TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Technologický postup vytvářenítlustovrstvové struktury• Typický sled operací v procesu vytváření tlustovrstvovéstruktury je znázorněn na obrázku. Operace sítotisku anásledného zasušení se může v případě nanášení vícetypů odporových past, nebo také při vytvářenívícevrstvých struktur s dielektrikem několikrát opakovat.ČištěnísubstrátuSítotisk a sušenívodivé vrstvyVýpal vodivévrstvySítotisk a sušeníodporové vrstvyVýpal odporovévrstvyTrimováníodporové vrstvy