《 中 国 商 务 指 南 》( 电 子 ) 行 业 分 卷半 导 体 和 集 成 电 路 设 备 继 续 保 持 高 速 增 长 。 其 销 售 量 增 长 57.6%, 销 售 额 增 长 58.6%,已 跃 居 中 国 电 子 专 用 设 备 行 业 的 第 一 位 。 其 主 要 原 因 是 2005 年 中 国 太 阳 能 电 池 设 备 ( 包 括电 池 片 生 产 设 备 和 电 池 材 料 生 产 设 备 ) 市 场 异 常 火 爆 , 带 动 了 整 个 半 导 体 设 备 的 增 长 。2005年 , 太 阳 能 级 硅 单 晶 炉 销 售 量 约 为 300 台 , 销 售 额 约 比 2004 年 翻 了 一 番 。 用 于 生 产 太 阳 能电 池 片 的 设 备 销 售 额 超 过 1 亿 元 , 增 长 一 倍 。2005 年 , 中 国 的 电 子 通 用 设 备 销 售 额 增 长 45.8%, 净 化 设 备 销 售 额 增 长 29.4%, 环 境 与可 靠 性 实 验 设 备 的 销 售 额 增 长 22.3%。2005 年 , 中 国 的 电 子 真 空 器 件 和 光 电 器 件 设 备 销 售 量 减 少 46.7%, 销 售 额 减 少 15.7%,在 本 行 业 大 类 产 品 中 的 位 置 已 降 至 第 五 位 , 其 主 要 原 因 是 随 着 平 板 显 示 器 件 的 迅 速 成 长 , 严重 挤 压 了 传 统 的 CPT、CDT 彩 管 和 玻 壳 的 市 场 空 间 , 并 影 响 到 彩 管 和 玻 壳 生 产 线 设 备 市 场 。2005 年 , 中 国 的 电 子 元 件 和 机 电 组 件 设 备 的 销 售 量 减 少 37.6%, 销 售 额 减 少 13.6%。2005 年 , 在 行 业 协 会 统 计 内 的 中 国 电 子 专 用 工 具 与 模 具 行 业 大 幅 回 升 。 销 售 额 同 比 增长 67.8%。 其 中 , 电 子 专 用 工 具 销 售 量 748 万 件 , 产 销 率 达 到 92.5%; 销 售 额 6828 万 元 ,增 长 64.9%。 电 子 专 用 模 具 销 售 量 1680 副 , 产 销 率 达 到 98.6%; 销 售 额 20152 万 元 , 增 长194.8%。2005 年 , 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 行 业 排 前 10 名 的 企 业 销 售 收 入 总 额 为 266687 万 元 ,同 比 增 长 33.6%, 占 到 了 全 行 业 的 59.4%; 完 成 利 税 总 额 33231 万 元 , 减 少 3%, 占 全 行 业利 税 总 额 的 49.8%; 实 现 利 润 20940 万 元 , 增 长 12.1%, 占 全 行 业 利 润 总 额 的 56.1%; 行 业前 10 名 企 业 的 销 售 收 入 均 已 超 过 1 亿 元 。2005 年 , 中 国 的 电 子 专 用 设 备 工 业 行 业 有 亏 损 企 业 16 家 , 与 2004 年 持 平 ; 亏 损 总 额4734 万 元 , 减 少 27.3%。科 研 与 新 产 品2005 年 , 全 行 业 累 计 完 成 新 产 品 项 目 533 项 , 同 比 增 长 27.2%。 其 中 电 子 专 用 设 备 和电 子 专 用 工 具 与 模 具 共 完 成 449 项 。 这 些 新 产 品 的 陆 续 投 产 , 将 为 中 国 电 子 专 用 设 备 开 拓 新的 市 场 。 其 中 半 导 体 设 备 及 在 其 基 础 上 拓 展 开 发 并 应 用 于 其 它 领 域 的 产 品 已 成 为 本 行 业 新 产品 的 开 发 重 点 , 将 对 整 个 电 子 专 用 设 备 行 业 的 发 展 起 到 重 要 作 用 。2005 年 , 被 列 入 中 国 电 子 信 息 产 业 发 展 基 金 项 目 指 南 的 有 : 太 阳 能 电 池 专 用 设 备 中 的等 离 子 增 强 化 学 汽 相 淀 积 设 备 (PECVD)、 硅 片 多 线 切 割 设 备 开 发 与 产 业 化 项 目 和 COG 组装 设 备 开 发 及 产 业 化 项 目 。 其 中 , 中 电 科 技 集 团 公 司 第 四 十 八 研 究 所 的 等 离 子 增 强 化 学 汽 相淀 积 设 备 (PECVD) 开 发 与 产 业 化 、 中 电 科 技 集 团 公 司 第 四 十 五 研 究 所 的 8 英 寸 硅 片 多 线切 割 设 备 开 发 与 产 业 化 和 中 电 科 技 集 团 公 司 第 二 研 究 所 的 COG 组 装 设 备 开 发 及 产 业 化 项 目已 被 列 入 计 划 。 此 前 电 子 信 息 产 业 发 展 基 金 项 目 安 排 的 一 批 8 英 寸 设 备 及 企 业 自 行 安 排 的 部分 半 导 体 设 备 的 研 制 有 的 已 通 过 验 收 , 有 的 即 将 进 入 验 收 阶 段 。72
中 国 电 子 信 息 产 业 发 展 概 况 及 潜 力 分 析北 京 七 星 华 创 电 子 股 份 有 限 公 司 研 制 的 新 型 真 空 退 火 炉 , 自 动 化 程 度 高 , 性 能 稳 定 , 产品 技 术 指 标 已 达 到 国 际 同 类 型 产 品 的 水 平 , 得 到 业 界 的 肯 定 。 该 公 司 自 1997 年 进 入 二 次 电池 ( 可 充 电 电 池 ) 制 造 设 备 领 域 以 来 , 始 终 保 持 国 内 领 先 地 位 , 市 场 份 额 逐 年 扩 大 , 近 五 年内 销 售 额 年 均 增 长 100% 以 上 , 已 成 为 国 内 规 模 最 大 、 品 种 系 列 最 全 、 配 套 能 力 最 强 的 二 次电 池 专 用 设 备 制 造 商 。江 苏 苏 净 集 团 有 限 责 任 公 司 包 括 旗 下 的 各 子 公 司 , 在 2004-2005 年 期 间 , 累 计 开 发 新 产品 32 项 , 完 成 新 产 品 鉴 定 项 目 13 项 , 其 中 国 家 级 1 项 、 省 级 9 项 、 市 级 3 项 , 已 投 放 市 场的 新 产 品 有 16 项 并 形 成 批 量 生 产 。中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 四 十 五 研 究 所 开 发 的 BG-706 型 曝 光 机 、BD-601 型 集 成 电 路编 带 机 及 玻 璃 釉 电 位 器 生 产 线 关 键 设 备 等 9 项 设 备 , 已 经 通 过 信 息 产 业 部 科 技 成 果 鉴 定 ; 兆声 清 洗 机 、 探 针 中 测 台 等 设 备 已 进 入 生 产 线 考 核 阶 段 。 该 所 承 担 的 “100nmCMP( 化 学 机 械抛 光 ) 设 备 核 心 技 术 科 研 攻 关 ” 课 题 取 得 进 展 。 这 一 课 题 围 绕 90nm-100nm 集 成 电 路 所 需 的CMP 设 备 , 在 抛 光 头 微 压 自 调 整 技 术 、 抛 光 终 点 检 测 技 术 、 抛 光 头 与 抛 光 台 运 动 控 制 技 术等 方 面 取 得 了 重 要 突 破 。 获 得 了 多 项 专 有 技 术 , 为 中 国 制 造 具 有 自 主 知 识 产 权 的 CMP 设 备打 下 了 基 础 。中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 四 十 八 研 究 所 承 担 的 国 家 “863” 计 划 新 材 料 领 域 重 大 项 目 “ 用于 GaN 的 生 产 型 MOCVD(6×2 英 寸 ) 设 备 ”, 已 通 过 验 收 并 获 得 极 高 评 价 。 该 项 目 的 研 制成 功 使 中 国 成 为 少 数 几 个 具 备 生 产 型 GaN-MOCVD 设 备 研 发 和 生 产 能 力 的 国 家 之 一 , 对 于解 决 制 约 中 国 半 导 体 照 明 工 程 的 瓶 颈 技 术 , 将 起 到 重 要 的 推 动 作 用 。中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 二 研 究 所 研 制 的 硅 片 研 磨 清 洗 机 、 化 学 湿 台 、 等 离 子 清 洗 机 等设 备 已 进 入 半 导 体 芯 片 制 造 和 后 封 装 生 产 线 , 并 扩 展 到 太 阳 能 电 池 制 造 、 电 子 器 件 制 造 等 领域 。 该 所 研 制 的 PT-21 偏 光 片 帖 附 机 , 解 决 了 大 尺 寸 TFT 工 艺 中 的 对 位 贴 装 、 静 电 消 除 和控 制 色 斑 缺 陷 等 技 术 难 题 。 该 所 还 和 中 国 的 长 春 光 华 微 电 子 设 备 工 程 中 心 有 限 公 司 相 继 研 制成 功 了 用 于 TFT-LCD 液 晶 模 块 生 产 线 上 的 关 键 设 备 COG 邦 定 机 。 在 此 基 础 上 , 中 国 的 太原 风 华 信 息 装 备 股 份 有 限 公 司 的 SBD-50 双 工 位 主 预 压 一 体 邦 定 机 也 研 制 成 功 。西 北 机 器 厂 于 2005 年 自 行 研 制 了 硅 铝 丝 微 细 线 拉 丝 机 、 电 位 器 成 型 机 等 7 项 新 产 品 通过 了 省 级 鉴 定 。兰 州 瑞 德 实 业 集 团 有 限 公 司 针 对 8 英 寸 -12 英 寸 大 尺 寸 材 料 的 研 磨 、 抛 光 、 切 割 要 求 ,开 发 出 X61 1572B-1(24B) 型 数 控 精 密 研 磨 机 及 X07 105-1 型 多 线 锯 切 割 机 ; 针 对 太 阳 能电 池 行 业 开 发 的 X07 320-1 型 硅 棒 切 断 机 及 X07 700-1 型 多 刀 切 片 机 也 已 交 付 用 户 使 用 。上 海 日 进 机 床 有 限 公 司 自 行 开 发 出 太 阳 能 电 池 行 业 用 的 NWS6X2 及 NWS270 硅 片 多 线钢 丝 切 割 机 , 并 定 于 2006 年 投 放 市 场 。肇 庆 新 宝 华 电 子 设 备 有 限 公 司 与 华 南 理 工 大 学 合 作 , 先 后 攻 克 了 一 系 列 技 术 难 题 , 研 制出 八 个 帖 装 头 的 中 高 速 贴 片 机 。 此 外 , 该 公 司 还 研 制 出 一 些 SMT 生 产 线 需 要 的 配 套 设 备 。73
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