25.10.2013 Views

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

Cursul 8 [pps]

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />

O a treia variantă apelează la realizarea microelementelor mecanice<br />

înaintea microelectronicii. În SUA a fost dezvoltată tehnologia iMEMS<br />

(Integrated Microelectromechanical Systems), patentată de Sandia National<br />

Laboratories, care presupune fabricarea MEMS utilizând una din metodele<br />

prezentate anterior, urmând ca elementele de microelectronică să fie<br />

procesate pe aceeaşi plachetă de siliciu.<br />

2009-2010 SEM - CURS 9 70

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!