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X-Encontro-Nacional-de-Fisica-da-Materia-Condensada

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DEF/10:15/4A F I CARACTERIZACAO DE NONOCRISTAIS DE slam UTILIZANDO NICROSCOPIA<br />

DE INFRAVERNELHO E TOPOGRAFIA DE RAIOS X. Victor Huo Etgens Linstituto <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong><br />

e Quimica <strong>de</strong> Sio Carlos - USP) a Ireno Denicolo (CPO- Telebras).<br />

No momenta. o silicio i um material amplamente utilizado ne - indistria microeletriinica<br />

a nio a provivel que seta em breve substitufdo. A observacio <strong>de</strong> <strong>de</strong><br />

faitos cristalinos tome-se "Isis diffcil a Redid& em que se produzem cristais 'Lyres<br />

<strong>de</strong> macro<strong>de</strong>feitos ("free <strong>de</strong>slocetion"). No caso dos micro<strong>de</strong>fettos, spesar <strong>de</strong><br />

serem ■mplamente estu<strong>da</strong>dos nos iltimos anos. ain<strong>da</strong> nio se tem uma teoria amplamen<br />

to 'melts sobre sues origens a consequincias. As tecnicas que usamos pars a ob=<br />

servncio <strong>de</strong> micro<strong>de</strong>feitos foram a topografia <strong>de</strong> roles x e o microscopic <strong>de</strong> infraverselho.<br />

A visualitogio dos micro<strong>de</strong>feitos torna-se passive' atraves <strong>da</strong> <strong>de</strong>em, -<br />

gin do silicio cos cobra ou litio. A <strong>de</strong>coragio consists na difusio <strong>de</strong> cobre ou<br />

litio no silicio em altas temperatures; promove-se entio um ripido abaixamento <strong>de</strong><br />

temperature <strong>da</strong> amostra, fazendo coon que o cobre ou title cheguem a supersaturecio<br />

e precipitem. A precipitacio <strong>de</strong>stes metals se di preferencialmente nas rogiies<br />

<strong>de</strong> <strong>de</strong>feitos. Isto germ contraste eletranico necessario pars a observagoo dos<br />

micro<strong>de</strong>feLtos na topografia a na microscopia <strong>de</strong> infrovermelho. Sio analisados os<br />

resultados ohtidos pars amostras <strong>de</strong> silicio <strong>de</strong> varies procedincies, variando-se<br />

temperature <strong>de</strong> difusao, quanti<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> material difundido e tipos <strong>de</strong> <strong>de</strong>feitos revelados.<br />

Paz-se uma comparagio entre as ticnicas <strong>de</strong> topografia <strong>de</strong> raios x e microscopia<br />

<strong>de</strong> Infravermelbo pora o caso estu<strong>da</strong>do. ( CNPq - FINEP - TELEBRAS ).<br />

DEF/10:35/4A.F<br />

ECARACT ERTZKI0 os mums EICIENSOS D3 szacro ATRAV cc DIFIUGCNEIRIA<br />

GNIA.am-calves, O.D. CIPAE147), Schr,i<strong>de</strong>r, J. UNI-Fierlini, Graaf, H.<br />

(I011-earlin).<br />

UtiLL o difratanotro do radial* gams do Institute+ Halm-Ileitner <strong>de</strong> Berlin, e ra-<br />

disci° <strong>de</strong> 0.0392 X proueniente <strong>de</strong> um, font° <strong>de</strong> Indio <strong>de</strong> intenei<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> 200 Ci, anallsco-se u<br />

ma si<strong>de</strong> <strong>de</strong> menocrletais <strong>de</strong> Si 11 as <strong>de</strong> eapassura, 10 co, <strong>de</strong> dikretzo) cm divers= ewer:tee<br />

do voila*. Poi medi<strong>da</strong> a pater' 'eta <strong>de</strong> relearn integrals variando-se a Fosigio e a incline*<br />

do orbital au mimeo i diregeo <strong>da</strong> rediacio inci<strong>de</strong>nte. Foram =him obti<strong>de</strong>s "rocking curves"<br />

Pura diferentes reflesiies aceseivete, eendo poesivel urns calparegio entre digerentm pro:0es=<br />

<strong>de</strong> crescirento dos cristais Icedldos pals Nicker Chalitratite<br />

Awshrente estu<strong>de</strong>zros a poseibt.li<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> ixplantagio <strong>de</strong> us state= <strong>de</strong> difrabsootria germ<br />

senelhante no Institute <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong> <strong>da</strong><br />

DEF/10:55/64.F1 VARIACAO DA FIGURA DE MERIT° (1) EM LIGAS NONOCRISTALINAS<br />

SINTERIZADAS 110Si-ZOGe - Odillo B.G. Assis, Luis V.A Scaly'<br />

e Bernhard J. Nokross - Inst. <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong> a Quimica dt Sao Carlos<br />

-<br />

As ligas SI-Ge azio caracterize<strong>da</strong>s per sue balsa resistincia elitrlca, balsa<br />

condutividn<strong>de</strong> tirmica e alto estabili<strong>da</strong><strong>de</strong> quImic ■ e meanies. Estes carocte-<br />

✓(sticas associe<strong>da</strong>s a eleva<strong>da</strong> figura <strong>de</strong> mirito (1) pars geragio <strong>de</strong> potincia termoeletrica.<br />

fazes <strong>de</strong>ssas liana os materiais indicados i confecgio dg diapositives<br />

geradores <strong>de</strong> termaeletracids<strong>de</strong> a temperatures superiores a 1000 C.<br />

Os cristais usualmente utilizados na conferee° dos midutos sao ligas monocristelinas<br />

altamente dopa<strong>da</strong>s (Fisforo-n. Boro-p) em composigoes ZOGe-8051..Em-<br />

bora atuatmente tem-se optado par materials sinterizados (<strong>de</strong> mesma composicao)<br />

coma process° Influente its melhore <strong>de</strong> Z (relagio quo envolve as caracterfsticos<br />

termoeletricas do material).<br />

E apresentado a variacio <strong>da</strong>s proprie<strong>da</strong><strong>de</strong>s relaciona<strong>da</strong>s am Z com relagio<br />

nos monocristais a ligas sinteriza<strong>da</strong>S. (FAPESP).

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