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재료 분야에서의 빔 이용 기술 개발 현황 - 양성자가속기연구센터

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이온빔 조사 효과 (금속)••금속재질에금속재질에이온주입시이온주입시조사된조사된이온에이온에의해의해표면에서표면에서미세구조미세구조변화변화발생발생••표면에서표면에서1μm이내에서는1μm이내에서는조사된조사된이온에이온에의해의해표면에서표면에서스퍼터링이스퍼터링이일어나며일어나며점결함,점결함,선결함,선결함,석출물형성이석출물형성이일어나며일어나며열역학적으로열역학적으로비평형비평형상태인상태인비정질화가비정질화가일어난다.일어난다.이러한이러한특성특성변화에변화에의해의해표면에너지의표면에너지의변화변화등을등을통해통해표면물성이표면물성이변화하게변화하게됨.됨.또한,또한,100μm이내에서의100μm이내에서의전위밀도의전위밀도의상승은상승은기계적특성을기계적특성을향상시키는데향상시키는데기여함기여함25

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