TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
TLUSTÉ VRSTVY - UMEL - Vysoké uÄÂenàtechnické v Brně
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Odporové pastyPožadavky:- Široký rozsah hodnot vrstvového odporu- Stabilita odporové hodnoty, zvláště při zvýšených teplotách- Nízký teplotní součinitel odporu (TCR)- Dobrá reprodukovatelnost parametrů na různých substrátech- Nízký napěťový součinitel odporu (VCR)- Nízký šum- Kompatibilita s vodivými pastamiTypický průběh TKRModerní odporové pasty jsou založeny na bázi kysličníků rhutenia, iridia a rhenia. Tyto kompozice jsoumálo citlivé na změnu teploty v průběhu sintrace než tomu bylo u klasických cermetových past, arovněž vykazují lepší hodnoty TCR a stability. Všeobecně TCR je závislé na hodnotě vrstvovéhoodporu, kde nejpříznivější hodnoty jsou u 1kΩ/čtv. až 10kΩ/čtv. (viz obr.).