Vorstoß zu neuen Energien - Server der Fachgruppe Physik der ...

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Messung mit Silizium Spurdetektor ATLAS Outer Barrel Silicon ALICE CMS LHCb K.Hoepfner ; DESY 26.11.2003 Vorstoß zu neuen Energien 30
Funktion von Siliziumdetektoren � Ortsinformation durch Segmentierung einer (i.a. p + ) Seite in Streifen oder Pixel Streifenabstand 20 - 200 mu. Länge bestimmt von Wafer Dimension. � Typische Dicke Sensor ~300 mu � Substrat n-dotiert, Übergang zu einer p+ Schicht, Rückseite n++ dotiert mit Kontaktierung zur Metallelektrode 300 - 500 µm Al Al Silizium-Oxid n-Bulk n + Schicht p p Al-Rückseite K.Hoepfner ; DESY 26.11.2003 Vorstoß zu neuen Energien 31 Al p - + - - + +
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