13.07.2015 Views

TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké učení technické v Brně

TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké učení technické v Brně

TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké učení technické v Brně

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Odporové pastyPožadavky:- Široký rozsah hodnot vrstvového odporu- Stabilita odporové hodnoty, zvláště při zvýšených teplotách- Nízký teplotní součinitel odporu (TCR)- Dobrá reprodukovatelnost parametrů na různých substrátech- Nízký napěťový součinitel odporu (VCR)- Nízký šum- Kompatibilita s vodivými pastamiTypický průběh TKRModerní odporové pasty jsou založeny na bázi kysličníků rhutenia, iridia a rhenia. Tyto kompozice jsoumálo citlivé na změnu teploty v průběhu sintrace než tomu bylo u klasických cermetových past, arovněž vykazují lepší hodnoty TCR a stability. Všeobecně TCR je závislé na hodnotě vrstvovéhoodporu, kde nejpříznivější hodnoty jsou u 1kΩ/čtv. až 10kΩ/čtv. (viz obr.).

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!