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UHV XY-Tisch<br />
PM 112-XY<br />
UHV Präzisions XY-Tisch PM 112-XY Stan dard aus füh rung mög li che Aus füh rung<br />
Ba sis flansch DN 100 CF Sac kge win de DN 160 CF Sac kge win de<br />
beweglicher Flansch DN 100 CF Sac kge win de -<br />
Flanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze<br />
beweglicher Flansch auf Lücke<br />
Hub X,Y mm 12,5 Kreisvektor --<br />
Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm ma nu ell X,Y = 0,01 --<br />
Mem bran balg ID mm 98 --<br />
Ge wicht kg 9,3 ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />
¤ Ausheiztemperatur max. 230°C<br />
Artikel PM 112-XY<br />
€ / Stck 4.150,-<br />
190<br />
214<br />
100<br />
214<br />
DN 100 CF Sackgewindebohrungen<br />
DN 100 CF Sackgewindebohrungen<br />
190<br />
140<br />
Schrittmotorantrieb PM 112-XYS Standardausführung mög li che Aus füh rung<br />
Schrittmotorantrieb 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 130 ABB (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PKP 268 MD 28B (Orien tal)<br />
Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 131 ACA (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PK 268 M-02AR22-L (Orien tal)<br />
X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --<br />
Schrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />
¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor<br />
Gewicht kg 11,5<br />
¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M<br />
2-Phasen Motor PM 112-XYS2<br />
¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH<br />
€ / Stck 5.050,- ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder<br />
3-Phasen Motor PM 112-XYS3<br />
€ / Stck 5.450,-<br />
verstellbare Endlagenschalter<br />
239<br />
PM 112 - XY S2<br />
mit Endlagenschalter<br />
239<br />
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