Tesi di MASTER in - surfacetreatments.it

) Crescita a strati ed isole: corrisponde ad una combinazione delle due tipologie viste inprecedenza in cui viene sfavorita la crescita del film sui primi strati formatisi portando allaformazione di isole tridimensionali di diversa forma geometrica.La microstruttura del film dipende, comunque, fortemente dalla natura del materiale depositato:materiali dielettrici e ceramici, per esempio, risultano spesso amorfi mentre materiali metallici sonocaratterizzati da un maggior grado di cristallinità.Operando opportunamente sulle variabili temperatura e pressione è possibile, vista la dipendenzadella microstruttura del film depositato dalla diffusione e dai processi di nucleazione alla superficie,controllare la natura del film stesso: i) a basse temperature ed elevate velocità di crescita siottengono, generalmente per film amorfi, ii) ad alte temperature e basse velocità di crescita, invece,si favorisce la diffusione e l’aggregazione dei grani ottenendo materiali con un maggior grado dicristallinità4.10. I composti precursoriLo stadio fondamentale nella tecnica CVD è dato dalla reazione chimica che si verifica, questoimplica che la scelta del precursore adatto è determinante nel successo del processo.I requisiti che un buon precursore deve avere per dare origine ad un buon film sono riassunti nellaseguente lista[Hitchman(1993)]:elevata volatilità: la volatilità di un liquido è rappresentativa della facilità di evaporazionedello stesso; nel caso specifico del CVD, questa caratteristica è richiesta dal momento che ilprecursore viene trasferito al substrato in fase gassosa. Una misura della volatilità di un liquidoè la tensione di vapore.Se la tensione di vapore a temperature relativamente basse non presenta valori apprezzabili,bisogna riscaldare i recipienti contenenti il precursore , con ovvi svantaggi legati a perdite ditempo e a maggiori costi. La composizione chimica del precursore è determinante per lavolatilità: è in tal modo possibile agire sul precursore al fine di conferirgli un’adeguatavolatilità;stabilità termica nelle condizioni di vaporizzazione e in fase vapore: questo è un prerequisitofondamentale per la realizzazione programmata delle condizioni sperimentali e per la lororiproducibilità. Se questa condizione non è soddisfatta, si possono avere non solo perdite