Cursul 8 [pps]

More documents

Recommendations

Info

MICROSISTEME ELECTROMECANICE HARM (high-aspect-ratio micromachining) este o tehnologie de fabricație a MEMS ce implică microprelucrarea ca un prim pas, pentru obținerea unei cavități cu o anumită configurație, urmată de formarea microstructurii prin injectarea de material în cavitatea respectivă. Substratul de PMMA Umplerea cavităţii Fotolitogravura Micropinionul Etapele de realizare a unui micropinion utilizând tehnica LIGA. Cavitatea obţinută 2009-2010 SEM - CURS 9 68
Asamblare şi integrare de sistem MICROSISTEME ELECTROMECANICE De-a lungul anilor s-au dezvoltat diferite moduri de abordare în ceea ce priveşte integrarea de sistem a MEMS: O primă variantă constă în realizarea şi integrarea elementelor de microelectronică, după care se trece la realizarea elementelor mecanice prin metodele prezentate anterior. Este o metodă relativ simplă, dar în produsul final apar o serie de tensiuni interne reziduale. Pentru a evita tratamentele termice de coacere pentru îndepărtarea tensiunilor interne se preferă folosirea metalelor refractare în componentele circuitelor integrate. O a doua variantă se referă la realizarea concomitentă a microelectronicii şi a microelementelor mecanice, variantă utilizată în cazul accelerometrelor pentru aibag-uri.Procesarea monolit, ca şi numărul redus de elemente permit obținerea unei structuri compacte de fiabilitatea sporită şi preț redus. Problema constă în complexitatea dispozitivului ceea ce determină un flux tehnologic rigid. Pentru o eficiență economică mare este deci necesar un volum mare de produse. 2009-2010 SEM - CURS 9 69
Page 1 and 2:
VEHICULE ELECTRICE TRACTIUNE: exerc
Page 3 and 4:
Vehicule electrice Autonome (poseda
Page 5 and 6:
instalatii fixe: VEHICULE ELECTRICE
Page 7 and 8:
instalatii mobile, reprezentate de
Page 9 and 10:
Propulsia: Cu motoare electrice rot
Page 11 and 12:
suspensie elastica roata motoare pu
Page 13 and 14:
VEHICULE ELECTRICE Acționarea vehi
Page 15 and 16:
(0.4...3)kV c.c. RPF VTC = M M = VE
Page 17 and 18: M 3~ ≤ 25kV c.a., 50(16 2/3, 25,
Page 19 and 20: F t F f F f (v) F t (v) 2009-2010 S
Page 21 and 22: Schema de principiu a unui sistem d
Page 23 and 24: Electric Hidraulic Electrohidraulic
Page 25 and 26: Sistem de direcţie asistat electri
Page 27 and 28: PARAMETRII DE CONTROL AL SISTEMULUI
Page 29 and 30: Senzor de cuplu Pinion de directie
Page 31 and 32: Functionarea sistemului de directie
Page 33 and 34: Senzorul de deplasare unghiulara 10
Page 35 and 36: MASINI ELECTRICE UTILIZATE IN SISTE
Page 37 and 38: Comanda si controlul unui sistem de
Page 39 and 40: Cu motor electric Cu sistem electro
Page 41 and 42: Etrier Placute de frana Pistoane Di
Page 43 and 44: Sistem conventional de franare Peda
Page 45 and 46: Sistem electromecanic de franare 1
Page 47 and 48: Functii: AMBREIAJ SI SCHIMBATOR DE
Page 49 and 50: Motor cu ardere interna Actionare a
Page 51 and 52: Acronim: MEMS - in SUA MST (Microsy
Page 53 and 54: Cap de citire driver Senzori de pre
Page 55 and 56: SISTEM DE DESCHIDERE A AIRBAG-ULUI
Page 57 and 58: Observatii: In ultimii 10 ani s-au
Page 59 and 60: Senzor de masurare a tensiunii arte
Page 61 and 62: Principiu de functionare Incalzire
Page 63 and 64: BIOMICROSISTEME ELECTROMECANICE Exe
Page 65 and 66: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Propri
Page 67: MICROSISTEME ELECTROMECANICE Metode
Page 71: Concepţie Îndepărtarea straturil
show all

Cursul 8 [pps]

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?