Omslag SE.indd

används för att beskriva oregelbundenhetereller systematiska fel i bildskärmar. Felenär ofta så små att mätning är svårt elleropraktiskt, men trots det är de synliga fördet mänskliga ögat. Micronic har en långerfarenhet och kunskap inom detta område.För att uppnå de krav som ställs måstesystemet rita med sub-10 nm precision överen yta på 1 700 x 2 000 mm.För att klara alla nya krav är merpartenav de ingående konstruktionerna egendesignadeoch specialutvecklade av Micronic.Några av de viktigaste vidareutveckladeeller nykonstruerade delsystemen förPrexision-10 är:Datakanal – En modern egendesignadklusterdatorarkitektur som kombinerarstörre kundvärde med lägre tillverkningskostnader.Kunderna kan förhandsgranskaalla fotomaskmönster före ritning. På såsätt kan kassationer på grund av handhavandefelelimineras. Likaså klarar datakanalenav de ökande CAD-datavolymernaför de större bildskärmarna. Klusterdatorarkitekturenär planerad att introduceras iett flertal av Micronics produkter under denärmaste åren.Klimatkammare – Micronics kunskapinom klimatkontroll har gjort det möjligtatt skala upp den reglerade luftvolymen medbibehållen prestanda. Främst temperaturvariationeroch gradienter är förödande förlångtidsstabilitet, vilket blir ännu viktigaremed de växande fotomaskstorlekarna.Zerodurbord – fotomasken placeras påMicronics unika Zerodurbord. Zerodurär ett keramiskt glas med unika termiskaegenskaper. Micronic har under ett flertalår utvecklat egen och unik kunskap inombearbetning av mikrometer-plana Zerodurytor,vilka nu skalats upp till 1700 x 2000mm. Utan Zerodur och klimatkontroll gårdet inte att klara positioneringskraven förG8 och G10 fotomasker. Speciellt viktigtär detta för de mest avancerade fotomaskerna,så kallade Half Tone Masks (HTM).HTM-fotomasker skapas genom att ritatvå gånger på samma fotomask med externaprocesssteg emellan. De två lager som skapasmåste passa ihop inom några 100-talsnanometer, vilket i praktiken kräver en långtidsstabilitetpå en bråkdel av detta över ettflertal dygn. HTM är idag den ledandetekniken för att minska antalet fotomaskstegfrån 5–6 till 4–5 i volymproduktion,men kräver i gengäld dubbla ritningarav vissa fotomasker. HTM har varit denledande drivkraften för den förbättradeprestandan i Prexision-8 och Prexision-10,och möjliggör samtidigt viktiga kostnadsreduktionerinom volymproduktionenav bildskärmar genom eliminering av processstegsom kräver fotomasker.Milou – är en anpassad diagnostikarkitekturför snabb felsökning ochkontinuerlig övervakning av Micronicsprodukter. Milou är en viktig del av devidareutvecklingar av diagnostik somkrävs för att möta de ökande kundkravenpå produktionstillförlitlighet. Med kundernassamtycke kan Milou även fjärrövervakasför ”remote diagnostics”.Prexision-10 utvecklades inom ramenför Micronics produktutvecklingsmetodik,vilken ansluter till Lean product development.Speciellt tvärfunktionellt samarbete mellanproduktledning, produktutveckling, inköpoch produktion var kritiskt för att klarautvecklingen av Prexision-10 på 30 procentkortare tid än Prexision-8.FPS5300Kundkraven inom elektronisk kapslingskärptes avseende mönsterritarnas upplösning.En mängd mindre tillämpningarkräver sub-mikrometer upplösning, vilkettillhandahålls av FPS5300. FPS5300 är envidareutveckling av FPS5100.Genom att överföra teknologi från bildskärms-och halvledaremönsterritare ökadesupplösningen i FPS-plattformen för attmöta kundernas krav. FPS-plattformendelar optisk teknologi med LRS, Prexisionoch Omega-plattformarna.EFTERMARKNADSPRODUKTERAtt utveckla eftermarknadsförsäljningenär ett strategiskt mål för Micronic. Under2008 utvecklades och såldes ett flertal eftermarknadsproduktertill den installeradekundbasen. En gemensam nämnare förett flertal tilläggsfunktioner är att de lösertillämpningsproblem, vilka inte direkt ärrelaterade till Micronics mönsterritare.GalaxyExpress99 (GE99) – är ett uppgraderingskitför LRS-system, för att klarakraven för G8 avseende produktionsutbyte.GE99 utvecklades i nära samarbetemed en ledande kund.Z-correction – är en tilläggsfunktionsom möjliggör för kunderna att uppnåavsevärt högre placeringsnoggrannhet påredan installerade mönsterritare, genomatt kompensera för poleringsojämnheter iråmaterialet till fotomaskerna. Z-correctionkan även med fördel användas ihop medMicronics MMS-mätsystem.CD-mapping – är en liknande funktion,vilken hjälper kunderna att kompenseraför systematiska variationer i linjebreddshållningöver de stora fotomaskerna pågrund av brister i andra processteg.FRAMTIDSSTUDIERFör att även fortsättningsvis kunna ligga iteknisk framkant, och för att kunna fortsättamöta kundernas krav, investerarMicronic i framtidsstudier.Under 2008 inriktades studierna främstpå nya ritmotorer. Ritmotorn är hjärtat ien mönsterritare och liknande utrustningaroch är det delsystem som genererar denoptiska bilden. Under 2008 vidareutveckladeMicronic ritmotorn för bildskärmstillämpningar– Acousto Optics Deflector(AOD) – för att klara 2 gånger högre pixelhastighet.Micronic bedrev även studier kringalternativa ritmotorer med signifikant högrepixelhastigheter, främst med inriktningmot framtida direktritningstilllämpningar.För direktritning krävs minst 10 gångerhögre pixelhastighet, ofta med bibehållenbildkvalitet.22MICRONIC 2008