Applikationen & Lösungen - EtherCAT

Applikationen & Lösungen
Die Suche nach dem
perfekten Netzwerk für
die Halbleiterindustrie …
Begrenzte Knotenzahlen pro Netzwerk, geringe Baudraten, eingeschränkte
E/A-Kapazität, niedrige Bandbreite sowie ungenaues Befehls- und E/A-Timing
– bereits vor gut zehn Jahren wurde die Halbleiterfertigungsindustrie vor die
Aufgabe gestellt, ein Kommunikationssystem zu finden, das die zunehmenden
Probleme damaliger Steuerungssysteme für die Branche lösen konnte.
Dmitry Dzilno
Neben den Herausforderungen bei der
Prozesssteuerung gab es innerhalb der
Anlagen zahlreiche Antriebslösungen –
von Achsen, die von Schrittmotoren mit
niedriger Leistung angetrieben wurden,
bis hin zu hochdynamischen Servoachsen
für Vakuumroboter. Viele Applikationen
erforderten die Koordination der Achsen
sowohl untereinander als auch mit anderen
Steuerungssignalen innerhalb des
Systems. Auch wenn zahlreiche herkömmliche
Antriebs- und E/A-Lösungen bereits
von der Stange erhältlich waren, so waren
doch die Kosten für entsprechende Controller
und die Antriebs-Software enorm.
Nicht selten legten Anbieter von Antriebstechnik
den Preis für ihre Software-Lizenzen
abhängig von der zugrundeliegenden
Achsenzahl fest.
Die Wende kam im Frühjahr 2003, als
uns eine neue Netzwerktechnologie präsentiert
wurde, von der meine Kollegen
und ich zu dieser Zeit, wenn überhaupt,
nur sehr wenig wussten. Bereits damals
ist mir Ethercat direkt ins Auge gestochen
– als möglicherweise beste Netzwerktechnologie
für die nächste Generation
von Halbleiterfertigungsanlagen. Wenn
auch vielversprechend, steckte die Ethercat-Technologie
2003 noch in den Kinderschuhen;
entsprechend herrschte beim
ersten Meeting zunächst Skepsis. Wie
Dmitry Dzilno ist Senior
Director Applied Controls
Engineering bei Applied
Materials in Santa Clara/
Kalifornien. E-Mail:
dmitry_a_dzilno@amat.com
Beispiel für ein Halbleiter-Wafer-Fertigungssystem mit Ethercat
stand es um Betriebssicherheit und elektromagnetische
Verträglichkeit? Was war
mit Geräteprofilen, wie etwa denen der
ODVA Semi SIG? Und wie konnte die Austauschbarkeit
von Geräten gewährleistet
werden?
In der folgenden Zeit haben wir Ethercat
detailliert untersucht. Die Robustheit,
Geschwindigkeit und der praktisch unbegrenzte
E/A-Adressraum, Motion-Control-
Unterstützung sowie die hart echtzeitfähige
Synchronisation der Protokolle für
smarte Geräte – alles innerhalb einer
einzigen homogenen Architektur – haben
uns letztlich überzeugt, endlich die richtige
Lösung für die umfassenden Anforderungen
unserer Halbleiterfertigungsanlagen
gefunden zu haben. Vielleicht sogar für
die wachsenden Bedürfnisse der Industrie
in den kommenden Jahren.
Nach eingehender Bewertung der Technologie
hat sich Applied Materials dann
entschieden, Gründungsmitglied der
Ethercat Technology Group zu werden.
Wir wollten die Entwicklung von Ethercat
von Beginn an unterstützen und der Technologie
so die Chance geben, sich fest
am Markt zu etablieren. Und das ging
www.openautomation.de
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