Tabelle 8 Anzeigeauflösung und -schritteDruck Schrittweite Schrittweite[mbar] bei STD bei HIGH9,90·10 -10bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -9bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10 -8bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -7usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10 -3bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte6,00·10 -3bis 0,2er-Schritte 0,2er-Schritte1,00·10 -2Tabelle 9 Zuordnung; Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysteresein Einstellung Level-Triggermbar Pa Torr Meßunsicherheit Trigger-HystereseLevel-Trigger9,9·10 -10 9,9·10 -8 9,9·10 -10 -- nicht einstellbar1,0·10 -9 1,0·10 -7 1,0·10 -9bis bis bis - 50; + 100 % nicht einstellbar9,9·10 -9 9,9·10 -7 9,9·10 -91,0·10 -8 1,0·10 -6 1,0·10 -8bis bis bis - 50; + 100 % + 20 %9,9·10 -8 9,9·10 -6 9,9·10 -81,0·10 -7 1,0·10 -5 1,0·10 -7bis bis bis - 50; + 100 % + 10 %9,9·10 -5 9,9·10 -3 9,9·10 -51,0·10 -4 1,0·10 -2 1,0·10 -4bis bis bis -- + 20 %1,0·10 -2 1,0·10 -0 1,0·10 -2HinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.26 GA 09.505/2.01 - 09/97
3 Wartung3.1 Service bei LEYBOLDFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formularbenutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende derGebrauchsanleitung abgedruckt: „Erklärung über Kontaminierungvon Vakuumgeräten und -komponenten“.Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie esdem Gerät bei.Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zurErfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unsererMitarbeiter.Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEY-BOLD an den Absender zurückschicken.GA 09.505/2.01 - 09/9727