TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Složení dielektrických pastV teplotním cyklu používaném při zpracování tlustých vrstev nelze použít teplotunutnou pro sintraci těchto materiálů />1500˚C/ a proto jsou tyto smíchány v pastěs pojivou skelnou složkou vytvářející vazbu s nosnou podložkou. Pro takovýsystém keramika – sklo, platí pro stanovení výsledné permitivity Lichteneckerůvvztah :log2V1.log1V2. logkde V 1,V jsou objemové části skelné a keramické složky ve výsledné vrstvě /V 2 1 +V 2 /,ε 1 ,ε 2jsou permitivity skelné a keramické složky.Pro izolaci mezi křížícími se vodiči se používají materiály na bázi různých sklovin /ε r=5-10, jejichž ztrátový činitel závisí na kmitočtu /0,01 – 0,005 pro stovky MHz/.Vrstvy určené k ochranným účelům (krycí) jsou vytvořeny na bázi nízkotavnýchbezalkalických skel. Žádoucí je nízká permitivita a dobrá homogenita.