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Die Produkte / The Products - LPKF Motion & Control GmbH

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<strong>Motion</strong> & <strong>Control</strong> <strong>GmbH</strong><br />

<strong>LPKF</strong> FCBIS 3x<br />

Highspeed 3D Meßsystem mit Handling und Fehlersortierung<br />

High-speed 3D measuring system with handling and fault sorting<br />

<strong>Die</strong> <strong>LPKF</strong> FCBIS 3x ist eine präzise 3D Messmaschine zur Highspeed-Inspektion von<br />

Teilen mit Mikrostrukturen wie Bumps auf BGA-Interposern. Mit einem konfokalen<br />

Zeilensensor wird die Oberfläche abgescannt.<br />

<strong>The</strong> <strong>LPKF</strong> FCBIS 3x is a precise 3D measuring machine for the high-speed inspection<br />

of parts with microstructures, such as bumps on BGA interposers. <strong>The</strong> surface is<br />

scanned with a confocal line sensor.<br />

Konstruktiver Aufbau:<br />

• Eingabelift für Jedec-Trays<br />

• Tray Vereinzelungs- und Transporteinheit<br />

• Matrixhandler für Interposer<br />

• Messmaschine bestehnd aus:<br />

• granitbasiertem XY-Kreuztisch<br />

• Linearmotoren mit Luftlagern<br />

• Highspeed 3D-Liniensensoren<br />

Structural design:<br />

• Input lift for Jedec trays<br />

• Tray singulation and transport unit<br />

• Matrix handler for interposer<br />

• Measuring machine consisting of:<br />

• Granite based XY-cross-table<br />

• Linear motors with air bearings<br />

• High-speed 3D line sensors<br />

Messbereich XY: max. 600x600 mm<br />

Messbereich Z: 400 µm<br />

Auflösung Z: < 0,5 µm<br />

Messgenauigkeit: +/- 2 µm<br />

Vorteile / Vorteile:<br />

• hoher Durchsatz und konti-<br />

nuierlicher Betrieb<br />

• keine Schatteneffekte<br />

• geringer Einfluß von Ober-<br />

flächeneigenschaften (von<br />

stark reflektierenden bis<br />

absorbierende Oberflächen)<br />

• großes Aspektverhältnis<br />

für Tiefenmessung<br />

• High throughput and<br />

continuous operation<br />

• No shadow effects<br />

• Hardly affected by surface<br />

characteristics (from highly<br />

reflective to absorptive sur<br />

faces)<br />

• High aspect ratio for depth<br />

measurement<br />

Meßtechnik / Measureing Equipment

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