You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Mikromechanický akcelerometr<br />
- Realizován technologií MEMS<br />
2 5 3<br />
1<br />
m<br />
4<br />
a<br />
U A<br />
U B<br />
U C<br />
R<br />
U B<br />
NS<br />
NO<br />
SD<br />
Z<br />
- základ – destička z polykrystalického křemíku<br />
0V<br />
U A<br />
U C<br />
0V<br />
REF<br />
G<br />
1MHz<br />
- 2 pružné tětivy 2 zakotvené na monokrystalickém křemíkovém substrátu 1<br />
-zuby hřebínku = střední pohyblivá elektroda<br />
ADXL 02, ADXL 50 .. Elektrostaticky kompenzované<br />
ADXL 202 .. Dvouosý nekompenzovaný<br />
C DP
Change language