25.10.2013 Views

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Concepţie<br />

Îndepărtarea<br />

straturilor de<br />

umplutură<br />

CICLUL COMPLET DE FABRICAŢIE A MEMS.<br />

CAD, Modelare<br />

şi simulare<br />

Transferul<br />

modelului<br />

Control Secţionare<br />

Tehnici de fotolitogravură<br />

Cicluri multiple<br />

Plachetă<br />

individuală<br />

MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />

Depunerea<br />

straturilor<br />

adiţionale<br />

Asamblare<br />

Generarea<br />

modelului (măştii)<br />

Substrat de siliciu<br />

Încapsulare<br />

şi testare<br />

2009-2010 SEM - CURS 9 71

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!