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UHV XY - Tisch<br />

PMM 12-XY<br />

UHV Präzisions XY-Tisch PMM 12-XY Stan dard aus füh rung mög li che Aus füh rung<br />

Ba sis flansch DN 63 CF Sac kge win de DN 100 CF Sac kge win de<br />

beweglicher Flansch DN 63 CF Sac kge win de -<br />

Flanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze<br />

beweglicher Flansch auf Lücke<br />

Hub X,Y mm 12,5 Kreisvektor --<br />

Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm ma nu ell X,Y = 0,01 --<br />

Mem bran balg ID mm 70,5 --<br />

Ge wicht kg 6,7 ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />

¤ Ausheiztemperatur max. 230°C<br />

Artikel PMM 12-XY<br />

€ / Stck 2.980,-<br />

155,0<br />

114,5<br />

202<br />

165<br />

DN 63 CF Sackgewinde<br />

DN 63 CF Sackgewinde<br />

197<br />

Schrittmotorantrieb PMM 12-XYS Standardausführung mög li che Aus füh rung<br />

Schrittmotorantrieb 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 130 ABB (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PKP 268 MD 28B (Orien tal)<br />

Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 131 ACA (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PK 268 M-02AR22-L (Orien tal)<br />

X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --<br />

Schrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />

¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor<br />

Gewicht kg 8,8<br />

¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M<br />

2-Phasen Motor PMM 12-XYS2<br />

¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH<br />

€ / Stck 3.880,- ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder<br />

3-Phasen Motor PMM 12-XYS3<br />

€ / Stck 4.280,-<br />

verstellbare Endlagenschalter<br />

PMM 12 - XY S2<br />

mit Endlagenschalter<br />

211,5<br />

215,5<br />

3-3 VAb Va ku um-An la gen bau GmbH 04121-788830 04121-7888317 e-mail: to@vab-va ku um.de http://www.vab-va ku um.de 3-3

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