X-Encontro-Nacional-de-Fisica-da-Materia-Condensada
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DEF/10:15/4A F I CARACTERIZACAO DE NONOCRISTAIS DE slam UTILIZANDO NICROSCOPIA<br />
DE INFRAVERNELHO E TOPOGRAFIA DE RAIOS X. Victor Huo Etgens Linstituto <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong><br />
e Quimica <strong>de</strong> Sio Carlos - USP) a Ireno Denicolo (CPO- Telebras).<br />
No momenta. o silicio i um material amplamente utilizado ne - indistria microeletriinica<br />
a nio a provivel que seta em breve substitufdo. A observacio <strong>de</strong> <strong>de</strong><br />
faitos cristalinos tome-se "Isis diffcil a Redid& em que se produzem cristais 'Lyres<br />
<strong>de</strong> macro<strong>de</strong>feitos ("free <strong>de</strong>slocetion"). No caso dos micro<strong>de</strong>fettos, spesar <strong>de</strong><br />
serem ■mplamente estu<strong>da</strong>dos nos iltimos anos. ain<strong>da</strong> nio se tem uma teoria amplamen<br />
to 'melts sobre sues origens a consequincias. As tecnicas que usamos pars a ob=<br />
servncio <strong>de</strong> micro<strong>de</strong>feitos foram a topografia <strong>de</strong> roles x e o microscopic <strong>de</strong> infraverselho.<br />
A visualitogio dos micro<strong>de</strong>feitos torna-se passive' atraves <strong>da</strong> <strong>de</strong>em, -<br />
gin do silicio cos cobra ou litio. A <strong>de</strong>coragio consists na difusio <strong>de</strong> cobre ou<br />
litio no silicio em altas temperatures; promove-se entio um ripido abaixamento <strong>de</strong><br />
temperature <strong>da</strong> amostra, fazendo coon que o cobre ou title cheguem a supersaturecio<br />
e precipitem. A precipitacio <strong>de</strong>stes metals se di preferencialmente nas rogiies<br />
<strong>de</strong> <strong>de</strong>feitos. Isto germ contraste eletranico necessario pars a observagoo dos<br />
micro<strong>de</strong>feLtos na topografia a na microscopia <strong>de</strong> infrovermelho. Sio analisados os<br />
resultados ohtidos pars amostras <strong>de</strong> silicio <strong>de</strong> varies procedincies, variando-se<br />
temperature <strong>de</strong> difusao, quanti<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> material difundido e tipos <strong>de</strong> <strong>de</strong>feitos revelados.<br />
Paz-se uma comparagio entre as ticnicas <strong>de</strong> topografia <strong>de</strong> raios x e microscopia<br />
<strong>de</strong> Infravermelbo pora o caso estu<strong>da</strong>do. ( CNPq - FINEP - TELEBRAS ).<br />
DEF/10:35/4A.F<br />
ECARACT ERTZKI0 os mums EICIENSOS D3 szacro ATRAV cc DIFIUGCNEIRIA<br />
GNIA.am-calves, O.D. CIPAE147), Schr,i<strong>de</strong>r, J. UNI-Fierlini, Graaf, H.<br />
(I011-earlin).<br />
UtiLL o difratanotro do radial* gams do Institute+ Halm-Ileitner <strong>de</strong> Berlin, e ra-<br />
disci° <strong>de</strong> 0.0392 X proueniente <strong>de</strong> um, font° <strong>de</strong> Indio <strong>de</strong> intenei<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> 200 Ci, anallsco-se u<br />
ma si<strong>de</strong> <strong>de</strong> menocrletais <strong>de</strong> Si 11 as <strong>de</strong> eapassura, 10 co, <strong>de</strong> dikretzo) cm divers= ewer:tee<br />
do voila*. Poi medi<strong>da</strong> a pater' 'eta <strong>de</strong> relearn integrals variando-se a Fosigio e a incline*<br />
do orbital au mimeo i diregeo <strong>da</strong> rediacio inci<strong>de</strong>nte. Foram =him obti<strong>de</strong>s "rocking curves"<br />
Pura diferentes reflesiies aceseivete, eendo poesivel urns calparegio entre digerentm pro:0es=<br />
<strong>de</strong> crescirento dos cristais Icedldos pals Nicker Chalitratite<br />
Awshrente estu<strong>de</strong>zros a poseibt.li<strong>da</strong><strong>de</strong> <strong>de</strong> ixplantagio <strong>de</strong> us state= <strong>de</strong> difrabsootria germ<br />
senelhante no Institute <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong> <strong>da</strong><br />
DEF/10:55/64.F1 VARIACAO DA FIGURA DE MERIT° (1) EM LIGAS NONOCRISTALINAS<br />
SINTERIZADAS 110Si-ZOGe - Odillo B.G. Assis, Luis V.A Scaly'<br />
e Bernhard J. Nokross - Inst. <strong>de</strong> <strong>Fisica</strong> a Quimica dt Sao Carlos<br />
-<br />
As ligas SI-Ge azio caracterize<strong>da</strong>s per sue balsa resistincia elitrlca, balsa<br />
condutividn<strong>de</strong> tirmica e alto estabili<strong>da</strong><strong>de</strong> quImic ■ e meanies. Estes carocte-<br />
✓(sticas associe<strong>da</strong>s a eleva<strong>da</strong> figura <strong>de</strong> mirito (1) pars geragio <strong>de</strong> potincia termoeletrica.<br />
fazes <strong>de</strong>ssas liana os materiais indicados i confecgio dg diapositives<br />
geradores <strong>de</strong> termaeletracids<strong>de</strong> a temperatures superiores a 1000 C.<br />
Os cristais usualmente utilizados na conferee° dos midutos sao ligas monocristelinas<br />
altamente dopa<strong>da</strong>s (Fisforo-n. Boro-p) em composigoes ZOGe-8051..Em-<br />
bora atuatmente tem-se optado par materials sinterizados (<strong>de</strong> mesma composicao)<br />
coma process° Influente its melhore <strong>de</strong> Z (relagio quo envolve as caracterfsticos<br />
termoeletricas do material).<br />
E apresentado a variacio <strong>da</strong>s proprie<strong>da</strong><strong>de</strong>s relaciona<strong>da</strong>s am Z com relagio<br />
nos monocristais a ligas sinteriza<strong>da</strong>S. (FAPESP).