You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Inkrementální senzor<br />
polohy<br />
λ<br />
posuvné<br />
měřítko<br />
U<br />
optika<br />
u<br />
λMin = 7 µm<br />
rysky<br />
pevné<br />
clony<br />
D 1 D 2<br />
t<br />
A<br />
U A<br />
Interpolátory:<br />
B<br />
až 50 nm<br />
λ/4<br />
referenční<br />
značka<br />
D 1 D 2<br />
U B<br />
C<br />
U C<br />
D 1 D 2<br />
Kvadraturní<br />
??<br />
výstupy<br />
U A<br />
U B<br />
U D<br />
a)<br />
L<br />
Q<br />
A O<br />
B<br />
t<br />
G<br />
L<br />
I<br />
O<br />
B<br />
C<br />
K<br />
K<br />
t<br />
Ý<br />
princip<br />
čtyřnásobné<br />
D<br />
Q<br />
b) t<br />
interpolace<br />
c)<br />
Č<br />
Í<br />
T<br />
A<br />
Č