Cursul 8 [pps]

More documents

Recommendations

Info

Tehnologiile utilizate în realizarea MEMS: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Fotolitogravura este o tehnică fotografică utilizată la transferul modelului pe suprafața unui subtrat-suport, de obicei siliciu. Acesta se acoperă cu o peliculă subțire din dioxid de siliciu. Utilizând un procedeu asemănător developării filmelor foto se pot obține succesiv diferite straturi care duc în final la structura 3D a MEMS Dacă în cazul circuitelor integrate stratul de dioxid de siliciu serveste ca suport în procesul de dopare cu impurități (în scopul modificării conductibilității locale), în MEMS acesta constituie stratul asupra căruia se intervine prin prelucrări sau prin depuneri de alte substraturi în vederea obținerii structurii finale a MEMS. Microprelucrarea implică îndepărtarea unor părți din substratul suport utilizând agenți de lucru pentru obținerea unor găuri, caneluri sau canale. Prelucrarea se poate face în mediu umed (pentru substrat suport de siliciu sau cuarț) sau uscat (pentru substrat de siliciu, metal, plastic sau material ceramic). 2009-2010 SEM - CURS 9 66
MICROSISTEME ELECTROMECANICE Metode de prelucrare a microsistemelor electromecanice SM (surface micromachining) implică acțiunea la suprafața substratului-suport, utilizându-l ca fundație. Substrat suport Depunerea unui strat de polimer Depunerea unui strat de oxid Etapele de realizare a unei microgrinzi. Forma finala 2009-2010 SEM - CURS 9 67
Page 1 and 2:
VEHICULE ELECTRICE TRACTIUNE: exerc
Page 3 and 4:
Vehicule electrice Autonome (poseda
Page 5 and 6:
instalatii fixe: VEHICULE ELECTRICE
Page 7 and 8:
instalatii mobile, reprezentate de
Page 9 and 10:
Propulsia: Cu motoare electrice rot
Page 11 and 12:
suspensie elastica roata motoare pu
Page 13 and 14:
VEHICULE ELECTRICE Acționarea vehi
Page 15 and 16: (0.4...3)kV c.c. RPF VTC = M M = VE
Page 17 and 18: M 3~ ≤ 25kV c.a., 50(16 2/3, 25,
Page 19 and 20: F t F f F f (v) F t (v) 2009-2010 S
Page 21 and 22: Schema de principiu a unui sistem d
Page 23 and 24: Electric Hidraulic Electrohidraulic
Page 25 and 26: Sistem de direcţie asistat electri
Page 27 and 28: PARAMETRII DE CONTROL AL SISTEMULUI
Page 29 and 30: Senzor de cuplu Pinion de directie
Page 31 and 32: Functionarea sistemului de directie
Page 33 and 34: Senzorul de deplasare unghiulara 10
Page 35 and 36: MASINI ELECTRICE UTILIZATE IN SISTE
Page 37 and 38: Comanda si controlul unui sistem de
Page 39 and 40: Cu motor electric Cu sistem electro
Page 41 and 42: Etrier Placute de frana Pistoane Di
Page 43 and 44: Sistem conventional de franare Peda
Page 45 and 46: Sistem electromecanic de franare 1
Page 47 and 48: Functii: AMBREIAJ SI SCHIMBATOR DE
Page 49 and 50: Motor cu ardere interna Actionare a
Page 51 and 52: Acronim: MEMS - in SUA MST (Microsy
Page 53 and 54: Cap de citire driver Senzori de pre
Page 55 and 56: SISTEM DE DESCHIDERE A AIRBAG-ULUI
Page 57 and 58: Observatii: In ultimii 10 ani s-au
Page 59 and 60: Senzor de masurare a tensiunii arte
Page 61 and 62: Principiu de functionare Incalzire
Page 63 and 64: BIOMICROSISTEME ELECTROMECANICE Exe
Page 65: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Propri
Page 69 and 70: Asamblare şi integrare de sistem M
Page 71: Concepţie Îndepărtarea straturil
show all

Cursul 8 [pps]

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?