COMBIVAC CM 32

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1.3 TechnischeBeschreibung1.3.1 COMBIVAC CM 32Dieses Kombinationsgerät hat drei Meßkanäle, MEM-BRANOVAC (DM), THERMOVAC (TM) und PENNING-VAC (PM). Damit ist eine lückenlose Messung und Kontrolledes Vakuums über 12 Dekaden von 1·10 -9 mbar bisAtmosphärendruck bzw. 20 bar möglich. Sechs Schaltpunkte,drei Schreiberausgänge und die Eigenüberwachungerlauben die Integration des COMBIVAC CM 32 inkomplexe Vakuumsteuerungen. Der MEMBRANOVAC-Meßkanal und der THERMOVAC-Meßkanal sind unmittelbarnach Anlegen der Netzspannung aktiv. Der PEN-NINGVAC-Meßkanal kann vom THERMOVAC-Meßkanal(TM), extern oder manuell ein- und ausgeschaltet werden;siehe auch Kapitel 2.3.6.Alle Betriebszustände der Trigger und Meßsysteme werdenangezeigt und entsprechend über die Ausgängegemeldet.1.3.2 RS 232 C-SchnittstelleDie technische Beschreibung der RS 232 C-Schnittstelleist der Gebrauchsanleitung GA 09.027 zu entnehmen.1.3.3 Meßverfahren MEMBRANOVAC(lineare Sensoren)Die linearen Sensoren haben als Meßelement eineMembrane oder einen Federungskörper, deren Verformungeine Funktion des zu messenden Druckes ist.Diese mechanische Verformung wird mit Hilfe eineskapazitiven Systems oder über Folien- oder über piezoresistivenDMS (Dehnungs-Meß-Streifen) in ein elektrischesSignal umgewandelt.Der Meß- / Anzeigebereich läßt sich von -1999 bis20 000 mbar individuell auf den jeweils angeschlossenenSensor einstellen. Bei Anschluß der linearen SensorenDI 200 / DI 2000 (mit eingebauter Sensorkodierung)erfolgt beim COMBIVAC CM 32 eine automatische Einstellungdes Meßbereiches.Die Druckanzeige erfolgt linear, digital und gasartunabhängigauf einem LCD-Display.Alle Meßköpfe sind mit einer eigenen Elektronik ausgestattet.Werkseitig sind „Null“ und „FS“ (Vollausschlag)abgeglichen.1.3.4 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani)Bei diesem Meßverfahren im Bereich 10 -3 bis 1000 mbarwird die Wärmeleitfähigkeit des Gases zur Druckmessunggenutzt. Um bei den Sensoren eine möglichstkurze Ansprechzeit zu erreichen, kommt bei allen THER-MOVAC-Geräten ausschließlich das Prinzip des geregeltenPiranis zum Einsatz.Hierbei ist der Meßfaden Teil einer Wheatstone-Brücke.Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckänderungen,so entsteht ein Ungleichgewicht in derBrücke. Eine schnell ansprechende Regelung paßt dieHeizleistung des Fadens so an, daß die Fadentemperaturwieder den Nominalwert erreicht und die Meßbrückewieder ins Gleichgewicht kommt. Die Anzeige ist gasartabhängig.Im Normalfall ist die Anzeige der Geräte aufStickstoff bzw. Luft ausgelegt, wahlweise kann die Anzeigeauf Argon umgestellt werden.Der mechanische Aufbau der Meßröhren ist robust undgegen Staub geschützt. Fünf Typen können verwendetwerden:- TR 201 DN 10 KF / TR 211 DN 16 KF für Standardanwendungenmit Wolfram-Meßfaden,- TR 205 DN 16 CF, eine ausheizbare Ausführung und- TR 206 DN 10 KF / TR 216 DN 16 KF in korrosionsgeschützterBauart mit Nickel / Platin-Meßfaden.1.3.5 Meßverfahren PENNINGVAC(Kaltkatode)Zur Druckmessung wird im Sensor durch Anlegen einerHochspannung eine Gasentladung gezündet. Der dabeientstehende Ionenstrom wird als druckproportionalesSignal ausgegeben. Ein neuer Sensoraufbau erlaubt densicheren und zuverlässigen Meßbetrieb dieses „invertiertenPennings“ von 1·10 -9 mbar bis 1·10 -2 mbar. Essteht je eine Version mit KF und CF-Flansch zur Verfügung.Die spezielle Legierung für den Magneten erlaubtein Ausheizen des Sensors (mit CF-Flansch) bis 250 °Cohne Abnehmen des Magneten. Die robusten Elektrodenlassen sich zum Reinigen bzw. Austausch einfachherausnehmen und wieder einsetzen.6 GA 09.505/2.01 - 09/97
1.4 Ausstattung1.4.1 LieferumfangKat.-Nr.COMBIVAC CM 32Europa 230 V ; mbar 157 90USA 120 V; Torr 896 90Japan 100 V; Torr 897 90Gebrauchsanleitung CM 32 GA 09.505GebrauchsanleitungRS 232 C-Schnittstelle GA 09.027Best.-Nr.2 Schmelzeinsätze T 0,315 A 520 25 3102 Schmelzeinsätze T 0,630 A 520 25 313Netzleitung 2 m (abhängig von der CM 32 Version)Europa 200 59 051USA / Japan 200 27 550Zwei Schraubklemmen 4pol. 200 60 806Eine Schraubklemme 5pol. 200 60 807Drei Schraubklemmen 8pol. 200 60 808Vier Schrauben M 3 x 8 mm 200 80 029Ein Gerätefuß 200 60 900Vier Klebefüße 229 48 120Kat.-Nr.Meßleitung 5 m zu TR-Röhren 162 26Meßleitung 10 m zu TR-Röhren 162 27Meßleitung 20 m zu TR-Röhren 162 28Verlängerungsleitung 20 m zu TR-Röhren 160 77THERMOVAC Meßröhrensimulator T 210 157 10PENNINGVAC-Meßröhre PR 35, DN 40 KF 157 51PENNINGVAC-Meßröhre PR 36, DN 40 CF 157 53Meßleitung 5 m zu PR-Meßröhren 162 88Meßleitung 10 m zu PR-Meßröhren 162 89Meßleitung 20 m zu PR-Meßröhren 157 56Meßleitungen bis 100 mauf AnfrageTestkopf T 35 (PENNINGVAC) 157 62Einbaurahmen 19“, 3 HE 161 00Abdeckplatte [ 19“, 3 HE 161 021.4.2 ZubehörKat.-Nr.Druckaufnehmer DI 200, 158 12Druckaufnehmer DI 2000 158 13Linearer Druckaufnehmer PV 1001, DN 16 KF 160 94Linearer Druckaufnehmer PV 1502 Ex, G1“ 160 98Meßkopf MI 200, DN 25 KF 158 10Meßkopf MI 2000, DN 25 KF 158 09Meßleitung 3 m zum MI-Meßkopf 158 04THERMOVAC-Meßröhre TR 201, DN 10 KF 162 02THERMOVAC-Meßröhre TR 201, 1/8“ NPT 896 72THERMOVAC-Meßröhre TR 205, DN 16 CF 158 50THERMOVAC-Meßröhre TR 206, DN 10 KF 162 31THERMOVAC-Meßröhre TR 206, 1/8“ NPT 896 73THERMOVAC-Meßröhre TR 211, DN 16 KF 157 85THERMOVAC-Meßröhre TR 211, 1/8“ NPT 896 33THERMOVAC-Meßröhre TR 216, DN 16 KF 157 87Ersatz-Meßzelle TR 201, DN 10 KF 162 09Ersatz-Meßzelle TR 201, 1/8“ NPT 896 76Ersatz-Meßzelle TR 205, DN 16 CF 158 51Ersatz-Meßzelle TR 206, DN 10 KF 162 32Ersatz-Meßzelle TR 206, 1/8“ NPT 896 77Ersatz-Meßzelle TR 211, DN 16 KF 157 75Ersatz-Meßzelle TR 211, 1/8“ NPT 896 34Ersatz-Meßzelle TR 216, DN 16 KF 157 77GA 09.505/2.01 - 09/977
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