低介電常數鈣硼矽玻璃之特性研究 - 陶瓷暨電子材料實驗室

性質與CaO含量有關,高含量之CaO會增進離
子位移極化,升高介電常數並增大介電損失。
CBS-950 燒結緻密溫度為 875°C,燒結後
之主要結晶相為 CaB2O4, Tridymite, CaSiO3,
燒結後無其他二次相產生,材料易於控制,
可應用在高頻電子元件及基板封裝材料。
四、結論:
1. CBS-925、CBS-950、CBS-975 玻璃之研
究發現,扮演液相燒結的是低溫之 CBS-4
其含量可以調整燒結緻密溫度及延遲燒
結緻密時間,可應用在製程條件之調整
操作。
2. CBS-950 燒結之結晶活化能為
296(KJ/mole),Avrami 指數隨著升溫速
率之增加而減小,升溫速率為 3 o 3.
C/min
之 Avrami 指數為 3.9,顯示是 3 維的晶
粒體結晶成長機制。
CBS-950 在 875℃燒結 30min,升溫速度
-5℃/min 之介電常數為 4,介電損失為
0.006,量測頻率在 4.6~12.8GHZ。
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