n - Fachhochschule Jena
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Mikromechanische Silizium-Komponenten<br />
für die Fasersensorik<br />
Sensorelement mit 2 Spiegeln für<br />
faseroptische Transmissionssensoren<br />
(Lichtschranken, Absorption bzw.<br />
Streuung in Gasen oder Flüssigkeiten<br />
Sensorelement mit reflektierender<br />
Zunge für faseroptische Vibrationsbzw.<br />
Beschleunigungssensoren<br />
FOS - 5