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n - Fachhochschule Jena

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Mikromechanische Silizium-Komponenten<br />

für die Fasersensorik<br />

Sensorelement mit 2 Spiegeln für<br />

faseroptische Transmissionssensoren<br />

(Lichtschranken, Absorption bzw.<br />

Streuung in Gasen oder Flüssigkeiten<br />

Sensorelement mit reflektierender<br />

Zunge für faseroptische Vibrationsbzw.<br />

Beschleunigungssensoren<br />

FOS - 5

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