M-663 Kompakter Linearversteller (PDF) - PI
M-663 Kompakter Linearversteller (PDF) - PI
M-663 Kompakter Linearversteller (PDF) - PI
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Mikrostelltisch der Präzisionsklasse<br />
Integrierter piezokeramischer Direktantrieb. Versionen für<br />
Vakuumumgebung bis 10-6 hPa erhältlich<br />
<strong>PI</strong>Line ® Piezo-Ultraschallantrieb<br />
Selbsthemmend im Ruhezustand, dadurch keine Wärmeentwicklung.<br />
Dynamisches Start-/Stoppverhalten. Mittige<br />
Kugelführung. Kontaktloser Referenzschalter<br />
Direktes Messprinzip<br />
Berührungslos messender optischer Linearencoder. Hohe<br />
Linearität und Wiederholgenauigkeit<br />
Geltende Patente<br />
US-Patent Nr. 6,765,335B2<br />
Europäisches Patent Nr. 1267425B1<br />
Einsatzgebiete<br />
Industrie und Forschung. Für optische Messtechnik, Lasertechnik,<br />
Mikromanipulation, Biotechnologie, Photonik-<br />
Fertigung<br />
<strong>Kompakter</strong> <strong>Linearversteller</strong><br />
schneller linearmotor, linearencoder<br />
XY-Kombination zweier M-<strong>663</strong><br />
mikrostelltechnik | www.pi.ws<br />
m-<strong>663</strong><br />
� Höchstgeschwindigkeit<br />
400 mm/s<br />
� Stellweg 19 mm<br />
� Integrierter Linearencoder<br />
mit Auflösung 0,1 µm<br />
� XY-Kombinationen ohne<br />
Adapterplatte möglich<br />
Verwandte Produkte<br />
M-110 • M-111 • M-112 <strong>Kompakter</strong>, preisgünstiger<br />
Linearstelltisch<br />
M-122 <strong>Kompakter</strong>, schneller Linearstelltisch<br />
M-683 Schneller Mikrostelltisch<br />
C-867 <strong>PI</strong>Line ® Motion Controller<br />
Physik Instrumente (<strong>PI</strong>) GmbH & Co. KG 2012. Änderungen vorbehalten. Aktuelle Revision unter www.pi.ws. 12/02/21.0
Aktive Achsen X<br />
Bewegung und Positionieren<br />
Stellweg 19 mm<br />
Integrierter Sensor Linearencoder<br />
Sensorauflösung 0,1 µm<br />
M-<strong>663</strong>.465 Einheit Toleranz<br />
Kleinste Schrittweite 0,3 µm typ.<br />
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,2 µm typ.<br />
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±0,3 µm<br />
Neigen / Gieren ±300 µrad typ.<br />
Geschwindigkeit 400 mm/s max.<br />
Referenzschalter Wiederholgenauigkeit 1 µm typ.<br />
Mechanische Eigenschaften<br />
Belastbarkeit 5 N max.<br />
Druck- / Zugkraft 2 N max.<br />
Haltekraft 2 N max.<br />
Antriebseigenschaften<br />
Motortyp P-661 <strong>PI</strong>Line ® Ultraschall-Piezomotor<br />
Referenzschalter<br />
Anschlüsse und Umgebung<br />
Optisch<br />
Betriebstemperaturbereich 20 bis 50 °C<br />
Material Aluminium eloxiert<br />
Abmessungen 35 x 35 x 15 mm<br />
Masse 40 g ±5 %<br />
Kabellänge 1,5 m ±10 mm<br />
Stecker MDR-Stecker, 14-pol.<br />
Empfohlene Controller / Treiber C-867 <strong>PI</strong>Line ® Motion Controller<br />
1 2 3<br />
4<br />
Vakuumversionen bis 10 -6 hPa sind erhältlich unter Bestellnummer M-<strong>663</strong>.46V.<br />
Versionen mit gedrehtem Kabelabgang sind erhältlich unter Bestellnummer M-<strong>663</strong>.Y65.<br />
5x M1,6 1,5<br />
3,7<br />
2x M1,6 3<br />
ll information provided in this drawing is to be considered<br />
onfidential, proprietary and secret information. It is intended<br />
nly for the use of the individual or entity to whom it is sent.<br />
dividual or entity agrees to not disseminate or copy this<br />
formation to anyone other than originally specified without<br />
e written consent of PHYSIK INSTRUMENTE GmbH & Co.<br />
2x 3,3<br />
30<br />
28<br />
M-<strong>663</strong>.465, Abmessungen in mm<br />
1 H7<br />
3<br />
4<br />
12,5<br />
15<br />
2x 1,7 2x M2<br />
FREIMASSTOLERANZ<br />
STANDARD TOLERANCE MAßSTAB OBERFLÄCHE<br />
SCALE TREATMENT ---<br />
WERKSTOFF / MATERIAL<br />
DIN ISO<br />
2768 - f - H<br />
2:1<br />
---<br />
35<br />
2x45°<br />
RAUHEIT EINHEIT<br />
UNIT mm<br />
Ra1.6<br />
PROJECTION<br />
mikrostelltechnik | www.pi.ws<br />
Ein mit 100 g belasteter<br />
M-<strong>663</strong> kann nach einem<br />
100-µm-Schritt in 10 ms auf<br />
ein Inkrement (0,1 µm) genau<br />
einschwingen. Messung<br />
mit C-867 <strong>PI</strong>Line ® Motion<br />
Controller<br />
Ein 1-mm-Schritt mit einem<br />
M-<strong>663</strong> Versteller und einem<br />
C-867 Controller. Der mit<br />
300 g belastete Tisch erreicht<br />
die Endposition in weniger<br />
als 40 ms<br />
Linearantriebe &<br />
Aktoren<br />
Nanostelltechnik &<br />
Piezotechnologie<br />
Nanomesstechnik<br />
Hexapoden<br />
<strong>Linearversteller</strong><br />
Horizontalachsen (X)<br />
Anhang
Change language