Handout zur Vorlesung "Rastermethoden" - Teil 1
Handout zur Vorlesung "Rastermethoden" - Teil 1
Handout zur Vorlesung "Rastermethoden" - Teil 1
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AFM - Aufbau<br />
AFM - Aufbau<br />
• Lateral: ca.100nm (Tip-abhängig)<br />
• Axial: ca.1nm<br />
Cantilever: AFM Spitzen<br />
• Lateral: ca.100nm – 120µm<br />
• Tiefe: ca.1nm – 1µm<br />
Tisch/Scanner: Piezo-Keram ik<br />
Blei–Zirkonium-Titan Verbindungen<br />
Messaufbau<br />
Messaufbau<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 19<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 20<br />
AFM - Messprinzip<br />
AFM –Modes<br />
Input<br />
Signal<br />
Cantilever<br />
deflection<br />
Photodiode,<br />
Gitter<br />
Messung der Tastenspitzen-Auslenkung<br />
Feedback Loop<br />
Laser<br />
X,Y<br />
Z<br />
Feedback<br />
Electronics<br />
Feedback Loop<br />
Output Signal<br />
Adjusts Z position<br />
Contact<br />
Non-contact<br />
Contact<br />
Modes<br />
Vibrating<br />
Modes<br />
Mode<br />
Contact (Topography)<br />
Lateral Force (Friction)<br />
Lithography (engraving)<br />
Scanning Thermal<br />
Tapping (Topography)<br />
Magnetic Force<br />
Elec tric Forc e<br />
Kelvin Probe<br />
Electrochemistry<br />
Wechselwirkungspotential U:<br />
R Kugelradius, A Hamakerkonstante<br />
Contact mode<br />
Vibrating mode<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 21<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 22<br />
AFM: Tapping mode<br />
AFM: Contact-Force mode<br />
Beispiel: Chrom auf oxidiertem Si-Wafer (<strong>zur</strong> Eichung des AFM)<br />
Topogr aphi e<br />
S ignal<br />
(sensitiv<br />
Phasen Signal<br />
auf “Här te” des Mater ials)<br />
Van-der-Waals Kräfte<br />
- Repulsion<br />
- Attraktion<br />
Hook’s Law: F = -k Z<br />
10µm 10µm<br />
Sample<br />
Kratfkonstante<br />
(Cantilever)<br />
Abstand<br />
Hexadezimale Kodierung des Ortes<br />
Stufenhöhe ca. 100 nm<br />
Sprung des Signals an allen Kanten (Artefact)<br />
“Bananenschale n”: Morphologie des SiO2<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 23<br />
Klaus Meer holz, Raster m ethoden 1 24<br />
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