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16 Kapitel 3: Grundlagen
schen Zelle und Elektrode nur schwer über Proteinbeschichtungen zu steuern ist und nicht
unbedingt zur gewünschten Verbesserung der Signalqualität führt [3] .
Neben Mikroelektroden gibt es auch andere Möglichkeiten zur Ableitung extrazellulärer
Signale wie z.B. Feldeffekttransistoren (FETs). Die Gruppe von Lieber stellte Transistor-
Arrays aus Nanowires her (s. Abb. 3.7) und untersuchte mit diesen die Ausbreitung neuronaler
Signale [37] .
Abbildung 3.7: Transistor-Array von Lieber aus Nanowires [37]
3.3 Nanopillarherstellung in nanoporösen
Aluminiumoxid-Membranen
Anodisierte Aluminiumoxid-Membranen (AAM) stellen ein weit verbreitetes Templatematerial
zur Herstellung von Nanostruktur-Arrays dar. Sie können als Matrix für elektrochemische
Deposition [38, 39] , für fluidbasierte Methoden [40] sowie für Chemical oder
Physical Vapor Deposition [41–43] (CVD bzw. PVD) dienen. Die Kontrolle der Prozessparameter
während der Herstellung von AAM führt dabei zu gezielten Veränderungen in
der Geometrie der Nanostrukturen.
In den 90er Jahren wurden von Masuda umfangreiche Untersuchungen zur Ausbildung
von Nanoporen und deren Geometrie in AAM durchgeführt [44–46] . Für die Anodisierung,
die zum selbstorganisierten Porenwachstum führt, werden in der Regel Oxal-, Schwefeloder
Phosphorsäure verwendet. Zu den Parametern, die den Anodisierungsprozess steuern,
wie z.B. Säuretemperatur und -konzentration oder die Anodisierungsspannung, liegen
bereits Studien an Aluminiumfolien vor [47, 48] . Auch für Aluminiumfilme auf unterschiedlichen
Substraten, z.B. Silizium, wurde die Porenentstehung studiert [39, 49–52] . Die Poren
wachsen senkrecht von der Oberfläche in die Aluminiumschicht hinein und organisieren
sich während dieses Prozesses in einer hexagonalen Fernordnung (s. Abb. 3.8).