o_19bhaoooc1nkb1hundfvfg814hca.pdf

UHV XY - Tisch
MAX 25-XY
UHV Präzisions XY-Tisch PMAX 25-XY Stan dard aus füh rung mög li che Aus füh rung
Ba sis flansch DN 100 CF Sac kge win de DN 160 CF Sac kge win de
beweglicher Flansch DN 63 CF Sac kge win de DN 100 CF
Flanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze
beweglicher Flansch auf Lücke
Hub X,Y mm 25Kreisvektor --
Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm ma nu ell X,Y = 0,01 --
Mem bran balg ID mm 102 --
Ge wicht kg 21 ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar
¤ Ausheiztemperatur max. 230°C
Artikel MAX 25-XY
€ / Stck 5.100,-
292
147
70
128
292
DN 100 CF Gewindebohrungen
154
DN 63 CF Gewindebohrungen
Schrittmotorantrieb MAX 25-XYS Standardausführung mög li che Aus füh rung
Schrittmotorantrieb 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 130 ABB (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PKP 268 MD 28B (Orien tal)
Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 131 ACA (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PK 268 M-02AR22-L (Orien tal)
X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --
Schrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Lec kra te: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druc kbe reich 1 bar bis 10 -11 mbar
¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor
Gewicht kg 22,5
¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M
2-Phasen Motor MAX 25-XYS2
¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH
€ / Stck 6.000,- ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder
3-Phasen Motor MAX 25-XYS3
€ / Stck 6.400,-
verstellbare Endlagenschalter
287
287
MAX 25-XY
mit Endlagenschalter
3-8 VAb Va ku um-An la gen bau GmbH 04121-788830 04121-7888317 e-mail: to@vab-va ku um.de http://www.vab-va ku um.de 3-8