o_19bhaoooc1nkb1hundfvfg814hca.pdf

39
B
UHV Manipulator PM 25
UHV Präzisions - Manipulator PM 25 Stan dard aus füh rung mög li che Aus füh rung
Ba sis flansch DN 160 CF Sac kge win de DN 100 CF, DN 200 CF
beweglicher Flansch DN 63 CF Durchgangsbohrungen DN 40 CF Sac kge win de
Flanschbohrungen auf Lü cke auf Spit ze
Hub XY mm 25 Kreisvektor --
Hub Z mm 50 - 1.000 bis 1.200 auf Anfrage
Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y,Z mm ma nu ell Z = 0,05 X,Y = 0,01 Schrittmotorantrieb Z = 0,005 X,Y = 0,005
Spin del stei gung der Z - Ach se
mm
4
Getriebeübersetzung 1:2
ID Membranbalg Z-Hub mm 39 46
Ø Stütz la ger im X,Y-Tisch für Füh rungs rohr Z mm 38 40 / 42 / 44
--
Z-Hub mm 50 100 150 200 250 300
A mm 302 - 352 302 - 402 302 - 452 302 - 502 302 - 572 342 - 642
B mm 506 556 606 656 706 756
Ge wicht kg 26,8 27,5 28,4 29,2 29,6 31,2
Ar ti kel PM 25-50 PM 25-100 PM 25-150 PM 25-200 PM 25-250 PM 25-300
€ / Stck 8.450,- 8.750,- 9.050,- 9.350,- 9.650,- 9.950,-
Z-Hub mm 350 400 450 500 550 600
A mm 342 - 692 342 - 742 352 - 802 362 - 862 372 - 922 372 - 972
B mm 806 856 916 976 1.036 1.086
Ge wicht kg 32,0 32,8 33,6 34,4 35,2 36,0
Ar ti kel PM 25-350 PM 25-400 PM 25-450 PM 25-500 PM 25-550 PM 25-600
€ / Stck 10.250,- 10.550,- 10.950,- 11.350,- 11.750,- 12.150,-
Z-Hub mm 650 700 750 800 900 1.000
A mm 382 - 1.032 402 - 1.102 412 - 1.152 432 - 1.232 428 - 1.328 448 - 1.448
B mm 1.146 1.216 1.276 1.347 1.442 1.596
Ge wicht kg 36,8 37,6 38,4 41,2 42,8 44,4
Ar ti kel PM 25-650 PM 25-700 PM 25-750 PM 25-800 PM 25-900 PM 25-1000
€ / Stck 12.550,- 12.950,- 13.350,- 13.950,- 15.150,- 16.350,-
¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar
¤ Ausheiztemperatur max. 230°C
272
201
R78
PM 25-100
DN 63 CF
Durchgangsbohrungen
A
272
DN 160 CF Gewindebohrungen
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