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6 Tape-Test am Gitterschnitt – kritische Diskussion der Methode

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108 <strong>Tape</strong>-<strong>Test</strong> <strong>am</strong> <strong>Gitterschnitt</strong> <strong>–</strong> <strong>kritische</strong> <strong>Diskussion</strong><br />

__________________________________________________________________________________<br />

sollte kein lösungsmittelhaltiger Kleber verwendet werden, um eine Diffusion durch die<br />

Schichten und die daraus folgende Verklebung direkt zum PC-Substrat zu vermeiden.<br />

Mehrere Klebeversuche mit UHU-Sekunden-Alleskleber (einem Cyanoacrylat), einem<br />

Welle-Nabe-Klebstoff (anaerob härtend) und dem Zweikomponenten-Epoxidharz<br />

„DELO Rapid“ führten nicht zum gewünschten Erfolg. Der Welle-Nabe-Klebstoff härtete<br />

auf den untersuchten Schichtoberflächen nicht aus. Bei den an<strong>der</strong>en beiden Klebstoffen<br />

fand im Abreißversuch die Trennung immer zwischen Klebstoff und Schichtoberfläche<br />

statt <strong>–</strong> und nicht zwischen Schicht und Substrat. Erst mit dem Cyanoacrylat<br />

„Loctite 408“ konnte eine stabile Verbindung zwischen dem Abreißkörper und <strong>der</strong><br />

gesputterten Titanschicht hergestellt werden, die zur Messung <strong>der</strong> in Tabelle 6-2 dargestellten<br />

Abreißkräfte führte.<br />

Messung Kraft max [N]<br />

1 360<br />

2 198<br />

3 260<br />

4 113<br />

5 130<br />

6 201<br />

7 234<br />

8 294<br />

9 205<br />

10 221<br />

11 217<br />

12 270<br />

Tabelle 6-2: Ergebnisse <strong>der</strong> gesputterten Titanschicht (Probe S 4)<br />

im Stirnabreißversuch mit Loctite 408<br />

Betrachtet man die Messwerte 1 und 4 als Ausreißer, ergibt sich für die verbleibenden<br />

10 Messungen ein Mittelwert von 223 N ± 46 N. Dies entspricht bei einem Durchmesser<br />

des Prüfkörpers von 20 mm gemäß Gl. [3-6] (siehe Abschnitt 3.5.4) einer Abreißfestigkeit<br />

von 0,71 MPa.<br />

Allerdings war auch mit diesem Klebstoff keine stabile Klebeverbindung zu den Oberflächen<br />

<strong>der</strong> Oxidschichten möglich. Deshalb wurden diese mit Titan übersputtert und<br />

nachfolgend mittels Loctite 408 mit dem Abreiß-Prüfkörper verklebt. An den übersputterten<br />

TiO2-Schichten erfolgte ein Abriss zwischen TiO2-Schicht und PC-Substrat,<br />

wie mittels FTIR-Spektroskopie abgesichert werden konnte. Tabelle 6-3 zeigt die gemessenen<br />

Abreißkräfte.<br />

Messung Kraft max [N]<br />

1 438<br />

2 502<br />

3 355<br />

4 520<br />

5 547<br />

Tabelle 6-3: Ergebnisse <strong>der</strong> mit Titan übersputterten TiO2-Schichten<br />

(Probe S3) im Stirnabreißversuch mit Loctite 408

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