25.10.2013 Views

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />

Proprietățile de material (modulul Young, raportul Poisson, etc) şi teoria mecanicii<br />

la nivel micro.<br />

Utilizarea MEMS pe structura unui circuit integrat este complexă şi specifică<br />

fiecărui microsistem în parte.<br />

Realizarea şi testarea MEMS nu este uşoară; anumiți microsenzori necesită<br />

contactul direct cu mediul, ceea ce presupune asigurarea protecției acestora la<br />

perturbații exetrioare, iar testarea este mai costisitoare decât în cazul circuitelor<br />

integrate clasice.<br />

2009-2010 SEM - CURS 9 65

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!