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Intervention de Sylvain Allano, directeur scientifique adjoint au - CNRS

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Département Ingénierie<br />

Section 08 du Comité National<br />

Groupe 8B ST2I<br />

Micro et nanotechnologies<br />

Optique photonique<br />

Electromagnétisme<br />

Energie électrique<br />

RÉUNION DES ENTRANTS<br />

9 juillet 2007<br />

1


• L’équipe en juillet 2007:<br />

Micro et Nanotechnologies Optique Photonique<br />

Electromagnétisme Energie Electrique<br />

– Françoise Lozes Chargée <strong>de</strong> mission<br />

– Didier Théron Chargé <strong>de</strong> mission<br />

– Michel Renovell Chargé <strong>de</strong> mission (7/8)<br />

– Sylvie Monflier Ingénieur Support<br />

– Anissa Khelifa Assistante<br />

2


Les Structures opérationnelles <strong>de</strong> recherche<br />

UMI Georgia Tech<br />

26 UMR<br />

1 IFR<br />

2 UMI<br />

1 FRE<br />

2 FR<br />

1 UMS<br />

UMI LIMMS<br />

Tokyo<br />

OMNT<br />

UMS<br />

<strong>CNRS</strong>+CEA<br />

3


LEST: 0 CH / 36 EC 1 ITA / 12 IATOS<br />

PHOTON : 0 CH / 50 EC<br />

4 ITA / 23 IATOS<br />

Brest<br />

Lannion<br />

235<br />

LUSSI: 1CH / 15 EC 0 ITA / 4 IATOS<br />

Rennes<br />

XLIM: 18 CH / 106 EC 11 ITA / 23 ATOS<br />

Laplace : 30 CH / 62 EC 22 ITA / 22 ATOS<br />

IEMN: 42 CH / 116 EC 39 ITA / 31 IATOS<br />

IETR: 2 CH / 82EC 3ITA / 22 IATOS<br />

Hubert Curien: 5 CH / 50 EC 5 ITA / 9 ATOS<br />

IMS: 9 CH / 106 EC 10 ITA / 11 ATOS<br />

Nantes<br />

179<br />

Bor<strong>de</strong><strong>au</strong>x<br />

136<br />

Tours<br />

IES: 7 CH /66 EC 17 ITA / 13 IATOS<br />

136<br />

Lille<br />

228<br />

20<br />

Toulouse Montpellier<br />

68<br />

158<br />

Lyon<br />

GeorgiaTech : 15 EC 2 ITA / 2 IATOS<br />

GREEN: 21 EC 8 IATOS<br />

Unités en Ile <strong>de</strong> France : 56 CH / 126 EC 54 ITA / 35 IATOS<br />

276<br />

St Etienne<br />

69<br />

Metz<br />

70<br />

228<br />

68<br />

Marseille<br />

Besançon<br />

Grenoble<br />

199<br />

Strasbourg<br />

Sophia<br />

Nice<br />

Antipolis<br />

39<br />

Iness : 7 CH / 27 EC 18 ITA / 1 IATOS<br />

INL: 18CH / 47EC 13 ITA / 13 IATOS<br />

AMPERE: 7CH / 43 EC 5 ITA / 12<br />

IATOS<br />

G2Elab : 18CH / 49EC 16 ITA / 20 IATOS<br />

LTM: 12CH / 9EC 10 ITA / 2 IATOS<br />

IMEP : 9 CH / 35EC 6 ITA / 9 IATOS<br />

FMNT : 2EC 2 ITA<br />

FRESNEL: 12 CH / 42 EC 8 ITA / 6 ATOS<br />

FEMTO: 36 CH / 104 EC 36 ITA / 52<br />

IATOS<br />

ARTEMIS: 7 CH / 2EC 5 ITA / 4 IATOS<br />

LEAT: 1 CH / 13EC 2 ITA / 5 IATOS<br />

4


RTRA<br />

Triangle <strong>de</strong> la<br />

Physique<br />

LP<br />

48<br />

Saclay<br />

LGEP<br />

Orsay<br />

131<br />

IEF<br />

Paris<br />

Cachan<br />

Palaise<strong>au</strong><br />

27<br />

LPICM<br />

PERSONNELS PERMANENTS ILE DE FRANCE (chercheurs/ enseignants-chercheurs/<br />

ITA/ IATOS) DES UNITES DU GROUPE 8B<br />

SATIE<br />

LPQM<br />

Institut d’Alembert<br />

55<br />

15<br />

5


Micro et nanotechnologies<br />

Bio et nano photonique<br />

Electromagnétisme Energie électrique<br />

Antennes Propagation Radars<br />

Electronique Photonique<br />

Conception <strong>de</strong> circuits<br />

Lannion<br />

Brest<br />

Rennes<br />

Ultrasons Imagerie par échographie<br />

Matéri<strong>au</strong>x actifs<br />

Electronique et photonique pour les télécommunications<br />

Nantes<br />

Fibres optiques Composants THz<br />

microsystèmes<br />

Optique Lasers <strong>de</strong> puissance<br />

Conception <strong>de</strong> circuits Electronique organique<br />

Instrumentation<br />

Bor<strong>de</strong><strong>au</strong>x<br />

Matéri<strong>au</strong>x diélectriques et actifs Plasmas<br />

Energie électrique Intégration <strong>de</strong> puissance<br />

Micro et nanotechnologies Photonique<br />

Micro et nanotechnologies<br />

Électronique Acoustique<br />

Tours<br />

Toulouse<br />

Lille<br />

2172<br />

Micro et nanoélectronique<br />

Compatibilité électromagnétique<br />

Energie électrique<br />

Montpellier<br />

St Etienne<br />

Lyon<br />

Metz<br />

Nancy<br />

Marseille<br />

Besançon<br />

Grenoble<br />

Strasbourg<br />

Sophia<br />

Nice<br />

Antipolis<br />

Cryptographie quantique Rése<strong>au</strong>x sécurisés<br />

Nanohétéroépitaxie Matéri<strong>au</strong>x intelligents<br />

Energie électrique<br />

Electronique organique<br />

Photovoltaïque Microsystèmes<br />

Nanotechnologies<br />

Photonique Photovoltaïque<br />

Micro et nanotechnologies Optique Thz<br />

Energie Electrique Matéri<strong>au</strong>x diélectriques<br />

Electromagnétisme Optique<br />

Biophotonique Métamatéri<strong>au</strong>x<br />

Microtechniques<br />

Optique Cryptographie<br />

Energie Electrique Mécanique<br />

Antennes Propagation<br />

Instrumentation Laser<br />

6


7 Groupements <strong>de</strong> Recherche GDR<br />

• « Composants organiques pour l’optoélectronique »<br />

• « Nanoélectronique: du silicium à la molécule »<br />

• « On<strong>de</strong>s électromagnétiques et acoustiques »<br />

• « Micro et nanosystèmes »<br />

• « Systems On Chip, Systems In Package »<br />

• « Systèmes d’énergie électrique dans leurs dimensions<br />

sociétales »<br />

• + GDRI NAMIS<br />

7


Des Groupements d’Intérêt Scientifique<br />

• FOTON<br />

• GRIFON (fibres optiques)<br />

• Micro et Nanotechnologies<br />

• Pegasus<br />

• Photonique et Instrumentation Avancée<br />

• RENATECH<br />

8


Le rése<strong>au</strong> RTB<br />

micro et nanotechnologies<br />

le GIS Renatch<br />

Directeur: Didier Théron<br />

Administratrice: Eléna Offert<br />

IEF<br />

IPN<br />

LAAS<br />

IEMN<br />

FEMTO-ST<br />

CEA LETI<br />

FMNT<br />

9


• Ile <strong>de</strong> France : LPN et IEF<br />

– LPN : 1000 m 2 + 150 m 2 (grey) � 1150<br />

m 2 24 E&T, G Faini, S Bouchoule, A<br />

Madouri<br />

– IEF : 560 m 2 + 440 m 2 (grey) � 1000 m 2<br />

16 E&T, F Hamouda<br />

• South West : LAAS<br />

– 1500 m 2 26 E&T, N. Favre<br />

• North : IEMN<br />

– 1600 m 2 26 E&T,<br />

JL Lorri<strong>au</strong>x, JC Pesant<br />

• East : FEMTO<br />

– 370 m 2 (+ 400 m 2 in 2007) +<br />

230 m 2 (grey) � 1000 m 2 ,<br />

15 E&T, JC Jeannot<br />

• Rhône Alpes : FMNT-DFRMC<br />

– PTA : 310 m2 + 110 m2 (grey)<br />

� 420 m2 , 10 E&T,<br />

S Decossas<br />

10


• Lithography<br />

– E-beam<br />

– Optical<br />

• Deposit<br />

– E-gun evaporation, sputtering<br />

– PECVD, Oxidation furnaces<br />

– Electro<strong>de</strong>position<br />

• Etching<br />

– RIE, ICP-RIE, IBE, FIB<br />

• Chemistry<br />

• Thermal process<br />

– RTA, furnaces<br />

• Characterization of process<br />

– SEM, microscopes, ellipsometry<br />

– Probers<br />

11


• MBE (LPN, IEF)<br />

• MOCVD (LPN)<br />

• NanoFIB (LPN)<br />

• CAIBE (IEF)<br />

• Laser ablation (IEF)<br />

• MBE<br />

• Implantation<br />

• MBE<br />

• Implantation<br />

• Laser writing masks<br />

fabrication<br />

• MicroMachining<br />

(LiNbO 3 , advanced<br />

piezo material, AlN,<br />

quartz)<br />

• Nano-imprint<br />

12


Matéri<strong>au</strong>x<br />

Composants<br />

Systèmes<br />

L’approche « système »<br />

Des matéri<strong>au</strong>x <strong>au</strong>x systèmes,<br />

jusqu’<strong>au</strong>x rése<strong>au</strong>x<br />

Rése<strong>au</strong>x<br />

13


L’approche<br />

« Défis <strong>scientifique</strong>s et technologiques »<br />

Plus petit et compact…<br />

Plus sûr et fiable…<br />

Défis<br />

Plus performant…<br />

Plus compatible avec un<br />

développement durable…<br />

14


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec les sciences et technologies<br />

<strong>de</strong> l’information:<br />

– Systems On Chip (SOC)<br />

– Systems In Package (SIP)<br />

– Systèmes embarqués<br />

– Systèmes d’énergie en robotique<br />

– Systèmes d’imagerie<br />

15


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec les sciences <strong>de</strong>s matéri<strong>au</strong>x<br />

et la mécanique<br />

– Micro et nanotechnologies MEMS<br />

– Photonique: métamatéri<strong>au</strong>x<br />

– Interférométrie<br />

– Actionneurs électromécaniques<br />

– Intégration <strong>de</strong> puissance<br />

16


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec le génie <strong>de</strong>s procédés<br />

– Microfluidique<br />

– Thermodynamique pour les systèmes d’énergie<br />

électrique<br />

– Techniques <strong>de</strong> gravure plasma en micro et<br />

nanotechnologies<br />

– Piles à combustible<br />

17


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec la biologie:<br />

– Biomicrosystèmes , biopuces<br />

– Biophotonique<br />

– On<strong>de</strong>s et vivant<br />

– Energie et vivant<br />

18


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec la physique<br />

– Micro et nanotechnologies - nanosciences<br />

– Optique – photonique<br />

– Horloges atomiques – atomes froids<br />

– astrophysique<br />

19


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec la chimie<br />

– Micro et nanotechnologies - nanosciences<br />

– Photonique moléculaire<br />

– Le cœur <strong>de</strong>s piles à combustible<br />

20


L’intégration <strong>de</strong>s disciplines<br />

<strong>au</strong> cœur <strong>de</strong>s unités du groupe 8B<br />

• Interface avec les sciences humaines et<br />

sociales:<br />

– Risques et impacts sociét<strong>au</strong>x <strong>de</strong>s<br />

nanotechnologies<br />

– Dimensions sociétales en énergie électrique<br />

21


Conclusion vos missions:<br />

• Relever les défis <strong>scientifique</strong>s et technologiques<br />

qui mobilisent la commun<strong>au</strong>té internationale<br />

• Prendre <strong>de</strong>s risques et oser, en s’alliant avec les<br />

meilleurs <strong>de</strong> sa discipline<br />

• Jouer à fond la carte <strong>de</strong> l’intégration <strong>de</strong>s<br />

disciplines: c’est en effet <strong>au</strong>x interfaces <strong>de</strong>s<br />

disciplines que se trouvent les « pépites »<br />

22


Conclusion nos objectifs:<br />

• faciliter <strong>au</strong> mieux, avec vos DU, la réalisation <strong>de</strong>s<br />

projets <strong>scientifique</strong>s dans lesquels vos êtes impliqués:<br />

chercheurs, ingénieurs, techniciens et administratifs<br />

• Être réactif face <strong>au</strong>x <strong>de</strong>man<strong>de</strong>s <strong>de</strong> moyens <strong>de</strong>s unités,<br />

sous contrainte <strong>de</strong>s calendriers et <strong>de</strong>s arbitrages<br />

• Assister les unités et groupes d’unité dans le montage<br />

<strong>de</strong>s projets <strong>scientifique</strong>s, internation<strong>au</strong>x et<br />

partenari<strong>au</strong>x, avec nos collègues spécialistes du<br />

Département<br />

23

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