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UHV XY-Tisch<br />

PM 112-XY<br />

UHV Präzisions XY-Tisch PM 112-XY Stan dard aus füh rung mög li che Aus füh rung<br />

Ba sis flansch DN 100 CF Sac kge win de DN 160 CF Sac kge win de<br />

beweglicher Flansch DN 100 CF Sac kge win de -<br />

Flanschbohrungen Basisflansch auf Lücke auf Spitze<br />

beweglicher Flansch auf Lücke<br />

Hub X,Y mm 12,5 Kreisvektor --<br />

Einstellgenauigkeit reproduzierbar X,Y mm ma nu ell X,Y = 0,01 --<br />

Mem bran balg ID mm 98 --<br />

Ge wicht kg 9,3 ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />

¤ Ausheiztemperatur max. 230°C<br />

Artikel PM 112-XY<br />

€ / Stck 4.150,-<br />

190<br />

214<br />

100<br />

214<br />

DN 100 CF Sackgewindebohrungen<br />

DN 100 CF Sackgewindebohrungen<br />

190<br />

140<br />

Schrittmotorantrieb PM 112-XYS Standardausführung mög li che Aus füh rung<br />

Schrittmotorantrieb 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 130 ABB (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PKP 268 MD 28B (Orien tal)<br />

Schrittmotorantrieb mit Encoder (Option) 3 Pha sen Mo tor: BRS3 68 H 131 ACA (Schnei der) 2 Pha sen Mo tor: PK 268 M-02AR22-L (Orien tal)<br />

X,Y - Achse Spindelsteigung: 0,75 mm Einstellgenauigkeit reproduzierbar: 0,001 mm --<br />

Schrittmotorantrieb X,Y - Achsen ¤ He-Leckrate: < 1x 10 -10 mbar l s -1 , Druckbereich 1 bar bis 10 -11 mbar<br />

¤ Ausheiztemperatur max. 230°C, Ausheizen nur ohne Motor<br />

Gewicht kg 11,5<br />

¤ Endlagenschalter mit Montagebock 40,- € / Stück Artikel: ESB M<br />

2-Phasen Motor PM 112-XYS2<br />

¤ ausheizbarer Endlagenschalter mit Montagebock 80,- € / Stück Artikel: ESB MH<br />

€ / Stck 5.050,- ¤ Optionen: Linearpotentiometer, Linear-Encoder<br />

3-Phasen Motor PM 112-XYS3<br />

€ / Stck 5.450,-<br />

verstellbare Endlagenschalter<br />

239<br />

PM 112 - XY S2<br />

mit Endlagenschalter<br />

239<br />

3-4 VAb Va ku um-An la gen bau GmbH 04121-788830 04121-7888317 e-mail: to@vab-va ku um.de http://www.vab-va ku um.de 3-4

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