgt die Dynoden<br />

des Photomultipliers über eine eingebautes Widerstandsnetzwerk mit der<br />

notwendigen negativen Spannung. Da dieses Netzteil noch mit Röhren bestückt ist<br />

<strong>und</strong> damit vorgeheizt werden muß, ist vor seiner Inbetriebnahme der rechte Schalter<br />

für die Hochspannung auf Standby zu stellen. Außerdem ist auf die richtige Wahl der<br />

Polarität zu achten. Nach dem Einschalten des Netzteils kann die Hochspannung erst<br />

eingeschaltet werden, wenn die weiße, links direkt neben dem Schalter befindliche<br />

Lampe aufleuchtet.<br />

Über dem Photomultiplier ist ein Vorverstärker <strong>und</strong> ein Schalter für die Meßart<br />

angebracht. Durch die auf den Photomultiplier folgende Elektronik werden die<br />

Energien der detektierten Röntgenquanten als Spannungsimpulse weiterverarbeitet,<br />

so daß als Meßart stets „U“ zu wählen ist. Nach der Vorverstärkung gelangt das<br />

Signal des Photomultipliers auf<br />

einen Hauptverstärker <strong>und</strong> danach<br />

auf einen Pulshöhenfilter. Am Ver-<br />

stärker befindet sich neben einer<br />

Einstellungsmöglichkeit für den<br />

sogenannten „Line-Restor“ auch<br />

eine diskrete <strong>und</strong> eine feine, konti-<br />

nuierliche Regelmöglichkeit für<br />

den Verstärkungsfaktor. Ober- <strong>und</strong><br />

Untergrenze des energieselek-<br />

tierenden Spannungsfensters kön-<br />

nen am Pulshöhenfilter eingestellt<br />

werden. Zunächst ist der<br />

Verstärkungsfaktor anzupassen. Hierfür wird statt des Pulshöhenfilters am Ausgang<br />

des Verstärkers ein Oszilloskop angeschlossen <strong>und</strong> der Szintilationszähler auf den<br />

abgeschwächten Primärstrahl gerichtet. In Abbildung 3-5 sind<br />

Abb.3-5: Ausgangssignal am Hauptverstärker <strong>und</strong> Einstellung<br />

der unteren <strong>und</strong> oberen Spannungsgrenze des Puls<br />

höhenfilters.


Experimentelles 3 - 10<br />

Abb.3-6: Elektronische Komponenten zur Steuerung des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> zur<br />

Meßdatenerfassung.


Experimentelles 3 - 11<br />

bei Auftragung der Ausgangsspannung U des Hauptverstärkers über der Zeit t<br />

mehrere mögliche Signalformen schematisch dargestellt. Der Verstärkungsfaktor<br />

wird so eingestellt, daß er möglichst groß ist. Jedoch sollte eine gewisse Reserve<br />

zwischen der sich am Ausgang des Verstärkers ergebenden maximalen Signalam-<br />

plitude, der vom Photomultiplier registrierten Röntgenquanten des Primärstrahls <strong>und</strong><br />

einer Übersteuerung, bei der die oberen „Spitzen“ der Signale abgeschnitten werden,<br />

bestehen. Mit Hilfe des Line-Restore, einer kleinen Stellschraube ganz oben am<br />

Hauptverstärker, werden die Signale so angehoben, daß sie nicht in den negativen<br />

Spannungsbereich überschwingen. Damit wird vermieden, daß bei zwei Signalen, die<br />

in kurzem zeitlichen Abstand aufeinander folgen, das zweite Signal durch eine<br />

negative Aufladung des Verstärkers seine „wahre“ Amplitude verliert. Die maximale<br />

Signalamplitude der registrierten Röntgenquanten, die eine der charakteristischen<br />

Linie entsprechende Energie haben, gibt den am Pulshöhenfilter einzustellen Wert<br />

für die Spannungsobergrenze UOG an. Höhenstrahlung, die ebenfalls vom<br />

Szintilationszähler detektiert wird, weist eine wesentlich höhere Energie auf. Durch<br />

die Proportionalität zwischen Signalamplitude <strong>und</strong> registrierter Energie, überschreiten<br />

die Amplituden der durch Höhenstrahlung verursachten Signale die<br />

Spannungsobergrenze UOG <strong>und</strong> werden durch den Pulshöhenfilter ausgesiebt. Um<br />

die Spannungsgrenzen am Filter einzustellen wird ein Spannungsmeßgerät an die<br />

auf der Vorderseite des Filters befindlichen Buchsen angeschlossen <strong>und</strong> mit dem<br />

entsprechenden Regler der erforderliche Wert eingestellt. Dabei ist zu beachten, daß<br />

auf Gr<strong>und</strong> <strong>eines</strong> Spannungsteilers im Filter die vom Meßgerät angezeigte Spannung<br />

doppelt so groß ist, wie die wirkliche Spannungsgrenze.<br />

Nun wird bei abgeschalteter Röntgenstrahlung die Maximalamplitude des Signals aus<br />

dem verstärkten Rauschen der elektrischen Komponenten <strong>und</strong> dem Dunkelstrom des<br />

Photomultipliers am Ausgang des Hauptverstärkers gemessen. Durch die Amplitude<br />

ist die am Pulshöhenfilter einzustellende Spannungsuntergrenze UUG gegeben. Diese<br />

wird ganz analog der oberen Grenze über einen Regler am Pulshöhenfilter<br />

eingestellt, wobei das angeschlossene Spannungsmeßgerät den doppelten Wert<br />

anzeigt. Damit sind alle elektrischen Komponenten des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong><br />

einsatzbereit. In Tabelle 3-2 sind die Einstellungen, die sich bei den für diese Arbeit<br />

durchgeführten Messungen bewährt haben, aufgelistet.


Experimentelles 3 - 12<br />

Tab.3-2: Übersicht über die eingestellten Werte an den elektronischen Komponenten des <strong>Guinier</strong>-<br />

<strong>Diffraktometers</strong><br />

Hauptverstärker<br />

Pulshöhenfilter<br />

Gr<strong>und</strong>verstärkungsfaktor: 6<br />

Feineinstellung: 10<br />

Obere Spannungsgrenze UOG = 7,0 V<br />

Untere Spannungsgrenze UUG = 1,5 V<br />

Potomultiplier Spannungsversorgung: -1190 V<br />

Schrittmotor<br />

Arbeitsstrom: 0,65 A<br />

Absenkung: 48 %<br />

Zur Steuerung des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> <strong>und</strong> zur Meßdatenerfassung dient ein<br />

Computer, auf dem die Software „GUINKR“ [19] läuft. Da der größte Teil des<br />

Programms selbsterklärend ist, soll nur kurz auf die Einstellung der Parameter<br />

eingegangen werden, deren Bedeutung nicht ganz so augenfällig ist. Unter dem<br />

Menüpunkt 2 finden sich alle zur Steuerung des Schrittmotors des <strong>Guinier</strong>-<br />

<strong>Diffraktometers</strong> notwendigen Einstellungen. Durch die „Parität“ wird festgelegt,<br />

welcher Drehsinn des Motors zu einer Vergrößerung des Beugungswinkels 2θ führen<br />

soll. Befindet sich der <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> auf Seite 1 in Additionsstellung bzw.<br />

auf Seite 3 in Subtraktionsstellung so ist eine Parität von „-1“ zu wählen. Eine Parität<br />

von „+1“ ist für Seite 1 in Subtraktionsstellung <strong>und</strong> für Seite 3 in Additionsstellung zu<br />

wählen. Nach der Wahl der Parität ist die sogenannte Goniometerkonstante<br />

„TTHGON“ einzustellen. Sie definiert den Nullpunkt der 2θ-Skala bezüglich des<br />

festen Nullpunkts der Hardware des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong>. Der nicht veränderbare<br />

Nullpunkt der Hardware ist durch den Sektorschalter, welcher durch eine<br />

halbkreisförmige Platte in der Mitte des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> betätigt wird,<br />

definiert. Um die Goniometerkonstante zu bestimmen, wird sie zunächst auf Null<br />

gesetzt <strong>und</strong> anschließend der Primärstahl gescannt. Dabei ist auf eine ausreichende<br />

Abschwächung des Strahls zu achten, um einer Überlastung des Photomultipliers<br />

vorzubeugen. Aus dem Scan wird die Mitte des Primärstrahls bestimmt <strong>und</strong> dieser<br />

Winkel als neue Goniometerkonstante eingestellt. Bei ihrem Vorzeichen ist die Parität<br />

zu berücksichtigen. Schließlich kann mit Hilfe der Einstellung der Software-Grenzen<br />

„TTH neg LS“ <strong>und</strong> „TTH pos LS“ dafür Sorge getragen werden, daß der Detektor<br />

nicht unbeabsichtigt in den Primärstrahl oder aus dem maximal zulässigen


Experimentelles 3 - 13<br />

Winkelbereich gefahren werden kann. Tabelle 3-3 faßt die zuletzt eingestellten Werte<br />

für die Parameter in Abhängigkeit des Aufstellungsortes des <strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong><br />

an der Röntgenröhre zusammen.<br />

Tab.3-3: Übersicht über die Parametereinstellungen im Programm „GUINKR“ in Abhängigkeit der Position des<br />

<strong>Guinier</strong>-<strong>Diffraktometers</strong> an der Röntgenröhre<br />

Seite 1 Seite 3<br />

Addition Subtraktion Addition Subtraktion<br />

Parität -1 +1 +1 -1<br />

Goniometerkonstante<br />

TTHGON<br />

Positive Grenze<br />

TTH pos LS<br />

Negative Grenze<br />

TTH neg LS<br />

39,95 50,165 50,342 39.945<br />

100 98 97 102<br />

-2 -10 -11,5 -7<br />

Position auf Justierbasis A6 C2 C2 A6<br />

Bei den in Tabelle 3-3 aufgelisteten Einstellungen der Grenzen des anfahrbaren<br />

Winkelbereichs ist zu beachten, daß dabei der Detektor in den Primärstrahl gefahren<br />

werden kann, was auch im Routinebetrieb des <strong>Diffraktometers</strong>, um beispielsweise die<br />

absolute Null der Winkelskala zu bestimmen, zweckmäßig ist.<br />

Die Elektronik zum Auslesen der Bildplatte ist vollständig von der des <strong>Guinier</strong>-<br />

<strong>Diffraktometers</strong> getrennt <strong>und</strong> teilt sich in mehrere Blöcke auf. Im Gehäuse der<br />

Bildplatte ist neben dem Laser, dem Photomultiplier <strong>und</strong> der Antriebseinheit, ein<br />

Vorverstärker für das aus der Schicht ausgelesene Signal montiert. In einem<br />

zusätzlichen Gehäuse befindet sich neben der Stromversorgung auch ein Teil der<br />

Steuerelektronik der Bildplatte. Der Meßrechner beherbergt einen Analog-Digital-<br />

Wandler für das ausgelesene Signal <strong>und</strong> zwei Steuerkarten für die Antriebe <strong>und</strong><br />

allgemeinen Regelungen der Auslesemechanik der Bildplatte.<br />

Wie wichtig für die empfindliche Elektronik der Bildplatte eine ordentliche Erdung ist,<br />

zeigen die in den Abbildungen 3-7 <strong>und</strong> 3-8 befindlichen Ausschnitte aus Beu-<br />

gungsdiagrammen, welche bei unterschiedlichen Verkabelungen aufgenommen<br />

wurden. Der gemessene Bereich des Beugungswinkel 2θ wurde dabei über die Aus-<br />

lesegeschwindigkeit der Bildplatte von 19,99 Grad pro Sek<strong>und</strong>e in eine Zeitskala


Experimentelles 3 - 14<br />

umgerechnet, um durch die unter den Beugungsdiagrammen jeweils gezeigten<br />

zugehö-


Experimentelles 3 - 15<br />

Abb.3-7: Ausschnitte aus Beugungsdiagrammen <strong>und</strong> der zugehörigen Fourier-Analyse bei unterschiedlicher<br />

Verkabelung von Meßcomputer <strong>und</strong> Bildplatten-Steuerung. Oben: Steuerung <strong>und</strong> Computer an<br />

unterschiedlichen Stromversorgungen; Unten: Meßcomputer <strong>und</strong> Bildplattenelektronik an gleicher<br />

Stromversorgung.


Experimentelles 3 - 16<br />

Abb.3-8: Meßrechner <strong>und</strong> Steuerelektronik der Bildplatte sind an der gleichen Stromversorgung angeschlossen<br />

<strong>und</strong> zusätzlich durch ein Erdungskabel miteinander verb<strong>und</strong>en.<br />

zugehörigen Fouriertransformierten, die Frequenz <strong>eines</strong> Störsignals <strong>und</strong> dessen<br />

Amplitude ermitteln zu können.<br />

Sind Steuerelektronik der Bildplatte <strong>und</strong> Meßcomputer nicht durch eine zusätzlich zu<br />

den Steuerkabeln verlegtes Erdungskabel miteinander verb<strong>und</strong>en <strong>und</strong> an<br />

unterschiedlichen Stromquellen angeschlossen, so führt dies wie in der oberen Hälfte<br />

von Bild 3-7 zu sehen, zu einer starken Überlagerung <strong>eines</strong> mit der Netzfrequenz von<br />

50Hz <strong>und</strong> deren Harmonischen schwingenden Störsignals mit dem Signal des<br />

Beugungsbildes. Durch eine sternförmige Verkabelung der Stromversorgungen des<br />

Meßcomputers, der Bildplattenelektronik <strong>und</strong> der unter der Bildplatte befindlichen<br />

Justierbasis läßt sich diese Störung deutlich verringern. Die sich hieraus ergebende<br />

Änderung des Beugungsbildes ist in der unteren Hälfte der Abbildung 3-7 zu sehen.<br />

Die Harmonischen der Netzfrequenz sind bis auf einen bei 250Hz liegenden Peak<br />

nicht mehr messbar. Auch die Amplitude des mit 50Hz schwingenden Beitrags des<br />

Störsignals ist auf die Hälfte zurückgegangen. Eine weitere Verbesserung kann durch<br />

ein zusätzlich verlegtes Erdungskabel zwischen Meßrechner <strong>und</strong> Steuerelektronik


Experimentelles 3 - 17<br />

erzielt werden, wodurch sich die Amplitude des bei 50Hz schwingenden Anteils<br />

erneut halbieren läßt. Höher frequente Anteile sind dann nicht mehr nachweisbar.<br />

Für die Bildplatte gibt es optional einen Probenhalter mit Heizaufsatz. Die Probe wird<br />

im Ofen in einer Kapillare in der Mitte zweier Keramikstäbe mit je einer Heizwicklung<br />

positioniert. Über der Kapillare mißt ein Thermoelement die Temperatur <strong>und</strong> meldet<br />

sie der Steuerung des Heizaufsatzes. Die Einstellung der Temperatur funktioniert<br />

dabei nach dem Prinzip der ganz allgemein nutzbaren PID-Regelung. Bei dieser Art<br />

der Regelung wird die Stärke der Änderung der zu regelnden Variablen so angepaßt,<br />

daß sie proportional zur Abweichung des Ist-Werts der Variablen vom gewünschten<br />

Soll-Wert ist. Stimmen Ist <strong>und</strong> Soll-Wert überein, so wird die zugeführte Änderung auf<br />

Null gestellt. Die Temperaturregelung erfolgt über die Änderung der zugeführten<br />

Heizleistung. Durch den stets auftretenden Verlust von Wärmeenergie <strong>und</strong> der<br />

entsprechend notwendigen Zuführung von Heizleistung würde nach diesem Prinzip<br />

nie der Soll-Wert erreicht werden, sondern ein stabiler Zustand unterhalb dieses<br />

Wertes. Daher wird bei der PID-Regelung, solange eine Abweichung des<br />

gemessenen Ist-Werts vom Soll-Wert besteht, die der Variablen zugeführte<br />

Änderung ganz langsam erhöht, bis der gewünschte Soll-Wert erreicht wird. Dies<br />

entspricht dem integralen Anteil der Regelung.<br />

Schließlich sorgt der differentielle Teil der Regelung noch für eine Dämpfung <strong>und</strong><br />

damit für die Konstanz der zu regelnden Variablen bei Änderungen durch äußere<br />

Einflüsse. Ein durch die Umgebung herbeigeführter schneller Abfall der Variablen<br />

wird durch einen starken Zuwachs durch die Regelung kompensiert, ein langsamer<br />

Anstieg wird durch eine schwache Abnahme ausgeglichen. Damit ergibt sich<br />

insgesamt ein Proportional, Integral <strong>und</strong> Differential Regler.<br />

Zur Regulierung der Heizleistung wird häufig eine sogenannte Pulsweiten-Modulation<br />

eingesetzt. Dabei wird die Leistung über den Unterschied zwischen den zeitlichen<br />

Längen innerhalb derer die Heizwendel stromdurchflossen bzw. stromlos ist,<br />

geregelt. Bei einer Leistung von 50% sind Puls <strong>und</strong> Pause gleich lang, dagegen<br />

beträgt bei einer Leistung von 75% die Dauer im eingeschalteten Zustand dreiviertel<br />

der Gesamtperiodenlänge, während die Heizwendel nur für ein Viertel der<br />

Periodenlänge ausgeschaltet ist. Die Periodenlänge muß auf die Wärmekapazität<br />

des Ofens angepaßt sein.


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 2<br />

Da der Bremsprozeß der Elektronen<br />

statistischen Gesetzen gehorcht, folgt die<br />

Intensitätsverteilung dem Maxwellschen Ver-<br />

teilungssatz <strong>und</strong> hat somit bei 1,5⋅λmin ihr<br />

Maximum.<br />

Bei entsprechend hoher Beschleunigungs-<br />

spannung, reicht die kinetische Energie der<br />

Elektronen aus, kernnahe Elektronen in<br />

ungeb<strong>und</strong>ene Kontinuumszustände zu<br />

heben. Die dadurch freiwerdenden Zustände<br />

werden sukzessive durch Elektronen aus<br />

höheren Energieniveaus aufgefüllt, bis sich<br />

das Atom schließlich wieder in einem<br />

abgeregten Zustand befindet. Da die Energie-<br />

unterschiede zwischen den einzelnen Quan-<br />

tenzuständen des Atoms genau definiert sind,<br />

werden bei diesen Elektronenübergängen elektromagnetische Quanten in einem<br />

sehr engen Energiebereich frei. Das sich hieraus ergebende Linienspektrum ist über<br />

das atomare Energieniveauschema stark vom Anodenmaterial abhängig <strong>und</strong> wird<br />

daher als charakteristische Röntgenstrahlung bezeichnet. Es ist der weißen<br />

Bremsstrahlung überlagert.<br />

Die Dimensionen des Brennflecks auf der<br />

Anode entsprechen weitgehend denen der<br />

Glühwendel, können aber durch einfache<br />

elektronenoptische Maßnahmen wie einem<br />

Wehnelt-Zylinder verkleinert werden.<br />

Heutige Feinfokusröhren haben typische<br />

Brennfleckgrößen von 0,4 x 8mm 2 . Dies<br />

kann durch die perspektivische Verkürzung<br />

verkleinert werden. Betrachtet man, wie in<br />

Abb.2-2: Spektrum einer Molybdänröhre bei<br />

35 kV [02].<br />

Abb.2-3: Brennfleck auf der Anode <strong>und</strong> seine<br />

Projektion als Punkt bzw. Strich.<br />

Maßverhältnisse gelten für a:b=1:10<br />

[01].<br />

Bild 2-3 dargestellt, den Brennfleck unter einem flachen Winkel, so erscheint er in<br />

Blickrichtung mit dem Tangens des Abnahmewinkels verkürzt. Bei Verwendung der<br />

charakteristischen Strahlung erhöht sich zusätzlich im gleichen Maße seine<br />

Leuchtstärke in dieser Richtung, da die Strahlintensität jedes Oberflächenelements


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 3<br />

richtungsunabhängig ist <strong>und</strong> somit die von den in Blickrichtung liegenden<br />

Oberflächenelementen ausgehende Strahlung aufaddiert wird. Durch die vier<br />

senkrecht zueinander angeordneten Röhrenfenster können auf diese Weise bei<br />

einem rechteckförmigen Brennfleck sowohl zwei Strich- als auch zwei Punktfokusse<br />

zum Experimentieren genutzt werden.<br />

2.2 Monochromatisierung der Strahlung<br />

Für Strukturuntersuchungen ist es von großer Bedeutung, daß der auf die Probe<br />

treffende Primärstrahl möglichst monochromatisch <strong>und</strong> lichtstark ist. Spektren von<br />

Röntgenröhren bestehen allerdings sowohl aus mehreren charakteristischen Linien<br />

als auch dem kontinuierlichen Bremsstrahlspektrum, so daß der von der Röhre<br />

emittierte Strahl zunächst monochromatisiert werden muß. Der polychromatische<br />

Strahl wird zum Zwecke der Monochromatisierung an einem Kristall gebeugt, wobei<br />

sich nach der Braggschen Gleichung, die gewünschte Wellenlänge in Abhängigkeit<br />

der beugenden Netzebenen über eine entsprechende Wahl des Einfallswinkels<br />

einstellen läßt. Nachteil dieser Methode ist, daß nur ein sehr kleiner Winkelbereich<br />

der in allen Richtungen nahezu isotropen Abstrahlcharakteristik der Röhre<br />

Verwendung findet, d.h. ein entsprechend großer Teil der erzeugten Strahlleistung<br />

ungenutzt bleibt. Dies läßt sich teilweise durch den Einsatz <strong>eines</strong> gebogenen<br />

Monochromatorkristalls beheben. In diesem Feld hat sich vor allem der<br />

Monochromator nach Johansson [03] bewährt.<br />

Ein Einkristall wird parallel zu den gewünschten, reflektierenden atomaren<br />

Netzebenen konkav zylindrisch mit einem Radius R angeschliffen <strong>und</strong> anschließend<br />

achsenparallel auf den Radius r gebogen (Abbildung 2-4). Beim Biegen wird eine<br />

Strecke s auf der Oberfläche des Kristalls auf die Länge s‘=c⋅s verkürzt. Der Winkel α<br />

- nach dem Biegen β - zwischen der Netzebenen- <strong>und</strong> der Oberflächennormale ergibt<br />

sich zu:<br />

s<br />

α = ,<br />

R<br />

s c ⋅ s<br />

= =<br />

r r<br />

´<br />

β (Gl. 2-3, 2-4).<br />

Gehen alle Atomebenennormalen durch den Punkt P, so werden alle Strahlen die auf<br />

die Kristalloberfläche unter dem nach der Braggschen Bedingung geforderten Winkel


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 4<br />

Abb.2-4: Einkristallplatte nach Anschleifen mit Radius R <strong>und</strong> anschließendem Biegen auf Radius r [03].<br />

treffen, auf ein <strong>und</strong> denselben Punkt auf dem Zylinder reflektiert. Daraus ergibt sich<br />

folgende Forderung an den Winkel dψ:<br />

1 s � c 2 � s´<br />

� 1 2 �<br />

dψ = ( β − 2α<br />

) = � − � =<br />

= 0<br />

2 2 2<br />

�<br />

� − �<br />

� (Gl. 2-5).<br />

� r R � � r c R �<br />

Bei reiner elastischer, d.h. gleit- <strong>und</strong> schubfreier, Biegung gibt es in der Mitte eine<br />

Schicht nn, deren Länge sich nicht geändert hat <strong>und</strong> c kann so<br />

s<br />

sn<br />

R<br />

= ,<br />

R + d<br />

s´<br />

r<br />

=<br />

s r + d<br />

berechnet werden. Wird dies<br />

<strong>und</strong> 2r=R-dR in dψ eingesetzt,<br />

so ergibt sich aus dψ=0 die<br />

Forderung dr=d <strong>und</strong> damit,<br />

wenn die Kristalldicke gegen-<br />

über dem Biegeradius vernach-<br />

läßigt werden kann, die Fokus-<br />

sierungsbedingung: R=2r. Dies<br />

zeigt, daß eine Kristallplatte,<br />

wenn sie zunächst auf 2R<br />

geschliffen <strong>und</strong> anschließend<br />

auf R gekrümmt wird, einen<br />

n<br />

�<br />

s<br />

c = =<br />

s<br />

´<br />

!<br />

r<br />

R<br />

R + d<br />

⋅<br />

r + d<br />

Abb.2-5: Zusammenhänge beim asymmetrisch<br />

geschnittenen gebogenen Monochromator.<br />

(Gl. 2-6, 2-7, 2-8)


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 5<br />

strichförmigen, auf dem Fokalzylinder liegenden, Brennfleck wieder auf einen Strich<br />

auf diesem Zylinder abbildet, dabei die Strahlung monochromatisiert <strong>und</strong> die<br />

Divergenz des Strahls ausnutzt.<br />

Um den Abstand zwischen Brennfleck <strong>und</strong> dem Monochromatorkristall zu verkürzen<br />

<strong>und</strong> damit einen noch größeren Winkelbereich der Abstrahlcharakteristik der<br />

Röntgenröhre auszunutzen, wird heute der Kristall nicht mehr parallel zu den beu-<br />

genden Netzebenen geschliffen sondern unter dem sogenannten Miscut-Winkel τ.<br />

Wie in Bild 2-5 ersichtlich, ergeben sich dann die Winkel α bzw. β zwischen<br />

einfallenden bzw. ausfallenden Strahl <strong>und</strong> der Kristalloberfläche zu:<br />

α θ −τ<br />

= <strong>und</strong> β = θ + τ (Gl. 2-9, 2-10).<br />

Nach Scherm <strong>und</strong> Krüger [06] folgt hieraus für die Strecken a zwischen Brennfleck F<br />

<strong>und</strong> Kristallmitte <strong>und</strong> b zwischen Mitte <strong>und</strong> Fokalpunkt F´:<br />

sinα<br />

2 ⋅<br />

R<br />

a = <strong>und</strong> sin β<br />

2 ⋅<br />

R<br />

b = (Gl. 2-11, 2-12).<br />

Durch das Schneiden des Kristalls unter dem Miscut-Winkel τ erwächst noch ein<br />

weiterer Vorteil. Die auf den Monochromator auftreffende Strahlung wird bekanntlich<br />

nicht nur direkt an der Oberfläche gebeugt, sondern dringt vorher auch bis zu einer<br />

Tiefe t in den Kristall ein. Diese Eindringtiefe ist durch Absorption <strong>und</strong> Extinktion<br />

festgelegt. Nach Hofmann et al. [04] kann die hieraus resultierende Linienbreite ls im<br />

Fokus des Monochromators, unter Vernachlässigung der Extinktion, wie folgt<br />

berechnet werden:<br />

l (Gl. 2-13).<br />

s<br />

= t ⋅cos<br />

( θ M + τ )<br />

Mit einer Vergrößerung des Miscut-Winkels<br />

geht somit eine Verkleinerung der<br />

Fokallinienbreite einher.<br />

Im Spektrum der Röntgenröhre hebt sich die<br />

Wellenlänge Kα1 gegenüber den anderen<br />

Wellenlängen der charakteristischen Strahlung<br />

durch ihre Intensität hervor, weshalb<br />

vornehmlich auf diese Wellenlänge mono-<br />

chromatisiert wird. Aus der Forderung nach<br />

Trennbarkeit der direkt benachbarten Wellen-<br />

längen Kα1 <strong>und</strong> Kα2 ergibt sich nach Hofmann<br />

Abb.2-6: Korrelation zwischen Brennfleckbreite<br />

<strong>und</strong> reflektiertem<br />

Wellenlängenbereich [04].


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 6<br />

et al. [04] auch eine Forderung an die Größe des Brennflecks. Nach der Braggschen<br />

Gleichung entspricht ein Winkelbereich einem gebeugten Wellenlängenbereich, d.h.<br />

zwei Wellenlängen können nur dann getrennt werden, wenn ihre Quellfläche aus<br />

Sicht des monochromatisierenden Kristalls kleiner ist als die entsprechende<br />

Winkeldifferenz (Abbildung 2-6). Damit ergibt sich die maximal erlaubte<br />

Brennfleckgröße zu<br />

B<br />

a<br />

tan<br />

λ<br />

− λ<br />

Kα<br />

2 Kα1<br />

≤ ⋅ θ K ⋅<br />

(Gl. 2-14) ,<br />

λKα<br />

falls die Wellenlängen Kα1 <strong>und</strong> Kα2 noch voneinander getrennt werden sollen.<br />

2.3 Detektion von Röntgenstrahlung<br />

2.3.1 Der Szintillationszähler<br />

Ursprünglich wurden bei <strong>Guinier</strong>kameras Photofilme zur Aufzeichnung des<br />

Beugungsbildes verwendet. Mit der Verfügbarkeit von elektrisch-optischen<br />

Detektoren, wie Gas-Proportionalzähler <strong>und</strong> Szintillationszähler, wurden jedoch die<br />

Filmdetektoren zunehmend ersetzt, da<br />

die elektrisch-optischen Detektoren einen<br />

größeren dynamischen Intensitätsbereich<br />

besitzen <strong>und</strong> die Meßdaten direkt in einer<br />

für die computergestützte Auswertung<br />

passenden Form liefern. Es soll im<br />

Folgenden nur auf den Szintillations-<br />

zähler näher eingegangen werden, da er<br />

in dem in dieser Arbeit beschriebenen<br />

Diffraktometer eingesetzt wird.<br />

In Bild 2-7 ist der generelle <strong>Aufbau</strong> <strong>eines</strong><br />

solchen Detektors gezeigt. Über ein<br />

dünnes Fenster trifft die Röntgen-<br />

strahlung auf einen Szintillatorkristall. Bei<br />

diesem handelt es sich zumeist um einen<br />

NaI-Kristall, der gezielt mit Thallium<br />

dotiert wurde. Durch die eingestrahlte<br />

Abb.2-7: Schematische Darstellung <strong>eines</strong><br />

Szintillationszählers.


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 7<br />

Röntgenenergie kann zum einen ein Elektron vom Valenz- in das Leitungsband<br />

gehoben werden, wodurch sich ein freier negativer Ladungsträger im Leitungsband<br />

<strong>und</strong> ein freies Loch im Valenzband ergibt. Zum anderen kann aber auch ein über die<br />

Coulomb-Wechselwirkung gekoppeltes Elektronen-Loch-Paar (Exziton), welches sich<br />

trotz der Kopplung frei im Kristall bewegen kann, erzeugt werden. Beide Arten von<br />

Löchern können, wenn sie bei ihrer Bewegung durch das Gitter auf eine<br />

Verunreinigung stoßen, diese ionisieren. Hierdurch entstehen in der Bandlücke<br />

diskrete Energieniveaus, über die angeregte Elektronen des Leitungsbandes in ihren<br />

Gr<strong>und</strong>zustand zurückkehren können. Die dabei ausgesandten Photonen haben eine<br />

größere Wellenlänge (bei NaI(Tl): λ=410nm [07]) als die ursprünglich zu<br />

detektierenden Röntgenquanten.<br />

Diese vielen kleinen Lichtblitze lösen in der an den Szintillationskristall angrenzenden<br />

Photokathode des Photomultipliers, Elektronen nach dem Photoeffekt aus. Eine<br />

Elektronenoptik sorgt dafür, daß die über der gesamten Fläche der Kathode verstreut<br />

austretenden Elektronen gebündelt auf der ersten Dynode ankommen. Bei ihrem<br />

Auftreffen geben sie einen Teil ihrer kinetischen Energie an die Dynode ab, wodurch<br />

von dieser Sek<strong>und</strong>ärelektronen emittiert werden. Eine weitere auf einem höheren<br />

Potential liegende Dynode zieht die nun vergrößerte Zahl von Elektronen an <strong>und</strong><br />

beschleunigt sie ebenfalls. Abermals werden durch das Auftreffen Sek<strong>und</strong>är-<br />

elektronen generiert. Auf diese Weise wächst durch die kaskadenartige Schaltung<br />

der Dynoden die Zahl der Elektronen lawinenartig an. Nach Leo [07] erreichen<br />

gewöhnliche Photomultiplier mit 10 bis 14 Stufen einen Verstärkungsfaktor von 10 7 .<br />

Durch den Widerstand an der letzten Dynode, wird durch den Fluß der auftreffenden<br />

Elektronen ein Spannungsstoß erzeugt, dessen Höhe proportional zur Energie des<br />

auslösenden Röntgenquants ist. Zur weiteren Auswertung wird das Signal zunächst<br />

noch einmal verstärkt <strong>und</strong> dann auf einen Einkanalanalysator, der auch als<br />

Pulshöhenfilter bezeichnet wird, gegeben. Dieser besitzt eine einstellbare Unter- <strong>und</strong><br />

Obergrenze für die Spannung des eingehenden Signals. Nur wenn die Signalhöhe im<br />

eingestellten „Spannungsfenster“ liegt, darf es den Filter passieren <strong>und</strong> wird<br />

gleichzeitig in ein leicht zählbares rechteckförmiges Digitalsignal umgewandelt. Sind<br />

die beiden Spannungsgrenzen der charakteristischen Linie der Röntgenröhre<br />

angepaßt, so ergibt sich durch diesen <strong>Aufbau</strong> eine Art „Sek<strong>und</strong>ärmonochromator“.<br />

Die untere Grenze siebt das Rauschen der elektronischen Komponenten <strong>und</strong> den<br />

Dunkelstrom des Photonenvielfachverstärkers aus. Durch Höhenstrahlung verur-


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 8<br />

sachte Szintillationen werden auf Gr<strong>und</strong> der Obergrenze herausgefiltert. Hieraus<br />

ergibt sich ein ausgezeichnetes Peak zu Untergr<strong>und</strong>-Verhältnis.<br />

2.3.2 Detektion mittels Bildplatte<br />

Will man beispielsweise das Verhalten einer Substanz bei einem Phasenübergang<br />

studieren, so ist hierfür die Messung einer ganzen Reihe von Beugungsdiagrammen<br />

mit Variation der, den Phasenübergang hervorrufenden, thermodynamischen<br />

Variablen wie Druck oder Temperatur von Nöten. Somit ist es von großem Vorteil,<br />

wenn die Beugungsaufnahmen möglichst rasch erhalten werden, um zum einen die<br />

Gesamtmeßzeit klein zu halten <strong>und</strong> zum anderen um die Forderung nach Konstanz<br />

der entsprechenden Variablen während einer jeden Aufnahme zu entschärfen.<br />

Für solche Meßreihen sind vor allem sogenannte Bildplatten ideale Detektoren, da<br />

sie das Beugungsbild nicht Schritt für Schritt aufnehmen sondern über den gesamten<br />

Winkelbereich gleichzeitig, was zu einer entsprechenden Verkürzung der Meßzeit<br />

führt. Des weiteren weisen Bildplatten einen hohen dynamischen Empfindlichkeits-<br />

bereich von fünf Größenordnungen auf, d.h. sie sind empfindlich genug um kleine<br />

Beugungsreflexe aufnehmen zu können, werden aber trotzdem nicht durch sehr<br />

starke Reflexe gesättigt. Ein möglicher <strong>Aufbau</strong> einer Bildplatte ist in Bild 2-8 zu sehen<br />

Abb.2-8: Schematische Darstellung der Funktionsweises einer Bildplatte; Zur Belichtung<br />

werden Spiegel <strong>und</strong> Laser nach unten gefahren; Beim Auslesevorgang werden sie<br />

um die Mittelachse des Spiegels gedreht [08].


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 9<br />

ist. Bildplatten speichern während der Belichtung das Beugungsbild (über den<br />

gesamten Winkelbereich gleichzeitig) als latentes Bild in einer lösch- <strong>und</strong><br />

wiederbeschreibbaren Schicht europiumdotierter Bariumhalogenide. Nach<br />

Munekawa et al. [09] wird hierfür seit 1989 wegen der, durch die höhere Absorption<br />

des Iodids, gesteigerten Empfindlichkeit BaFBr0.85I0.15:Eu 2+ an Stelle von BaFBr:Eu 2+<br />

verwendet. Die belichtete Schicht wird nach Experimentende in wenigen Sek<strong>und</strong>en<br />

ausgelesen <strong>und</strong> steht dann, nach dem Löschen mit hellem weißen Licht, zur<br />

nächsten Belichtung bereit.<br />

Bei der Belichtung geht die Energie der von der Schicht absorbierten<br />

Röntgenquanten auf Eu 2+ -Ionen über. Diese werden hierdurch zu Eu 3+ oxidiert,<br />

wodurch Elektron in das Leitungsband gelangen. Gitterdefekte, die sich beim<br />

Herstellungsprozeß ergeben <strong>und</strong> sich in Leerstellen des Halogenids Br –<br />

manifestieren, erzeugen metastabile Zustände ungefähr 2eV unterhalb des<br />

Leitungsbandes. Von diesen sogenannten Farbzentren werden die freien Elektronen<br />

eingefangen. Hier verweilen sie, bis sie während des Ausleseprozesses durch rotes<br />

Laserlicht (λ=658nm) zurück in das Leitungsband gehoben werden <strong>und</strong> von dort<br />

durch Aussenden <strong>eines</strong> Photons mit λ=390nm über photostimulierte Lumineszenz<br />

mit Eu 3+ rekombinieren. Ein dichroitischer Spiegel, über den zuerst das stimulierende<br />

Laserlicht auf die Schicht gelenkt wurde, sorgt nun dafür, daß nur die Photonen aus<br />

der Lumineszenz auf einen Photomultiplier (PMT) treffen, der ihre Intensität in ein<br />

Abb.2-9: Relative Unsicherheit der Signalhöhe als Funktion der pro Pixel aufgetroffenen Photonenzahl.<br />

Kreise für MoKα-, Punkte für CuKα- Strahlung. Ein idealer Detektor ist durch die durchgezogene<br />

Gerade repräsentiert [11].


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 10<br />

analoges elektrisches Signal umwandelt. Durch das Laserlicht werden nach Ståhl<br />

[10] nur r<strong>und</strong> 30% der F-Zentren angeregt, so daß mehrmals nacheinander<br />

ausgelesen werden sollte. Um die verbleibenden besetzten Farbzentren abzuregen,<br />

wird die belichtete Schicht schließlich durch ein intensives weißes Licht wieder in den<br />

Anfangszustand versetzt <strong>und</strong> kann wieder neu belichtet werden. Bei der Auswertung<br />

der erhaltenen Beugungsdiagramme ist vor allem zu beachten, daß das durch die<br />

Bildplatte erhaltene Signal nach Amemiya et al. [11] nicht mehr streng Poisson<br />

verteilt ist. In Abbildung 2-9 ist der Quotient aus der Standardabweichung N des<br />

gemessenen Signals <strong>und</strong> dessen Höhe S, über der Zahl der auftreffenden Photonen<br />

pro Pixel aufgetragen. Für einen idealen, der Possion-Verteilung gehorchenden<br />

Detektor ergibt sich bei dieser Darstellung die durchgezogene Gerade. Der<br />

statistische Meßfehler bei einer Bildplatte wird für Mo Kα-Strahlung durch die leeren<br />

Kreise bzw. für Cu Kα-Strahlung durch die gefüllten Kreise wiedergegeben. Ein stets<br />

auftretendes Untergr<strong>und</strong>signal, wie es zum einen durch den Dunkelstrom der<br />

Photomultiplier-Röhre verursacht wird <strong>und</strong> zum anderen durch das Rauschen aller<br />

elektronischen Elemente der Bildplatte, sorgt für einen Abweichung von der Poisson-<br />

Statistik bei geringen Belichtungsstärken. Der Ausleseprozeß der Bildplatte ist relativ<br />

komplex, wodurch sich viele kleine Fehler aufaddieren, außerdem ist die Signalhöhe<br />

durch die Sättigung der Schicht <strong>und</strong> der Totzeit des Photomultipliers begrenzt.<br />

Hieraus ergibt sich bei hohen Beugungsintensitäten eine Diskrepanz gegenüber dem<br />

idealen Detektor, bei dem sich die Unsicherheit des gemessenen Signals über die<br />

Vergrößerung seiner Höhe beliebig verkleinern läßt, da der Fehler langsamer<br />

ansteigt als die Signalhöhe.<br />

Neben den Vorteilen besitzen Bildplatten auch einen Ernst zu nehmenden Nachteil.<br />

Da die Elektronen bei der Anregung durch Röntgenquanten in ein Band gehoben<br />

werden, findet ab einer Mindestenergie keine Selektion bezüglich der Wellenlänge<br />

mehr statt. Die Bildplatte ist nicht energieselektiv. Hierdurch ist sie sehr empfindlich<br />

gegenüber inkohärenter Streuung durch beispielsweise Fluoreszenz oder<br />

Luftstreuung um den Primärstrahl, was auch von St hl [10] festgestellt wurde. Die in<br />

Bild 2-10 dargestellt Messung von Tantaloxid zeigt die durch die Luftstreuung um<br />

den Primärstrahl verursachte Zunahme des Untergr<strong>und</strong>s zu kleineren Beugungs-<br />

winkeln.


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 11<br />

Abb.2-10: Mit Bildplatte aufgenommenes Beugungsdiagramm von Tantaloxid.<br />

2.4 Intensitätskorrektur<br />

Bei <strong>Guinier</strong>-Diffraktometern werden<br />

die an der Pulverprobe gebeugten<br />

Intensitäten auf einem Zylinder, an<br />

dem die Probe tangential anliegt,<br />

detektiert (Abbildung 2-11). Hieraus<br />

ergibt sich eine Abhängigkeit der<br />

Wegstrecke zwischen Präparat <strong>und</strong><br />

Detektor vom Beugungswinkel 2θ<br />

<strong>und</strong> damit verb<strong>und</strong>en, eine unter-<br />

schiedlich starke Abschwächung<br />

der gebeugten Röntgenstrahlung.<br />

Die gemessenen Intensitäten IMeß sind somit noch nicht direkt miteinander<br />

vergleichbar. Über den Thales-Satzes ergibt sich die Weglänge s zu:<br />

( 2θ<br />

)<br />

s = 2R ⋅ cos (Gl. 2-15).<br />

Von der an der Probe gebeugten Strahlung wird nur der Teil<br />

I Meß −µ<br />

( Luft)<br />

⋅s<br />

I<br />

Probe<br />

= e<br />

Abb.2-11: Strahlengang der gebeugten Röntgenstrahlung;<br />

der Kreis stellt die Position des<br />

detektierenden Mediums dar.<br />

(Gl. 2-16)


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 12<br />

vom Detektor registriert. Um den dem Detektor zugänglichen Bereich des<br />

Beugungswinkels 2θ den Erfordernissen der Messung anpassen zu können, kann<br />

der Winkel unter dem der Primärstrahl auf die Probe trifft, variiert werden. Dabei<br />

werden hauptsächlich zwei Fälle unterschieden. Beim symmetrischen Fall trifft der<br />

Primärstrahl die Probe senkrecht. Dann ergeben sich die wahren Intensitäten nach<br />

folgender Korrektur:<br />

IPr Meß Luft<br />

( µ ⋅2<br />

⋅cos(<br />

2θ<br />

) )<br />

= I ⋅exp<br />

R<br />

obe (Gl. 2-17).<br />

Beim asymmetrischen Fall trifft der Primärstrahl unter einem Winkel von 45° auf die<br />

Probe <strong>und</strong> die Wegstrecke s ist durch den Ausdruck<br />

( 45°<br />

2θ<br />

)<br />

s = 2R ⋅ cos − (Gl. 2-18)<br />

bestimmt. Die wahren Intensitäten ergeben sich nach folgender Korrektur:<br />

I Pr mess<br />

Luft<br />

= I ⋅ exp R<br />

( µ ⋅ 2 ⋅ cos ( 45°<br />

− 2θ<br />

) )<br />

obe (Gl. 2-19).<br />

Nach Allmann [05] ist der lineare Absorptionskoeffizient µLuft von Luft bei einer<br />

Zusammensetzung von 78,08 Vol.% für N2, 23,17 Vol.% für O2 <strong>und</strong> 0,93 Vol.% für Ar<br />

unter Normalbedingungen gleich 0,014cm -1 . Für eine Raumtemperatur von 295K läßt<br />

sich hieraus ein Wert von µLuft (295K)=0,013cm -1 ableiten.<br />

2.5 Reflexintensität<br />

Die gemessenen Intensitäten der Röntgenreflexe - <strong>und</strong> auch deren Profilform –<br />

werden, neben den Einflüssen durch die Kristallstruktur der beugenden Substanz,<br />

auch wesentlich durch instrumentelle Gegebenheiten des <strong>Diffraktometers</strong> geprägt.<br />

Unter Berücksichtigung aller relevanter Faktoren läßt sich die gebeugte Intensität<br />

<strong>eines</strong> Reflexes hkl folgendermaßen berechnen:<br />

( L ⋅ P ⋅G<br />

) ⋅ ( A⋅<br />

E)<br />

2<br />

hkl<br />

I = S ⋅<br />

⋅ H ⋅ F (Gl. 2-20).<br />

Im Skalierungsfaktor S spiegelt sich die Abhängigkeit der Intensität von der<br />

Primärstrahlintensität I0 <strong>und</strong>, durch seine Proportionalität zur dritten Potenz der<br />

verwendeten Wellenlänge λ, von der Energie der Strahlung wider. Durch den<br />

Lorentzfaktor L, den Polarisationsfaktor P <strong>und</strong> schließlich dem Geometriefaktor G<br />

finden geometrische Einflüsse, die durch die verwendete Aufnahmetechnik, wie<br />

beispielsweise <strong>Guinier</strong> oder Bragg-Brentano, gegeben sind, <strong>und</strong> die Abstrahl-<br />

charakteristik der beugenden Atome ihre Berücksichtigung. Da nur Reflexe<br />

beobachtet werden, deren reziproker Gitterpunkt auf der Ewaldkugel liegt, kann bei


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 13<br />

Einkristalldiffraktometern mittels der Drehkreise der Kristall <strong>und</strong> damit das reziproke<br />

Gitter gedreht werden. Bei Pulveraufnahmen entspricht dieser Drehung die<br />

statistische Verteilung der Normalen der Oberflächen <strong>und</strong> damit der Netzebenen der<br />

Kristallite. Eine endliche Monochromasie <strong>und</strong> Divergenz der Strahlung bewirkt eine<br />

Ausdehnung der Ewaldkugel zu einer Schale mit nichtverschwindender Dicke.<br />

Zusätzlich nimmt bei einem Realkristall jeder reziproke „Gitterpunkt” einen Bereich<br />

ein, so daß Reflexe mit großem Beugungswinkel (2θ=180°) wegen ihrer fast<br />

tangentialen Bewegung zur Kugelschale gegenüber denen bei 2θ=90° übergewichtet<br />

werden. Dies wird durch den Lorentzfaktor<br />

korrigiert.<br />

1<br />

L =<br />

(Gl. 2-21)<br />

sin<br />

( 2θ<br />

) sinθ<br />

Mit steigendem Beugungswinkel wird die von der konstant bleibenden Zahl von<br />

beleuchteten Kristalliten der Probe gebeugte Intensität auf den Umfang immer<br />

größerer Lauekegel verteilt ( ∝ cosθ<br />

), wohingegen der Detektor immer dieselbe<br />

Fläche sieht ( ∝ 1/<br />

sin 2θ<br />

). Die daraus resultierende Verringerung der Reflexintensität<br />

zu Winkeln 2θ=90° ist allen Pulverbeugungsmethoden gemein <strong>und</strong> wird durch den<br />

Geometriefaktor<br />

( θ )<br />

( 2θ<br />

)<br />

cos<br />

G = (Gl. 2-22)<br />

sin<br />

berücksichtigt. Auf Gr<strong>und</strong> der Abstrahlcharakteristik <strong>eines</strong> Dipols, wird bei der<br />

Beugung der Polarisationsanteil des elektrischen Feldvektors der Strahlung parallel<br />

zur Reflektionsebene nicht beeinflußt, während der senkrecht dazu stehende Anteil<br />

eine winkelabhängige Schwächung erfährt. Dieser Effekt tritt sowohl bei der<br />

Reflektion am Monochromatorkristall, als auch bei der Beugung an der Probe auf <strong>und</strong><br />

führt zum Polarisationsfaktor<br />

2 ( 2θ<br />

) ⋅ cos ( 2θ<br />

M )<br />

2<br />

cos ( 2θ<br />

)<br />

2<br />

1+<br />

cos<br />

P = (Gl. 2-23).<br />

1+<br />

M<br />

Wie im vorherigen Abschnitt bereits festgestellt, wird die gebeugte Strahlung durch<br />

Absorption geschwächt. Zum einen geschieht dies, wie oben dargestellt, durch<br />

Luftmoleküle, zum anderen durch die Probe selbst. Letztere ist über die<br />

unterschiedlichen Weglängen durch das beugende Pulver <strong>und</strong> dessen Träger,<br />

winkelabhängig <strong>und</strong> findet über den Absorptionskoeffizienten A entsprechende


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 14<br />

Beachtung. Nach Allmann [05] ist er für transparente Proben in<br />

Transmissionsgeometrie durch den Ausdruck<br />

bzw. bei Kapillaren (Zylinder) durch<br />

( − µ cosθ<br />

)<br />

exp d<br />

A = (Gl. 2-24)<br />

cosθ<br />

2<br />

{ − ( c + c sin θ ) ⋅ R}<br />

A ≈ exp µ (Gl. 2-25)<br />

1<br />

2<br />

gegeben. Dabei ist c1=1,6598 , c2=-0,2832 <strong>und</strong> R der Radius der Kapillaren. Das<br />

Produkt aus dem linearen Absorptionskoeffizienten <strong>und</strong> der effektiven Dicke d, in der<br />

der Füllfaktor des Pulvers berücksichtigt ist, kann durch Messung der Intensität<br />

einmal mit <strong>und</strong> einmal ohne Probe bestimmt werden. Extinktion spielt bei Pulver-<br />

messungen nur in Ausnahmefällen eine Rolle, so daß die zugehörige Korrektur E<br />

gleich Eins gesetzt werden kann.<br />

Über den Flächenhäufigkeitsfaktor H wird die Zahl der äquivalenten Netzebenen, die<br />

unter dem gleichen Winkel beugen, d.h. zum selben Reflex Intensität beitragen, be-<br />

rücksichtigt.<br />

Schließlich geht noch der die eigentliche Beugung beschreibende Strukturfaktor Fhkl,<br />

besser gesagt sein Absolutwert, die Strukturamplitude, ein. Er ist die Summe aus den<br />

Atormformfaktoren fj aller Atome in der Elementarzelle, gewichtet mit deren<br />

Temperaturfaktor <strong>und</strong> dem Phasenfaktor der einzelnen, von Atomen abgestrahlten,<br />

Teilwellen. Die allgemeine Formel des Strukturfaktors ist:<br />

�<br />

2 2<br />

( − B ⋅sin<br />

θ λ ) ⋅exp(<br />

2 i(<br />

hx + ky + lz )<br />

F = f ⋅exp<br />

π<br />

hkl<br />

2.6 Reflexprofil<br />

j<br />

j<br />

j<br />

j<br />

j<br />

j<br />

(Gl. 2-26).<br />

Neben der Intensität ist auch das Reflexprofil von Bedeutung. Um so stärker mehrere<br />

Reflexe überlappen, um so schwieriger ist es ihre einzelnen Intensitäten exakt zu<br />

messen. Die Breite der Reflexe ist durch Einflüsse durch den Monochromatorkristall<br />

<strong>und</strong> durch die Probe bestimmt. Nach Hofmann et al. [04] gibt es vier Beiträge des<br />

Monochromators zur Linienbreite. Aufgr<strong>und</strong> des Intensitätsgewinns durch eine<br />

gewisse Mosaizität des Monochromatorkristalls, ist eine gewisse Verkippung ∆τ der<br />

Netzbenenlagen der einzelnen Mosaikblöcke zueinander, erwünscht. Jedoch<br />

resultiert aus ihr ein Linienbreitenbeitrag von<br />

l = 2 b ⋅ ∆τ<br />

(Gl. 2-27).<br />

∆τ


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 15<br />

Dabei ist b der Abstand zwischen der Mitte des Monochromatorkristalls <strong>und</strong> seiner<br />

Fokallinie. Des weiteren kann die Röntgenstrahlung vor der Beugung bis zu einer<br />

Tiefe t in den Kristall eindringen, wodurch der Ausgangsort der gebeugten Strahlung<br />

nicht mehr strikt festgelegt ist. Nach Hofmann et al. [04] kann dabei die Eindringtiefe<br />

durch die Halbwert-Absorptionsschicht abgeschätzt werden. Die dadurch bedingte<br />

Breite der Fokallinie ist durch<br />

( θ + τ )<br />

ls = t ⋅ cos M (Gl. 2-28)<br />

gegeben, wobei τ der Winkel zwischen den beugenden Netzebenen <strong>und</strong> der<br />

Oberfläche <strong>und</strong> θM der Monochromatorwinkel ist. Auch die lineare Teilchengröße<br />

führt nach Hofmann et al. [04] bei einem Abstand b zwischen Kristallmitte <strong>und</strong><br />

Fokallinie zu einem Linienbreitenbeitrag von<br />

l<br />

GM<br />

λ cosτ<br />

= b⋅<br />

⋅ (Gl. 2-29).<br />

t cosθ<br />

M<br />

Der letzte Beitrag des Monochromators zu einer Verbreiterung der Röntgenreflexe<br />

wird durch chromatische Dispersion der spektralen Halbwertsbreite dλ der Eigen-<br />

strahlung bei der Beugung am Monochromatorkristall verursacht. Hierbei ist der<br />

zugehörige Linienbreitenbeitrag durch<br />

dλ<br />

lλ = b⋅<br />

⋅ tanθ<br />

M (Gl. 2-30)<br />

λ<br />

bestimmt. Fällt der Primärstrahl nicht<br />

senkrecht auf die Probe, so sind die<br />

Beiträge des Monochromators zur<br />

Reflexbreite noch mit dem Faktor<br />

1/ cosψ<br />

zu multiplizieren, wobei ψ der<br />

Winkel zwischen Oberflächennormale<br />

<strong>und</strong> dem Primärstrahl ist.<br />

Auch bei der Beugung an der Probe<br />

tritt chromatische Dispersion auf. Mit<br />

dem Beitrag des Monochromators<br />

ergeben sich dabei zwei, in<br />

Abbildung 2-12 dargestellte, Fälle.<br />

Zum einen kann die Probe so geneigt<br />

sein, daß sie in die gleiche Richtung<br />

wie der Monochromator beugt. Dann<br />

Abb.2-12: Durch chromatische Dispersion verursachter<br />

Linienbreitenbeitrag lλ [04].


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 16<br />

wird der Wellenlängenbereich [λ-∆λ,λ+∆λ] der charakteristischen Linie von<br />

Monochromator <strong>und</strong> Probe jeweils weiter aufgefächert, weshalb dies als<br />

„Additionsstellung“ bezeichnet wird. Entsprechend beugen bei „Subtraktionsstellung“<br />

Präparat <strong>und</strong> Monochromatorkristall in entgegengesetzte Richtungen <strong>und</strong> dem Effekt<br />

wird entgegengewirkt. Nach Hofmann et al. [04] ist der Beitrag durch<br />

dλ<br />

� tanθ<br />

M ⋅b<br />

�<br />

lλ = r ⋅ ⋅�<br />

� ± 4tanθ<br />

�<br />

� (Gl. 2-31)<br />

λ � r ⋅ cosψ<br />

�<br />

bestimmt. Dabei ist ψ der Winkel zwischen der Oberflächennormale des Präparats<br />

<strong>und</strong> dem einfallenden Strahl <strong>und</strong> r der Radius des Fokussierkreises. In der Formel ist<br />

durch das Pluszeichen die Additionsstellung <strong>und</strong> durch das Minuszeichen die<br />

Subtraktionsstellung berücksichtigt.<br />

Ebenso trägt die Probengeometrie zu<br />

einer Verbreiterung der Röntgen-<br />

reflexe bei. Hier ist die endliche Dicke<br />

D des Präparats zu nennen. Durch<br />

sie wird der Primärstrahl nicht nur<br />

genau an einer Stelle gebeugt,<br />

sonder, wie in Abbildung 2-13<br />

dargestellt, in verschiedenen Tiefen<br />

der Probe. Die daraus resultierende<br />

Linienbreite ist für den Trans-<br />

missionsfall durch<br />

l D<br />

2D<br />

= (Gl. 2-32)<br />

sin 2ψ<br />

+<br />

2<br />

( cos2ψ<br />

+ 1)<br />

⋅ ctg θ<br />

gegeben. Hierbei ist D die Dicke des Präparats.<br />

Die Verwendung einer ebenen Probe macht eine Korrektur ∆D der Probendicke<br />

notwendig, die ebenfalls zu einer Verbreiterung der Reflexe führt. Zugehöriger<br />

Beitrag ist durch die Gleichung<br />

2�<br />

ε �<br />

1<br />

∆ = 4r<br />

⋅sin<br />

� � ⋅<br />

(Gl. 2-33)<br />

� 2 � sin 2ψ<br />

+ ( cos2ψ<br />

+ 1)<br />

⋅ ctg2θ<br />

l D<br />

Abb.2-13: Einfluss der Probendicke D auf die<br />

Linienbreite lD [04].<br />

bestimmt, wobei ε der Öffnungswinkel des Monchromators ist. Die Beiträge durch die<br />

Probendicke <strong>und</strong> deren Korrektur bei einer ebenen Probe addieren sich.


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 17<br />

Auch trägt die Größe G der Kristallite zur Linienbreite bei. Die aus ihr resultierende<br />

Breite lG ist nach Hofmann et al. [04] durch<br />

gegeben.<br />

2r<br />

⋅ λ<br />

lG = (Gl. 2-34)<br />

G ⋅ cosθ<br />

Die Beiträge zur Linienbreite sind bis auf den Betrag durch die Teilchengröße <strong>und</strong><br />

durch die chromatische Dispersion unabhängig vom Durchmesser 2r des<br />

Fokussierungskreises wodurch sich das Auflösungsvermögen durch Vergrößerung<br />

des Detektionskreises steigern ließe. Jedoch nehmen damit auch die Beiträge durch<br />

die Dispersion <strong>und</strong> der Teilchengröße zu, so daß diese Beiträge den Fokussier-<br />

kreisradius festlegen. Die Gesamtlinienbreite ist durch die Faltung der einzelnen<br />

Beiträge bestimmt.<br />

2.7 Verschiebung der Reflexlagen<br />

Fehler in der Probenlage relativ zum Detektionszylinder nehmen sowohl Einfluß auf<br />

das Profil als auch die Winkelposition der Röntgenreflexe. Dies kann zum einen eine<br />

Verdrehung der Probe sein, so daß ihre Oberfläche vertikal am Fokussierzylinder<br />

anliegt, jedoch die Oberflächennormale nicht mehr auf dessen Mittelpunkt weißt.<br />

Nach Mack <strong>und</strong> Parrish [12] wird hierdurch die Reflexintensität verringert <strong>und</strong> das<br />

Profil breiter, während die Reflexposition davon im wesentlichen unbeeinflußt bleibt.<br />

Auch kann das Präparat, dessen Oberfläche entsprechend dem Fokussierkreis<br />

gekrümmt ist, entlang des Radiusvektors des Kreises um die Strecke s verschoben<br />

sein, wodurch die Reflexlage beeinflußt wird. Ist die Probe im Inneren des Kreises,<br />

so ergibt sich dabei eine Verschiebung des Linienprofils zu größeren<br />

Beugungswinkeln. Entsprechend wird das Profil zu kleineren Winkeln verschoben,<br />

falls die Probe außerhalb des Kreises ist. Ein quantitatives Maß für diese<br />

Linienverschiebung bei Reflexionsgeometrie ist durch den Ausdruck<br />

45°<br />

∆θ<br />

= ⋅<br />

π<br />

s<br />

R<br />

sin 2θ<br />

⋅<br />

sinγ<br />

⋅sin<br />

( 2θ<br />

−γ<br />

)<br />

[12] (Gl. 2-35)<br />

gegeben. Hierbei ist γ der Winkel zwischen dem Primärstrahl <strong>und</strong> der<br />

Probenoberfläche. Die Strecke s der radialen Verschiebung ist außerhalb des<br />

Fokussierungskreises negativ. Zur Vereinfachung der Präparation wird zumeist die<br />

Probe nicht als Zylinder, mit einer dem Fokussierkreis angepaßten Krümmung,<br />

sondern als ebene Fläche hergestellt. Auch hieraus ergibt sich, neben einer


Gr<strong>und</strong>lagen 2 - 18<br />

Asymmetrisierung des Profils, eine Verschiebung der Reflexlagen. Diese wird in<br />

Reflexionsgeometrie mit steigendem Beugungswinkel θ kleiner <strong>und</strong> ist proportional<br />

zum Divergenzwinkel ε des Primärstrahls in der Fokussierungsebene, welcher die<br />

Größe der ausgeleuchteten Fläche auf der Probe definiert. Nach Mack <strong>und</strong> Parrish<br />

[12], die sich auf Arbeiten von Segmüller [13] <strong>und</strong> Kunze [14] beziehen, ist der<br />

Versatz durch<br />

2<br />

45°<br />

ε sin 2θ<br />

∆θ<br />

= ⋅ ⋅<br />

π 6 sinγ<br />

⋅ sin<br />

( 2θ<br />

− γ )<br />

(Gl. 2-36)<br />

bestimmt. Der Divergenzwinkel ε wird hierbei im Bogenmaß gegeben.<br />

Des weiteren ergibt sich auch durch die Absorption innerhalb der Probe eine<br />

Verschiebung des Reflexschwerpunkts. Bei der Reflexionsgeometrie sind hierbei<br />

zwei Grenzfälle zu unterscheiden. Ist das Produkt aus Absorptionskoeffizienten µ der<br />

Probe <strong>und</strong> ihrer Dicke D wesentlich größer als eins, was bei dicken Präparaten mit<br />

mäßiger oder hoher Absorption oder mäßig dicken Präparaten mit hoher Absorption<br />

der Fall ist, so ergibt sich nach Mack <strong>und</strong> Parrish eine Reflexverschiebung um<br />

45°<br />

1 sin 2θ<br />

∆θ<br />

= ⋅ ⋅<br />

π µ R sinγ<br />

+ sin<br />

( 2θ<br />

− γ )<br />

(Gl. 2-37).<br />

Für schwach absorbierende Präparate (µD→0), bei denen der Primärstrahl nicht nur<br />

an einer sehr dünnen Oberflächenschicht, welche der Krümmung des<br />

Fokussierkreises folgt, gebeugt wird, ergibt sich dagegen der Ausdruck<br />

45°<br />

D sin 2θ<br />

∆θ<br />

= ⋅ ⋅<br />

π 2 R sinγ<br />

⋅ sin<br />

( 2θ<br />

− γ )<br />

(Gl. 2-38).<br />

Wird statt der Reflexionsgeometrie die Durchstrahlgeometrie angewandt, so sind in<br />

den Gleichungen für die Reflexverschiebungen sin γ durch cos ψ <strong>und</strong> sin (2θ-γ) durch<br />

cos (2θ-ψ) zu ersetzen. Bezüglich der Absorption macht bei Durchstrahlung der<br />

Probe nur der Fall µD→0 Sinn, welcher sich als eine Reflexverschiebung durch die<br />

Probendicke verstehen läßt. Die Auswirkung auf die Lage der Reflexe ist<br />

vergleichbar mit einer radialen Verschiebung um die halbe Probenlänge, wenn sich<br />

die Probenoberfläche an den Fokussierkreis anschmiegt.


Inhaltsverzeichnis I - 2<br />

5. Zusammenfassung 5-<br />

A Anhang A-<br />

A.1 Maßzeichnung der Röhre <strong>und</strong><br />

Bestimmung der Brennfleckgröße 1<br />

A.2 Kurze Einführung in SimRef 4<br />

A.3 Programm zur Intensitätskorrektur bei<br />

Bildplatte <strong>und</strong> <strong>Guinier</strong>-Diffraktometer 12<br />

A.4 Gemessene Beugungsdiagramme 24<br />

A.5 Literaturverzeichnis 28<br />

A.6 Liste der verwendeten Programme 30

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