Mikropositioniersysteme Micro Positioning Systems - ORLIN ...

3-Achs Mikromanipulator
3-axis-micro-manipulator
Es gibt eine Vielzahl von Justageaufgaben in der Mikrotechnik, die
Bewegungen in drei Freiheitsgraden benötigen. Für diese Art von
Anwendungen wurde von der Micromotion GmbH der 3-Achs Mikromanipulator
entwickelt.
Diese kompakte Einheit mit einem Durchmesser von nur 36,2 mm und
einer axialen Länge von weniger als 50 mm ist mit zwei linearen und
einer rotatorischen Achse ausgestattet. Die Linearachsen werden von
Exzenterantrieben angetrieben, die einen kleinen Verstelltisch in x- und
y-Richtung bewegen. Auf dem Verstelltisch ist die Theta-Achse aufgebaut,
mit der das Werkzeug direkt angetrieben wird.
Diese Konstruktion bietet folgende Vorteile:
- Genauigkeit im Sub-Mikrometerbereich
- Einfache Steuerung, da für alle Achsen Schrittmotoren verwendet
werden
- Geringe Masse ( 360°
Maximale Geschwindigkeit Maximum Speed 2 mm/s 2 mm/s 100 rpm
Auflösung
Resolution
Vollschritt / Full step < 0,3 µm < 0,3 µm 0,0860°
Mikroschritt / Micro step < 0,02 µm < 0,02 µm 0,005°
Wiederholgenauigkeit Repeatability 0,3 µm 0,3 µm 0,010°
Kraft/Drehmoment Force/Torque 10 N 10 N 5 mNm
X
theta
Y
6